电子特气行业概述 - 电子特种气体是电子气体的分支，具有高纯度和特殊用途，广泛应用于集成电路、显示面板、太阳能电池等行业[1] - 光刻气是光刻机产生深紫外激光的关键气体，其混合比例决定光刻机分辨率范围，主要由氩、氖、氪、氙及氟化物按特定比例混合[3] - 光刻气纯度要求极高，杂质需控制在ppb级别，消耗量与曝光次数成正比，7nm以下工艺需多次曝光（如台积电3nm需4次EUV曝光）[3] 电子特气分类及应用 - 电子大宗气体包括高纯氮气、氧气、二氧化碳等，用于环境气/保护气/载气[2] - 集成电路领域应用细分：化学气相沉积（氨气、硅烷等）、刻蚀/清洗（氟化氢、氯化氢等）、离子注入（三氟化磷、砷化氢等）、光刻（氟气、氖气等）[2] - 显示面板领域主要使用三氟化氮、硅烷等气体，光伏电池依赖三氟化氮、四氟化碳等，LED需砷烷、磷烷等外延气[2] 市场竞争格局 - 全球光刻气市场80%份额被林德、法液空、大阳日酸等国际巨头垄断[3] - 国内布局企业包括华特气体（氪氖混合气）、凯美特气（氪气）、金宏气体（氨气）、杭氧股份（超纯氦）等15家企业，产品覆盖氖/氪/氟混合气及超高纯气体[4][5] 行业活动 - 2025势银光刻材料产业大会将于7月8-10日在合肥举办，聚焦光刻材料供应链新趋势及半导体行业协同创新[6]