无源SOI(绝缘衬底上的硅)集成超低损耗氮化硅产品的PDK(工艺设计套件)
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破局“芯”困境,西北地区首条硅光中试线正式通线
半导体芯闻· 2025-11-04 17:48
文章核心观点 - 陕西光电子先导院建设的8英寸先进硅光集成技术创新平台正式通线,填补了西北地区硅光芯片中试领域空白,是陕西“追光计划”的标志性成果,将成为打造千亿级光子产业集群的核心支点 [2] - 该平台通过提供自主可控的中试服务,旨在破解国内硅光产业因中试资源集中在欧美而面临的高成本、长周期等困境,加速光子技术从基础研究到量产落地的全链条发展 [11][12] “追光计划”产业进展 - 自2021年启动以来,陕西光子产业企业数量已攀升至370多家,产业规模从150亿元跃升至365亿元,初步构建了“材料—芯片—器件—系统”的完整产业链 [6] - 2023年升级启动“追光计划—跃迁行动”,形成“一核两翼+一园三区”布局,西安高新区为核心承载区 [6] - 光电子先导院作为“创新策源中枢”,四年来已解决100余家初创企业“研发难、流片难”问题 [7] 8英寸硅光平台技术细节 - 平台总投资7.5亿元,于2023年底启动建设,截至2025年9月末已完成全部场地及硬件建设 [12] - 引进了比利时IMEC“130nm硅光芯片工艺包”及光刻、刻蚀等60余台关键核心设备,在130nm有源集成主工艺平台基础上开发90nm以上先进工艺 [12] - 平台正式发布了一款无源SOI集成超低损耗氮化硅产品的PDK,预计2026年完成有源产品通线,包含高性能调制器、探测器等核心器件 [12] 平台运营模式与成效 - 光电子先导院采用“1+N”柔性工程平台模式,“1”指以双中试平台为核心的主工艺平台,将80%资源向中小企业开放中试服务,20%资源支持前沿研发 [14] - “N”指针对磷化铟探测器、砷化镓射频器件等细分领域的特色工艺平台,通过设备共享、技术授权等方式降低企业初始投入 [14] - 6英寸化合物平台自2023年启用以来,已发布20余款PDK,为50余家客户提供全流程服务;8英寸硅光平台虽刚通线,已与十余家头部企业达成意向合作 [17] - 有企业反馈,在该平台进行中试的速度比在国外快5倍以上 [17] 未来发展规划 - 下一步将推进异质异构集成平台建设,构建“化合物半导体+硅光+异质异构集成”三位一体的平台架构,实现从材料生长到系统测试的全链条覆盖 [17]