行业核心观点 - 2025年12月，国内高校及科研机构刻蚀设备采购需求旺盛，国产设备在中标数量上占据绝对主导地位，占比超过90% [1][4] - 国产品牌已实现从基础教学到前沿科研高端设备的全谱系覆盖，并在采购金额上包揽绝大多数订单 [6] - 进口品牌主要集中于未设采购限制的高单价或技术特色鲜明的利基市场 [1][5] 采购主体与需求分析 - 采购主体以高校与科研院所为主，包括南京邮电大学、上海交通大学、北京理工大学、华中科技大学、浙江大学、中国科学院下属研究所等 [3] - 采购设备主要用于材料科学、集成电路、光学工程等方向的实验平台建设与科研项目支撑 [3] 市场竞争格局 - 在统计的29项中标信息中，国产品牌中标27项，数量占比超过90% [4] - 北方华创成为最大赢家，共中标11项，覆盖深硅刻蚀、ICP、RIE、ALE等多种工艺 [5] - 埃德万斯在离子束刻蚀领域获得多所高校订单 [5] - 三和联（SHL）、金俊虹、博顿光电、芯微诺达、东信高科等一批国产专业厂商在各自细分领域获得订单，共同构成覆盖广泛的国产设备供应链 [5] - 进口品牌主要以ThermoFisher和SENTECH为主，中标2项 [4][5] 重点订单与价格分析 - 由“zycgz107080”采购的“多腔深硅刻蚀机”（北方华创 PSEV300Gi）以总价9436万元（2台）位居榜首，折算单价约4718万元/台 [6] - zycgr21070801采购5台北方华创电感耦合等离子刻蚀机，总价4600万元 [9] - zvcar21070801采购2台北方华创专用深硅刻蚀机，总价3446万元 [9] - 太原理工大学采购ThermoFisher Talos F200S G2原位刻蚀与微纳结构加工分析仪，价格558万元 [6][8] - 北京理工大学采购北方华创感应耦合等离子体刻蚀机，价格369万元 [6][8] - 北京科技大学采购3套北方华创ICP刻蚀系统，总价685万元 [6]