导读： 近日，空天信息大学发布多批政府采购意向，仪器信息网特对其中的仪器设备品目进行梳理，统计出6项仪器设备采购意 向，预算总额达2.43亿元。 | 与光电 | 建设需求，拟通过采购8英寸光刻机、晶圆清洗机、晶圆干燥机、匀 | | 5 | | --- | --- | --- | --- | | 集成设 | 胶机、显影机、飞秒激光加工系统、双光子聚合3D打印系统、管式 | | 年 | | 计加工 | 退火炉、快速真空退火炉、离子注入机、多物理场仿真设计软件、有 | | 7 | | 设备采 | 限元仿真设计软件、集成光学和半导体电子器件仿真设计软件、高性 | | 月 | | 购项目 | 能工作站等设备，实现高精度接近式光刻图形加工与飞秒激光图形加 | | | | | 工，满足电子与集成电路学院的专业基础教学和科学研究需求。拟采 | | | | | 购的服务的质量标准、安全要求必须满足国家相关标准、行业标准、 | | | | | 地方标准等。采购的服务内容包括但不限于以上内容，以实际采购情 | | | | | 况为准。 | | | | 测试测 | | | 202 | | | | | 5 | | 量设备 | 本项目用 ...