文章核心观点 - 一家科研单位近期密集采购了三台不同类型的光刻机，总金额超过1.4亿元人民币，供应商均为中国本土企业，显示出国内在半导体关键设备领域的采购动态与供应商格局 [1][2][3][4] 采购项目详情 - **项目一：步进扫描式光刻机采购** - 供应商为上海微电子装备（集团）股份有限公司 [1] - 中标金额为10999.985万元人民币 [1] - 采购设备为SMEE SSC800/10型号步进扫描式光刻机，数量为1台 [1] - **项目二：电子束光刻机采购** - 供应商为中国电子科技集团公司第四十八研究所 [2][3] - 中标金额为2100万元人民币 [3] - 采购设备为中国电子科技第四十八所M3550-1/UM型号电子束光刻机，数量为1套 [3] - **项目三：接触式光刻机采购** - 供应商为南京四通系统集成有限公司 [4] - 中标金额为1010万元人民币 [4] - 采购设备为SUSS MA200 Gen3型号自动型接触式光刻机，数量为壹套 [4] 其他相关采购 - 该科研单位在采购光刻机的同时，还采购了晶圆清洗机、原子层刻蚀设备(ALE)等其他仪器设备 [4]

空天信息大学仪器设备采购意向 - 空天信息大学发布6项仪器设备采购意向，预算总额达2.43亿元 [1][2] - 采购涉及聚焦离子束扫描电子显微镜FIB+SEM、激光共聚焦显微镜、金相显微镜、X射线衍射仪等设备 [2] - 预计采购时间为2025年7~9月 [2] 采购项目详情 封装设备采购项目 - 预算3400万元，用于先进微纳加工平台建设 [4] - 拟采购激光隐形切割机、等离子体清洗机、全自动贴片机等设备 [4] - 满足电子与集成电路学院的专业基础教学和科学研究需求 [4] - 预计采购时间为2025年9月 [4] 刻蚀设备采购项目 - 预算5500万元，用于先进微纳加工平台建设 [4] - 拟采购深硅刻蚀、TSV通孔刻蚀、金属刻蚀机等设备 [4] - 满足电子与集成电路学院的专业基础教学和科学研究需求 [4] - 预计采购时间为2025年7月 [4] 表征测试设备采购项目 - 预算6500万元，用于先进微纳加工平台建设 [4] - 拟采购聚焦离子束扫描电子显微镜FIB+SEM、激光共聚焦显微镜、金相显微镜等设备 [4] - 满足电子与集成电路学院的专业基础教学和科学研究需求 [4] - 预计采购时间为2025年8月 [4] MEMS与光电集成设计加工设备采购项目 - 预算4400万元，用于先进微纳加工平台建设 [5] - 拟采购8英寸光刻机、晶圆清洗机、晶圆干燥机等设备 [5] - 满足电子与集成电路学院的专业基础教学和科学研究需求 [5] - 预计采购时间为2025年7月 [5] 测试测量设备采购项目 - 预算4500万元，用于先进微纳加工平台测试与表征 [5] - 包括MEMS芯片、射频芯片和集成光电芯片的相关测试表征设备 [5] - 预计采购时间为2025年8月 [5]