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8英寸先进硅光集成技术创新平台
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“十年追光路” 光电子先导院如何破解“芯”难题?
经济观察报· 2025-11-05 07:49
作为全国首批入选工信部重点培育中试平台名单的光子集成产业中试平台,光电子先导院正在着力破解 中国光子产业"卡脖子"的难题。 光电子先导院于2021年和2022年分别获批组建省、市级的"共性技术研发平台"。该公司向经济观察报表 示,一直以来,国内共性技术平台的发展由于其公共性和准公益性的特点,从短期经济角度来看,自身 造血能力较弱。因此,相较于量产型的硬科技企业,共性技术平台所获得的资金支持较少,这也成为制 约科技成果转化高质量发展的"短板"之一。 破解"卡脖子"的难题 11月4日,杨军红宣布光电子先导院建设的"8 英寸先进硅光集成技术创新平台"(下称"8英寸硅光平 台")已正式通线。该平台总投资7.5亿元,于2023年底启动建设。截至2025年9月末,已完成全部场地 及硬件设施建设,目前正在持续进行工艺开发。2025年是光电子先导院成立的十周年。 杨军红在接受记者采访时表示,作为西北地区首条硅光中试线,8英寸硅光平台的正式通线,不仅填补 了区域硅光芯片中试领域空白,更成为陕西"追光计划"实施以来的标志性成果,将作为陕西打造千亿级 光子产业集群的核心支点,为"追光计划"从蓝图迈向实践注入关键动力。 长期以来,光 ...
破局“芯”困境,西北地区首条硅光中试线正式通线
半导体芯闻· 2025-11-04 17:48
文章核心观点 - 陕西光电子先导院建设的8英寸先进硅光集成技术创新平台正式通线,填补了西北地区硅光芯片中试领域空白,是陕西“追光计划”的标志性成果,将成为打造千亿级光子产业集群的核心支点 [2] - 该平台通过提供自主可控的中试服务,旨在破解国内硅光产业因中试资源集中在欧美而面临的高成本、长周期等困境,加速光子技术从基础研究到量产落地的全链条发展 [11][12] “追光计划”产业进展 - 自2021年启动以来,陕西光子产业企业数量已攀升至370多家,产业规模从150亿元跃升至365亿元,初步构建了“材料—芯片—器件—系统”的完整产业链 [6] - 2023年升级启动“追光计划—跃迁行动”,形成“一核两翼+一园三区”布局,西安高新区为核心承载区 [6] - 光电子先导院作为“创新策源中枢”,四年来已解决100余家初创企业“研发难、流片难”问题 [7] 8英寸硅光平台技术细节 - 平台总投资7.5亿元,于2023年底启动建设,截至2025年9月末已完成全部场地及硬件建设 [12] - 引进了比利时IMEC“130nm硅光芯片工艺包”及光刻、刻蚀等60余台关键核心设备,在130nm有源集成主工艺平台基础上开发90nm以上先进工艺 [12] - 平台正式发布了一款无源SOI集成超低损耗氮化硅产品的PDK,预计2026年完成有源产品通线,包含高性能调制器、探测器等核心器件 [12] 平台运营模式与成效 - 光电子先导院采用“1+N”柔性工程平台模式,“1”指以双中试平台为核心的主工艺平台,将80%资源向中小企业开放中试服务,20%资源支持前沿研发 [14] - “N”指针对磷化铟探测器、砷化镓射频器件等细分领域的特色工艺平台,通过设备共享、技术授权等方式降低企业初始投入 [14] - 6英寸化合物平台自2023年启用以来,已发布20余款PDK,为50余家客户提供全流程服务;8英寸硅光平台虽刚通线,已与十余家头部企业达成意向合作 [17] - 有企业反馈,在该平台进行中试的速度比在国外快5倍以上 [17] 未来发展规划 - 下一步将推进异质异构集成平台建设,构建“化合物半导体+硅光+异质异构集成”三位一体的平台架构,实现从材料生长到系统测试的全链条覆盖 [17]