证券研究报告·公司点评报告·光伏设备 微导纳米（688147） 2025 年报&2026 一季报点评：半导体设备业 务加速放量，看好半导体&新兴业务领域持 续突破 | [Table_EPS] 盈利预测与估值 | 2024A | 2025A | 2026E | 2027E | 2028E | | --- | --- | --- | --- | --- | --- | | 营业总收入（百万元） | 2,700 | 2,633 | 2,783 | 3,088 | 3,647 | | 同比（%） | 60.74 | (2.47) | 5.69 | 10.97 | 18.09 | | 归母净利润（百万元） | 226.71 | 219.37 | 373.53 | 484.21 | 605.71 | | 同比（%） | (16.16) | (3.23) | 70.27 | 29.63 | 25.09 | | EPS-最新摊薄（元/股） | 0.49 | 0.48 | 0.81 | 1.05 | 1.31 | | P/E（现价&最新摊薄） | 148.62 | 153.58 | 90.20 | 69.58 | 55.62 ...

财务与订单状况 - 公司当前在手订单总金额为9.5933亿元 [2] - 其中预计在2026年度确认收入的订单金额为6.7883亿元 [2] - 2025年度签订的一份价值2.97亿元的研制合同将依据合同约定分期确认收入 [3][6] - 禹衡光学上一年度利润达1400万元，增幅近80% [8] - 截至2026年3月31日，公司股东总数为36，663人 [8] 战略规划与业务布局 - 公司“十五五”期间锚定“国防军工+半导体”双轮驱动战略 [3] - 半导体业务目前营收占比较小，力争在“十五五”期末成为重要业务板块 [3] - 半导体领域聚焦超精密制造，旨在解决核心部件国产替代问题 [5] - 争取未来成为半导体设备超精密制造领域重要的产业化基地 [5] - 公司与控股股东中国科学院长春光学精密机械与物理研究所（长光所）在技术、成果转化等方面深度合作 [4] 半导体业务具体进展 - 精密光学制造中心基础条件建设基本完成，设备正陆续进场，尚未全面投产 [3][6] - 该中心将涵盖从光学加工、检测、镀膜到装调的全链条工序，满足半导体设备精密光学元器件生产需求 [3][6] - 半导体业务核心部组件包括机械部组件、光学元器件及光栅传感器等，主要应用于半导体制造、检测设备 [3][4][6] - 超光滑特种反射元件项目针对晶圆缺陷检测装备、光学成像系统等高端仪器装备需求，目前按计划顺利进行 [4][5] 投资与资本相关 - 公司持有长光辰芯的股权，在其上市后仍采用权益法核算，按持股比例确认投资收益 [6] - 收购长光宇航的资金来源主要为并购贷款，公司称目前长短偿债能力较好，融资渠道畅通 [5] - 近期禹衡光学的内部股权转让是为了提高经营决策效率进行的股权梳理 [4]

报告投资评级 - 投资评级：买进 (BUY) [8] - 目标价：230元 [1] 报告核心观点 - 报告认为长川科技作为国内半导体测试设备龙头，直接受益于海外高端设备断供带来的行业契机以及AI产业推动下芯片测试难度和时长增加带来的设备价值量提升 [8] - 公司2025年及2026年第一季度业绩表现靓丽，营收及净利润高速增长，超出预期，反应测试设备订单需求旺盛 [8][10] - 2026年中国半导体设备市场在AI算力爆发与国产化加速的双重驱动下将呈现高景气度，头部晶圆厂与存储大厂高速扩产，公司作为封测设备龙头将享受行业扩张及国产替代双重红利，业绩高速增长预期明确 [10] - 基于盈利预测，报告给予“买进”评级 [8][10] 公司基本与市场信息 - 公司股票代码：300604.SZ，属于机械设备产业 [2] - 截至2026年4月24日，A股股价为158.00元，总市值约为773.36亿元 [2] - 过去12个月股价区间为40.18元至161.3元，过去一年股价涨幅达280.9% [2] - 主要股东赵轶持股22.31% [2] - 机构投资者中，基金持有流通A股比例为2.6%，一般法人持有20.1% [5] 财务与业绩表现 - **历史业绩**：2025年公司实现营收52.92亿元，同比增长45.3%；实现净利润13.31亿元，同比增长190.4%，每股盈余(EPS)为2.10元 [9][10] - 2025年第四季度单季营收15.1亿元，同比增长36.8%；净利润4.7亿元，同比增长361.2% [10] - 2026年第一季度营收13.8亿元，同比增长69.1%；净利润3.5亿元，同比增长217.6%，EPS为0.56元 [10] - **分业务表现(2025年)**： - 测试机收入32亿元，同比增长55.3%，毛利率62.3% [10] - 分选机收入15.7亿元，同比增长31.8%，毛利率41.3% [10] - 其他业务收入5.2亿元，同比增长33.9%，毛利率52.1% [10] - **盈利预测**： - 预计2026-2028年净利润分别为21.01亿元、29.79亿元、36.04亿元，同比增长率分别为57.8%、41.8%、20.97% [9] - 预计2026-2028年每股盈余(EPS)分别为3.31元、4.70元、5.68元 [9] - 当前股价对应2026-2028年预测市盈率(PE)分别为47.7倍、33.6倍、27.81倍 [9] 行业与公司前景 - **行业驱动**：AI大芯片的晶体管数量激增、面积大幅增加，导致测试时间显著长于传统芯片，带动测试时长、测试装备效率需求提升，单机测试设备价值量持续上行 [10] - **市场机遇**：2026年中国半导体设备市场在AI算力爆发与国产化加速的双重驱动下，将呈现前所未有的高景气度 [10] - **公司定位**：公司是国内半导体测试设备及封测设备龙头企业，将直接受益于海外高端设备断供带来的国产替代契机，以及头部晶圆厂与存储大厂（如长鑫、长存）高速扩产带来的订单增长，实现从“点状突破”向“链式突围”迈进 [8][10]

报告投资评级 - **投资评级**：维持“持有”评级 [1][5][6] - **目标价**：人民币119.54元 [5][6] 核心观点与业绩表现 - **核心观点**：半导体行业景气回升，叠加AI算力推动的光通讯需求向好，驱动公司业绩高速增长；随着合成石英材料产能释放及半导体国产替代推进，业绩有望延续高增 [1][2][4] - **2025年业绩**：实现营业收入20.16亿元，同比增长15.76%；归母净利润4.43亿元，同比增长41.04% [1][2] - **2026年第一季度业绩**：实现营业收入6.22亿元，同比增长53.04%；归母净利润1.44亿元，同比增长36.77%；毛利率为50.74%，同比提升0.81个百分点 [1][3] 业务驱动因素与战略布局 - **增长驱动力**：业绩增长主要受半导体行业景气回升、头部客户订单稳中有增、国产替代推进以及AI算力推动的光通讯需求向好驱动 [2] - **研发进展**：2025年研发投入2.82亿元，同比增长12.94%；在掺钛超低膨胀合成石英、VAD产品等领域实现技术突破 [2] - **产能与项目进展**： - 合成石英材料五期项目竣工投产，新增产能150吨；六期项目规划启动 [4] - 合肥光微光掩膜基版项目实现小批量出货；济南光微高端电子材料项目量产线通线 [4] - 鼎益新材、中益新材电子纤维纱及超薄石英电子布项目开工建设 [4] - **全球化布局**：在香港、马来西亚设立子公司加速海外布局，并携手北京石墨烯研究院共建蒙烯玻纤生产基地 [4] 财务预测与估值 - **盈利预测**：预测2026-2028年归母净利润分别为7.4亿元、8.9亿元、11.0亿元，对应每股收益（EPS）为1.42元、1.71元、2.10元 [5][10] - **预测调整**：2026年及2027年归母净利润预测值较前次预测分别上调6.83%和8.97% [5] - **估值基础**：基于可比公司2026年一致预期市盈率（PE）均值73.2倍，考虑公司在石英玻璃领域的领先及半导体、航空航天领域的龙头地位，给予15%溢价，对应2026年84.18倍PE，从而得出目标价 [5][12] - **营收预测**：预测2026-2028年营业收入分别为40.20亿元、47.63亿元、61.10亿元，同比增长率分别为99.35%、18.50%、28.28% [10] 其他财务与运营数据 - **现金流**：2025年经营活动现金流净额为2.62亿元，同比基本持平；2026年第一季度经营活动现金流净额为0.21亿元，同比下降86.91%，主要因销售回款减少及支付职工薪酬、税费增加 [2][3] - **期间费用**：2026年第一季度期间费用率为22.85%，同比下降1.33个百分点；其中销售费用为0.08亿元，同比增长62.06%；管理费用为0.52亿元，同比增长55.21%；研发费用为0.77亿元，同比增长25.01% [3] - **电子电路业务**：石英电子布2025年实现收入0.98亿元，处于客户端小批量测试阶段 [2] - **市场数据**：截至2026年4月24日，公司收盘价为108.05元，市值为564.31亿元，52周价格区间为42.92-134.32元 [7]

核心观点 海外扰动预计进入尾声，股票市场投资者风险偏好预计持续修复，2026年增量资金入市进程将持续，看好二季度股票市场走出震荡向上的趋势[2] 随着国内产业结构升级，资本市场预计为国内新兴产业赋予积极的定价，持续看好科技成长板块创造超额收益的能力[2] 转债市场方面，机构投资者占比上升使得股票市场预期对转债估值的影响深化，当前投资者对股票市场中长期走势仍较乐观，机构对权益资产的配置需求或仍较强，资金面稳定对转债估值形成支撑[2] 报告建议关注三大方向的转债标的[2] 1 策略分析 1.1 5月十大转债 - **鼎龙股份/鼎龙转债**：公司是聚焦半导体创新材料的平台型公司，重点布局半导体制造用CMP工艺材料、晶圆光刻胶、半导体显示材料和先进封装材料[10] 在CMP抛光材料领域，公司是国内首家也是唯一一家覆盖集成电路CMP全品类材料的综合解决方案供应商[10] 根据TECHCET预测，2029年全球半导体CMP抛光材料市场规模将超过50亿美元，2024-2029年复合增长率为8.6%[10] 在晶圆光刻胶领域，公司着力攻克高端KrF/ArF光刻胶，已成为国内该领域推进速度最快、技术水平对标国际一流的企业[12] 根据预测，2028年中国半导体光刻胶市场规模将达到150.3亿元，2023-2028年复合增长率为18.5%[12] - **亚太科技/亚科转债**：公司专注于汽车热管理系统和轻量化系统铝材及部件研发与制造，是全球汽车热管理系统零部件材料和汽车轻量化系统部件材料领域的重要供应商[16] 公司在保持传统燃油汽车领域优势基础上，积极布局新能源汽车、航空航天、工业热管理、机器人等新兴领域的产能储备与业务发展[17] - **银轮股份/银轮转债**：公司在汽车热交换器领域具备扎实能力，现正逐步开拓数字与能源换热领域，业务围绕数据中心、发电机组、储能及充换电、低空飞行器四大领域布局[21] 公司依托汽车热管理技术积淀，将具身智能与人形机器人核心零部件作为新兴战略业务重点布局，2025年多个品类获得客户定点，部分品类已形成营收贡献[22] - **江苏华辰/华辰转债**：公司主要从事节能型变压器、箱式变电站和智能电气成套设备等输配电及控制设备的研发、生产与销售[25] 随着全球能源投资向清洁能源转型，公司正优化海外市场策略，重点聚焦东南亚、中东、欧洲、非洲和美洲等市场，加快推动海外产能落地，以实现海外销售新突破[26] - **新宙邦/宙邦转债**：公司主营业务是新型电子化学品及功能材料的研发、生产、销售和服务[29] AI应用的持续发展推动了大功率、高算力服务器需求，公司电子信息化学品符合AI服务器用电子元器件的使用需求，预计未来产业需求的增加将持续驱动该业务业绩增长[30] - **富春染织/富春转债**：公司是国内领先的色纱生产企业，当前在巩固主业的同时，聚焦于PEEK下游应用，主要集中在半导体、医疗器械、人形机器人轻量化解决方案等领域[32] 公司PEEK材料项目计划投资4亿元，预计达产后可新增11亿元销售收入[32] - **泰瑞机器/泰瑞转债**：公司是国内中高端注塑机龙头之一，主要产品包括肘杆式、二板式、全电动、多组分注塑机[38] 从全球竞争格局看，欧洲及日本企业占据高端市场，国内龙头企业正在向高端市场不断迈进，在高端市场领域正逐步缩小与国外高端企业的差距[38][39] - **和邦生物/和邦转债**：公司已形成矿业、化学、光伏玻璃及其他三大业务布局，截至2025年中报披露日，公司共全资持有或通过合营取得矿产资源合计40宗[42] 公司是全球最大的双甘膦供应商、全球主要的草甘膦供应商之一[44] - **华康洁净/华医转债**：公司在洁净室集成服务领域深耕17年，立足于医疗专项、实验室、电子洁净三大战略领域[48] 电子洁净室业务作为重要战略发展方向，客户主要来自半导体及泛半导体、新型显示等高科技产业，正积极有序地推进市场开拓[48] - **瑞可达/瑞可转债**：公司是专业从事连接器产品研发生产的国家专精特新小巨人企业[51] 在数据中心应用上，公司基于技术储备开发了应用于数据中心的各类高速线缆产品，包括无源铜缆(DAC)、有源铜缆(ACC、AEC)，这些产品市场需求旺盛[51] 公司也自主研发了应用于人形机器人的低压连接器、电源连接器等产品[52] 1.2 周度转债策略 - **市场表现**：本周（报告发布当周）各股票指数走势分化，中证转债指数涨幅为**-0.34%**，煤炭、电子、石油石化涨幅排名靠前[1] 大部分平价区间转债价格中位数调整，从价格中位数对应历史分位数的角度看，转债估值仍位于历史相对高位[1] - **后市展望与配置建议**：报告看好二季度股票市场震荡向上趋势，并持续看好科技成长板块创造超额收益的能力[2] 转债赛道及标的建议关注三个方向[2]： 1. **科技成长**：海外算力需求升温，国内大模型迭代或驱动AI产业化加速；半导体国产替代打开电子行业中长期增长空间。建议关注**瑞可转债**、**鼎龙转债**、**华医转债**等[2] 2. **高端制造**：高端制造领域有望维持景气度高位。建议关注**银轮转债**、**宙邦转债**、**亚科转债**、**华辰转债**、**富春转债**、**泰瑞转债**等[2] 3. **供需格局优化**：“反内卷”或驱动部分行业供需格局优化。建议关注**和邦转债**等[2] 2 市场跟踪 - **指数与行业表现**：报告包含宽基指数涨跌幅（图21）和行业指数涨跌幅（图22）的图表数据[61][63] - **转债估值分析**：报告通过多张图表展示了转债市场的估值情况，包括[66][68][71][72][74][76][78][80]： - 2017年至今部分转股价值区间对应的转债溢价率中位数（图23） - 2019年1月至今部分转股价值区间对应的转债价格中位数（图24） - 各平价区间转债价格中位数本周变动及对应历史分位数（图25） - 本周转债估值变动分布（图26） - 2017年至今及年初至今的百元估值指数（图27、图28） - **策略回测**：报告展示了本周各策略指数的回测结果（图29）[81]

报告投资评级 - 投资评级：暂无 [1] 报告核心观点 - 中科仪是国内半导体干式真空泵国产替代的龙头企业，其产品已满足14nm逻辑芯片及128层以上3D NAND工艺要求，在国内主流晶圆厂实现批量应用，是唯一在集成电路先进制程清洁、中等、苛刻三类工艺均实现批量应用的国产企业，出货量居国产厂商首位 [3][8][15] - 公司受益于半导体产业自主化与清洁能源转型，其核心产品干式真空泵在集成电路和光伏领域面临国产替代与市场扩容的双重发展机遇 [3][42] - 公司拥有自主核心技术、先进制程批量应用验证的领先优势，并通过募投项目扩大产能、提升自动化水平，布局集成泵组系统与大尺寸分子束外延设备，有望驱动未来成长 [3][66] 公司概况与行业地位 - 公司是中国科学院下属企业，长期专注于洁净与超高真空技术研发，是国内领先的半导体核心部件及真空科学仪器供应商 [3][8] - 公司是国内干式真空泵在集成电路领域出货量最大的企业，产品已进入台积电、SK海力士等国际头部客户供应链 [3][15] - 公司为国家重大科技基础设施（如北京正负电子对撞机、上海光源等11项）提供关键真空组件，在科研级分子束外延设备领域保持国内领先地位 [3][15] - 截至2025年底，公司拥有发明专利103项，牵头或参与编制了13项国家、行业与团体标准 [8][61] 财务表现与业务构成 - **营收增长**：2022-2025年，公司营收从6.98亿元增长至12.91亿元，复合增长率达22.75% [16] - **净利润波动**：2022-2025年归母净利润分别为4.98亿元、6.00亿元、1.93亿元、8.44亿元，复合增长率为19.32% [16] - **2024年净利润下滑原因**：主要系所持拓荆科技、中科信息等股票公允价值变动收益同比大幅减少所致，主营业务盈利能力实际改善，2024年扣非净利润增长20.41% [16] - **收入结构**：干式真空泵是核心收入来源，2025年收入占比64.70% [24] - **应用领域收入**：干式真空泵收入中，集成电路领域占比从2023年的68.20%提升至2025年的91.25% [29] - **毛利率变化**：2022-2025年销售毛利率分别为28.66%、33.02%、29.44%、26.78%，近年下滑主要因公司为抢占集成电路市场份额调整产品价格，以及光伏行业景气度下行影响 [26] 行业与市场前景 - **集成电路干式真空泵市场**： - 2024年全球市场规模达125.74亿元，中国大陆市场规模达52.11亿元 [3][49] - 以12英寸晶圆产能测算，2024年全球需求约12.57万台，中国大陆需求约5.21万台 [49] - **光伏干式真空泵市场**： - 2024年中国市场规模约47.0-57.2亿元，需求约6.7-8.2万台 [3][49] - **竞争格局**：全球集成电路用干式真空泵市场由Edwards、Ebara等国际厂商主导，呈寡头垄断格局 [50] - **国产替代空间**：2024年，中科仪在集成电路领域干式真空泵收入为6.63亿元，测算国内市场占有率约12.72%，为国产厂商最高，显示国产替代空间广阔 [3][62] 公司核心竞争力与产品 - **核心技术验证**：产品已通过14nm及128层以上3D NAND等先进制程的批量应用验证，形成国产替代领先壁垒 [3][15][62] - **产品矩阵**： - **干式真空泵**：主要为罗茨干泵，分为L（清洁工艺）、M（中等工艺）、H（苛刻工艺）三大系列，可适配ASML、中微公司、拓荆科技等30余家国内外主流设备厂商的数百种机台 [3][54] - **真空科学仪器设备**：主要包括PVD、CVD等薄膜制备设备，以及为国家大科学装置提供前端区、光束线等关键部件 [3][55][57] - **平台化研发能力**：研发方向包括超高速节能泵、超高温泵、大抽速干式螺杆泵及罗茨螺杆机组等，持续拓展产品谱系 [53][63] 成长驱动与募投项目 - **双重驱动**：集成电路产业的国产替代与光伏产业的新增装机及技术迭代，共同驱动干式真空泵市场需求 [3][42][65] - **募投项目详情**： - 本次公开发行拟投入募集资金合计8.25亿元，用于三个项目 [66] - **干式真空泵产业化建设项目**：建成后将形成年产20,040台干式真空泵的生产能力，实现物流移动50%自动化，90%以上加工产线自动化及智能化 [3][66] - **高端半导体设备扩产及研发中心建设项目**：将布局集成泵组系统与FW-VI-140C型大尺寸分子束外延设备（产能可达7片6英寸）的研发 [3][64][66] - **新一代干式真空泵及大抽速干式螺杆泵研发项目**：旨在拓展产品在泛半导体、工业真空等领域的应用 [66]