东南大学仪器设备采购意向 - 东南大学发布37项仪器设备采购意向，预算总额达1.21亿元，涉及薄膜热应力测量仪、扫描电化学显微镜、汞探针测试仪、傅里叶红外光谱仪等设备，预计采购时间为2025年5~6月 [1][2] - 采购清单包含胶膜层压机（预算320万元）、Parylene沉积设备（50万元）、薄膜热应力测量仪（302万元）、扫描电化学显微镜（340万元）、汞探针测试仪（340万元）、傅里叶红外光谱仪（230万元）等 [4] - 12寸探针台预算450万元，要求XY精度优于±2微米，Z精度优于2微米，EMI屏蔽>30 dB@1 kHz-1 MHz，温度范围-60至200°C [4] - 晶圆减薄机预算800万元，要求减薄后12寸晶圆片内厚度偏差小于2.5微米 [5] - 12寸等离子增强气相沉积设备预算1650万元，要求12英寸晶圆片内不均匀度小于5% [5] 高端科研设备技术参数 - 薄膜热应力测量仪需满足测量范围1MPa-7.8GPa，应力测量精度<1%或0.32 MPa，翘曲扫描分辨率1微米 [4] - 扫描电化学显微镜需具备3D控制平台位移扫描范围100 mm×100 mm×100 mm，X/Y/Z三轴扫描精度优于1 nm [4] - 汞探针测试仪要求载流子浓度测试范围1E14-1E19 carriers/cm³，测试精度≤2%，测试重复性≤0.50% [4] - 傅里叶红外光谱仪需满足光谱范围8000－400 cm-1，分辨率优于0.2 cm-1，波数精度优于0.01 cm-1 [4] - 半导体器件脉冲电压电流测试系统要求最大脉冲电压1500V，最大脉冲电流33A，最小脉宽200ns [5] 生物医学设备采购 - 超高分辨率激光共聚焦显微镜预算595万元，需具备超分辨视野、多激光、全自动荧光显微镜、活细胞培养功能 [5] - 流式细胞仪预算240万元，需具备高灵敏度、高分辨率、多激光器功能 [5] - 高分辨率活细胞工作站预算200万元，用于观测活细胞增殖、迁移、粘附等动态过程 [6] - 全自动体视荧光显微镜采购2套，预算170万元，需具备多通道体视荧光采集、超长寿命荧光光源 [6] - 超低温冰箱采购32台，预算173万元，要求温度达到零下80°C [6] 特种实验装置 - MW级加压富氧燃烧平台预算185万元，需实现0.1~1.5MW燃料在≤1MPa富氧环境下燃烧，燃烧效率≥95% [5] - 环境模拟实验装置舱体及系统集成预算2500万元，用于极地与极端环境模拟实验，要求质保期3年以上 [6] - 雷达信号收发器预算436万元，需覆盖低频至毫米波频段，支持FPGA资源拓展开发 [5] - 微纳中心原位力学测试系统预算470万元 [6] - 超快光声光谱测量与成像系统预算300万元，包含飞秒激光器和超快光声测量模块 [6]

公司概况 - 卓海科技成立于2009年，总部位于江苏省无锡市，是一家专注于半导体前道量检测设备研发、修复及销售的国家级专精特新"小巨人"企业 [1] - 公司曾于2022年6月向深交所创业板提交上市申请，并于2023年1月上会但终止，2024年8月成功登陆新三板创新层，代码874380 [1] - 公司主营业务包括修复设备、自研设备、核心组件及零部件、芯片产线运维服务四大板块，收入结构呈现"一主三辅"特征 [8] 行业背景 - 前道量检测设备是借助光、电子束等介质，针对光刻机、刻蚀机、薄膜沉积设备等工艺设备的加工成果进行关键指标的量测或潜在缺陷的检测 [1] - 前道量检测设备约占半导体设备市场规模的13% [1] - 2019年至2023年，中国大陆前道量检测修复设备市场规模由14.8亿元增长至49.8亿元，年复合增长率达到35.44% [1] - 预计2027年前道量检测修复设备市场规模达127.7亿元，年复合增长率达26.69% [3] 市场格局 - 2023年度中国大陆前道量检测新设备市场，国内自研品牌市场份额仅约5%，主要被美国KLA及AMAT、日本Hitachi等国际巨头垄断 [5] - 在修复设备领域，公司市场占有率自2018年的2.07%增长至2023年的7.39%，全球市场占有率第三，仅次于KLA和Hitachi的修复部门 [5] - 公司的修复设备已覆盖12英寸规格、14nm制程，修复业务技术、覆盖制程和品类、规模均处于国内领先水平 [5] 财务表现 - 2022至2024年，公司营收分别为3.14亿元、3.81亿元及4.65亿元，净利润分别为1.19亿元、1.32亿元及1.04亿元 [8] - 2024年净利润同比下降21.6%，主要系半导体周期导致利润空间下降所致 [8] - 主营业务毛利率分别为60.58%、59.86%及46.56% [8] - 2024年修复设备收入4.28亿元，占比92.24%，销量同比增长22.3%，毛利率46.49% [9] - 自研设备2024年收入0.12亿元，占比2.62%，毛利率37.43% [10] 业务结构 - 修复设备通过修复退役设备实现二次销售，主要型号包括电子束缺陷检测设备、薄膜厚度测量仪等，覆盖14nm-28nm制程 [9] - 自研设备包括应力测量仪、四探针方块电阻测量仪，技术指标达到国际原厂水平 [10] - 零部件收入占比约3.39%，主要产品包括高重频脉冲激光器、精密传输系统等 [10] - 技术服务收入占比约1.75%，主要通过提供设备运维、产线调试等增值服务 [10] 研发投入 - 2022年至2024年，公司研发费用占营业收入比重分别为4.81%、7.46%及7.25% [11] - 研发投入显著低于同行中科飞测的36.07%及精测电子的30% [11] 供应链与客户 - 公司主要采购国际IDM企业淘汰的退役设备（如KLA的缺陷检测设备），研发自主修复技术实现设备性能提升 [7] - 公司与韩国、美国等地的设备贸易商建立长期合作，通过竞拍、定向采购等方式获取退役设备 [7] - 2024年存货规模达7.41亿元，占流动资产的74.87% [7] - 客户包括华虹半导体、士兰微、华润上华等，2024年终端客户覆盖国内主流芯片厂商及比亚迪、格力电器等 [8] - 2024年前五大客户收入占比56.12%，较2022年的70.64%及2023年的66.01%有所下降 [8] 政策环境 - 我国近日推出的"晶圆定源"政策，即芯片"原产地"按照其制造过程中关键的"晶圆流片"工厂所在地进行认定，有利于推动半导体国产替代进程 [5]