行业核心观点 - 中国高纯三氯化硼行业处于国产化替代攻坚与产业升级并举的关键发展期 市场规模在2024年达到32.22亿元 同比增长6.72% [1][7] - 随着先进半导体制程向3纳米及以下演进 对气体纯度的要求已从5N向5N5 6N乃至更高等级发展 技术壁垒持续提升 [1][7][9] - 国产化替代是确定性的战略主线 将推动市场份额向少数技术实力雄厚的头部企业集中 市场集中度加速提升 [11] 行业概述与定义 - 高纯三氯化硼指纯度≥99.999%（5N级）的三氯化硼 是半导体 光电等高端制造中的关键电子特气 [2] - 主要用作硅片的p型掺杂源 干法蚀刻剂以及铝/镁合金的提纯剂等 属于战略级高纯化学品 [2] 行业产业链 - 产业链上游主要包括硼矿及硼化合物 氯气 催化剂 吸附剂 生产设备等原材料 [4] - 产业链中游为高纯三氯化硼生产制造环节 [4] - 产业链下游主要应用于半导体 显示面板 光伏 量子计算 新能源电池等领域 [4] - 2024年中国硼矿产量约为34万吨 同比增长13.33% 但国内大部分为低品位硼镁石矿 用于高端半导体的“电子级”硼源仍需复杂提纯技术 [5] 市场规模与驱动因素 - 2024年中国高纯三氯化硼行业市场规模为32.22亿元 同比增长6.72% [1][7] - 2025年中国集成电路产量为4843亿块 同比增长7.28% 作为半导体制造核心特种气体 其消耗量形成最稳定 最刚性的需求拉动 [7] 重点企业经营情况 - 大连科利德通过自主创新已率先实现6.5N级（纯度99.99995%）产品的产业化 产品成功应用于12英寸3纳米等先进制程 [7][9] - 中船特气（688146）具备电子特种气体及含氟新材料等70余种产品的生产能力 2025年前三季度营业收入为16.07亿元 同比增长14.90% 归母净利润为2.45亿元 同比增长3.98% [8] - 和远气体（002971）旗下潜江电子特气产业园产品包含电子级三氯化硼等 2025年前三季度营业收入为12.32亿元 同比增长3.32% 归母净利润为0.58亿元 同比下降1.86% [8] 行业发展趋势 - 技术壁垒持续提升 纯度与稳定性成为竞争制高点 竞争的焦点集中在提供纯度更高 批次稳定性更强 满足先进工艺特殊配方需求的产品上 [9] - 产业链纵向整合与横向拓展成为主流战略 龙头企业采取“纵向深耕+横向扩张”的复合战略 旨在构建完整价值链并提供一站式解决方案 [10] - 市场集中度在国产替代浪潮中加速提升 掌握关键技术和先发认证优势的领先企业将构筑强大护城河 预计将形成少数国内龙头企业主导高端市场的格局 [11]

公司战略与收购 - 华特气体通过收购德瑞科技，丰富了公司的产品矩阵，并强化了公司在电子特气行业的领先地位 [1] - 公司将把德瑞科技的氟化气体产品全面纳入其电子气体业务体系 [1] 业务整合与协同 - 公司将依托其强大的品质管理体系和营销网络，加速CLF3、B2H6、SF4等产品在集成电路、医药中间体等关键下游领域的应用推广 [1] - 公司计划在研发、生产、物流、管理等环节与德瑞科技实现深度协同与高效赋能 [1] - 公司将尽快推进电子级氟化气体技术成果的转化与产业化 [1] 被收购方技术背景 - 德瑞科技在含氟电子气体领域拥有深厚的技术积淀 [1]

行业概述 - 四氟化碳是一种无色、无臭、不可燃、化学性质极其惰性的气体，是最简单的全氟碳化合物，具有极高的化学稳定性和热稳定性 [2] - 其特性使其成为理想的惰性保护气体和等离子体工艺气体，广泛应用于微电子工业，同时也是一种长期存在的温室气体 [2] 市场规模与现状 - 2024年，中国四氟化碳行业市场规模约为20.79亿元，同比增长7.44% [1][7] - 行业处于技术升级与市场扩张并行阶段 [1][7] - 国产低温精馏-吸附耦合工艺不断成熟，6N级产品一次合格率不断提升，与国际巨头的技术差距缩小至一个纯度数量级，为国产替代奠定坚实基础 [1][7] - 下游半导体、光伏、面板等新兴产业持续扩产，直接拉动高纯CF₄需求快速放量 [1][7] 产业链分析 - 产业链上游主要包括氢氟酸、甲醇、氟气、碳源、电等原材料，以及氟碳反应器、电解槽、热解塔、精馏塔、吸附塔、淋洗系统等生产设备 [4] - 截至2025年年底，中国氢氟酸价格为11873元/吨，同比增长8.87%，价格坚挺源于源头萤石资源供应趋紧与开采政策收紧，加大了中游特气生产企业的成本压力 [5] - 产业链中游为四氟化碳生产制造环节 [4] - 产业链下游主要应用于半导体、平板显示、光伏、光纤等制造工艺中，也用作激光气体、低温制冷剂、溶剂、润滑剂、绝缘材料、红外检波管的冷却剂 [4] - 2025年，中国集成电路产量约为4843亿块，同比增长7.28%，作为半导体制造核心耗材，四氟化碳在干法刻蚀、晶圆清洗等环节不可或缺，集成电路产量增长将同步推高电子级四氟化碳需求量 [7] 竞争格局与重点企业 - 行业呈现“头部集中、技术驱动”的竞争格局，以科美特、福建德尔科技、昊华科技、华特气体和金宏气体等为代表的国内厂商正加速崛起 [8] - 科美特现有产能2000吨/年，产品纯度达6N级，深度绑定台积电、中芯国际等全球顶尖半导体供应链 [8] - 华特气体四氟化碳产品通过中芯国际、长江存储认证，在半导体刻蚀气领域占据重要市场份额 [8] - 华特气体是国内特种气体国产化领军企业，其四氟化碳产品纯度达6N级，采用低温精馏、膜分离等先进纯化技术，已实现进口替代，客户覆盖中芯国际、长江存储、台积电、SK海力士等全球顶尖半导体企业 [9] - 2025年前三季度，华特气体营业收入为10.44亿元，同比下降1.36%；归母净利润为1.19亿元，同比下降10.32% [9] - 福建永晶科技四氟化碳产能600吨/年，产品纯度达5N级，广泛应用于半导体、光伏等领域，获“国家专精特新小巨人”“福建省制造业单项冠军”等荣誉 [10] 发展趋势 - 高端化驱动：电子级高纯四氟化碳将成为行业发展的绝对主线，增长核心驱动力明确指向半导体与光伏两大下游产业 [12] - 在半导体领域，随着工艺节点向3nm、2nm及以下迈进，对气体纯度的要求已逼近物理极限，推动产品从主流的5N向6N甚至更高纯度演进 [12] - 在光伏领域，N型电池的大规模量产和新型薄膜电池技术的发展，对用于设备腔体清洗的高纯四氟化碳需求也快速增长 [12] - 国产化与头部化加速：未来行业竞争将快速向头部企业集中，呈现“强者恒强”的局面 [13] - 在供应链安全与国产替代战略驱动下，头部本土企业将不断侵蚀由国际巨头长期主导的高端市场份额 [13] - 竞争将成为技术与资本的双重较量，规模化生产的“制造优势”与突破超高纯技术的“技术优势”同样重要，缺乏核心技术和规模效应的中小企业生存空间将被大幅挤压 [13] - 绿色化与可持续化：四氟化碳作为一种强效温室气体，其全球变暖潜能值是二氧化碳的7390倍，将面临全球范围内日益严苛的环保法规约束 [14] - 环保压力将倒逼产业进行技术路线革新，包括生产过程的绿色化、开发应用高效的“末端处理与回收技术”，以及长远寻求温室效应更低的环保替代气体 [14]

公司核心进展 - 万华电子材料公司自主研发的高纯度乙硅烷实现规模化、稳定化量产，标志着我国在高端电子特气领域攻克了一项“卡脖子”关键技术 [1] - 公司采用自主研发的硅化镁法工艺，将乙硅烷合成率稳定提升至30%以上，量产产品纯度超过99.998%（4.8N）[1] - 公司已建成全球单套产能最大的乙硅烷生产装置 [1] - 公司以乙硅烷为切入点，力求实现集成电路产业关键材料的国产替代，并形成了具有完全自主知识产权的工艺包 [1] 产品技术与市场地位 - 乙硅烷是14纳米以下先进制程，尤其是存储芯片堆叠中的关键材料 [1] - 乙硅烷凭借在沉积温度、速率及薄膜质量上的优势，已成为3D NAND、FinFET等先进芯片结构的核心材料 [2] - AI算力爆发驱动先进制程加速迭代，乙硅烷市场前景被普遍看好 [2] - 高纯度乙硅烷的自主量产，奠定了公司在国内电子特气行业的技术领先地位，使其在未来竞争中占得先机 [2] 公司发展战略 - 公司下一步将继续扎根乙硅烷，拓展电子特气，并打造“一站式”服务平台 [2] - 公司在助力中国半导体产业发展的同时，计划加速拓展全球市场 [2] 区域产业生态 - 烟台黄渤海新区将特色半导体列为两大战略性新兴产业之一进行大力培育，聚焦光电半导体、功率半导体两大主攻方向 [2] - 新区已形成“材料—设计—封测—应用”的完整半导体产业链条 [2] - 2025年，全区特色半导体产业实现稳步增长 [2]

工业气体行业概览 - 工业气体根据纯度和用量可分为大宗气体和特种气体两大类 [7] - 大宗气体纯度要求较低（≤99.99%或4N），主要包括通过空气分离或工业废气制取的空分气体（如氧气、氮气、氩气）以及通过化学反应制取的合成气体（如乙炔、氢气、二氧化碳）[7][9] - 特种气体纯度要求高（≥99.999%或5N），可分为标准气体、高纯气体（电子大宗气体）和电子特种气体 [7] - 大宗气体是现代工业的重要基础原料，目前消耗最多的行业是冶金和化工，其应用领域正随着新能源、半导体、电子信息等产业的快速发展而延伸 [9] 电子气体定义与核心地位 - 电子气体是集成电路、显示面板、半导体照明、光伏等行业生产制造过程中不可或缺的关键性材料 [10] - 电子气体包括电子特种气体和电子大宗气体 [10] - 电子特种气体是集成电路制造所必需的支撑性材料，被誉为半导体行业的“粮食”和“血液” [12] - 集成电路制造涉及上千道工序，需使用上百种电子特种气体 [12] 电子特种气体应用领域 - 电子特气广泛应用于光刻、刻蚀、成膜、清洗、掺杂、沉积等集成电路制造工艺环节 [12][16] - 在显示面板生产中，主要应用于清洗、刻蚀和薄膜沉积等工艺，如使用三氟化氮、硅烷、磷烷、超纯氧气等在CVD工艺中沉积二氧化硅薄膜 [16] - 在光伏电池生产中，主要应用于扩散、薄膜沉积和刻蚀等工艺，如使用三氟氧磷和氧气进行扩散 [16] - 从全球市场看，电子特种气体应用于集成电路行业的需求占市场总需求的71%，而在中国该占比为42% [40] - 在半导体材料市场中，电子特气是晶圆制造过程中的第二大耗材，占比接近14%，仅次于硅片 [40] 行业技术壁垒 - 电子特气行业属于典型的技术密集型行业，壁垒主要体现在技术、认证和资质三方面，其次为资金、市场和人才壁垒 [20][23] - 技术壁垒高：生产过程涉及合成、纯化、混合气配制、充装、分析检测、气瓶处理等多项复杂工艺技术 [20][21] - 气体纯度是核心参数，要求超纯（如4.5N、5N、6N、7N）、超净，纯度每提升一个N及杂质含量每降低一个数量级都带来工艺难度显著提升 [25][29] - 混合气的配比精度是核心参数，常要求对多种ppm乃至ppb级浓度的气体组分进行精细操作 [25] - 国内企业如华特气体在部分气体纯度、配气误差（±2%以内，行业平均±5%）、气瓶处理及气体检测精度（可达0.1ppb）方面已达到或优于行业平均水平 [27] 行业认证与客户壁垒 - 认证周期长：集成电路领域认证周期长达2-3年，显示面板为1-2年，光伏和光纤光缆为0.5-1年 [30][31] - 客户粘性强：为保障供应稳定，客户与供应商建立合作关系后不会轻易更换，且不同电子特气之间相互替代性较弱 [33] - 国内部分企业已进入国际领先客户供应链，如华特气体的客户包括英特尔、美光科技、台积电、SK海力士等 [31] 供应模式与资质要求 - 工业气体供应模式主要包括零售供气、现场储槽供气和现场制气（管道供气） [18] - 特种气体对配送过程有特殊严格要求，需要专业的储存、运输设备和运维管理经验 [17] - 工业气体属于危险化学品，在生产、储存、运输、销售等环节均需通过严格的资质认证，如《安全生产许可证》、《气瓶充装许可证》等 [20][34][35] 下游市场需求驱动 - **半导体/集成电路市场**：全球半导体材料市场规模由2016年的428.2亿美元提升至2021年的643亿美元，CAGR为8.47%，预计2023年突破700亿美元 [44][47]。中国半导体材料市场规模由2017年的76.3亿美元提升至2021年的119.3亿美元，CAGR达11.82%，预计2023年达149亿美元 [44][47]。逻辑芯片与存储芯片合计占半导体市场份额超过50% [46][48]。2021年全球半导体存储器销售额达1538.38亿美元，同比增长30.95% [50][53]。2021年中国半导体存储器市场规模为5494亿元 [50][53]。存储芯片市场集中度高，2020年DRAM市场CR3（三星、SK海力士、美光）达94.5%，NAND Flash市场CR6达89.17% [52][54]。美光产品未通过中国网络安全审查，国产存储芯片企业如长江存储、长鑫存储有望受益 [51][54]。AI发展驱动算力需求，预计全球AI芯片市场规模将从2021年的255亿美元以29.3%的CAGR增长至2026年的920亿美元，中国AI芯片市场规模预计从2021年的9.6亿美元以71.14%的CAGR增长，2026年有望突破千亿元 [64][65] - **显示面板市场**：2021年全球半导体显示面板产业产值达1367亿美元，预计2023年将达1709亿美元，同比增长11.55% [70][72]。2021年全球显示面板用电子特气总用量预计为5.1万吨，同比增长超11%，其中中国大陆用量增至2.9万吨，同比增长26% [72] - **光伏市场**：2022年全球光伏新增装机容量达240GW，同比增长37.14%；中国新增装机量达87.4GW，同比增长28.68%，行业增长确定性高 [74][76][79] 市场规模与增长 - 2021年全球电子特气市场规模为45.38亿美元，预计2024年提升至54亿美元 [78][80] - 2021年中国电子特气市场规模为216亿元，预计2025年有望突破435亿元，2021-2025年CAGR达19.13%，增速高于全球 [78][80] 竞争格局与国产替代 - 全球电子特气市场呈现寡头垄断格局，德国林德、法国液化空气、日本大阳日酸、美国空气化工四家公司占据全球七成以上市场份额 [86][89] - 2020年中国电子特气市场前四企业均为外企，合计占比85.8%，国内企业整体份额较低 [86][89] - 2020年我国电子特气国产化率仅14%，预计2025年有望提升至25% [91][92] - 国家政策持续推动电子特气行业发展，目标到2025年使若干新材料品种进入全球供应链，重大关键材料自给率达到70%以上 [81][82][92] - 国内企业已在部分产品上实现技术突破和国产替代，如华特气体、金宏气体、南大光电、中船特气、雅克科技等公司的多种特种气体产品 [88][92] - 随着国内晶圆厂持续扩产、技术工艺提升及产能扩充，电子特气国产化进程已进入加速放量阶段，外资垄断格局有望被打破 [91][92][93]

反倾销调查事件概述 - 中国商务部于2026年1月7日发布公告，对原产于日本的进口二氯二氢硅进行反倾销立案调查 [1][6] - 倾销调查期为2024年7月1日至2025年6月30日，产业损害调查期为2022年1月1日至2025年6月30日 [1][6] - 调查通常应在2027年1月7日前结束，特殊情况下可延长6个月 [1][6] 倾销行为与产业损害 - 2022-2024年间，自日本进口的二氯二氢硅数量持续上升，但价格累计下跌31% [3][7] - 在日本企业低价冲击下，国内厂商产能利用率从82%骤降至61% [3][7] - 日本在高端电子化学品和半导体材料领域占据全球领先地位，多家日企是该产品的主要全球供应商 [3][7] 产品应用与行业重要性 - 二氯二氢硅是电子特气的重要细分品类，主要用于芯片制造过程中的薄膜沉积 [3][7] - 其应用包括生产逻辑芯片、存储芯片、模拟芯片等，也可用于合成硅基系列前驱体和聚硅氮烷 [3][7] 中国市场规模与增长预测 - 2024年中国二氯二氢硅市场规模已达25.8亿元 [5][9] - 预计2025-2030年市场规模将以12.3%的年均复合增长率扩张 [5][9] - 到2030年市场规模有望突破50亿元 [5][9] 中国产能格局与主要企业 - 中国二氯二氢硅总产能约19万吨/年，其中工业级约15万吨/年，电子级约4万吨/年 [4][8] - 电子级产能集中在头部企业 [4][8] - 合盛硅业以12.5万吨/年的总产能稳居行业龙头 [4][5][8][9] - 新安股份拥有2万吨/年的电子级产能，纯度达ppb级 [4][5][8][9] - 三孚股份作为本次调查申请主体之一，产能已扩至5000吨/年 [4][8] - 雅克科技拥有5200吨/年电子级产能 [4][5][8][9] - 东岳集团工业级与电子级总产能约15000吨/年 [5][9] - 晨光新材以工业级为主，产能约8000吨/年 [5][9] 反倾销调查的潜在影响 - 若裁定倾销并征收反倾销税，日本进口产品成本将上升，缩小与国产产品的价差 [5][9] - 此举将直接利好国内企业的价格修复与市场份额提升 [5][9] - 将推动国产电子级产品替代加速，预计2027年电子级国产化率将从32%升至45%以上 [5][9] - 反倾销调查将进一步推动国内高端产能释放 [5][9]

事件概述 - 商务部于2026年1月7日发布公告，对原产于日本的进口二氯二氢硅进行反倾销立案调查 [1] - 倾销调查期为2024年7月1日至2025年6月30日，产业损害调查期为2022年1月1日至2025年6月30日 [1] - 调查通常应在2027年1月7日前结束，特殊情况下可延长6个月 [1] 产品与应用 - 二氯二氢硅主要用于芯片制造过程中的薄膜沉积，用于生产逻辑芯片、存储芯片、模拟芯片和其他类芯片 [1] - 该产品也可用于合成硅基系列前驱体和聚硅氮烷等 [1] 市场反应 - 消息发布后，相关气体公司股价出现显著上涨 [1] - 三孚股份、和远气体涨停，金宏气体涨超11%，硅烷科技涨超5%，华特气体涨超3% [1] 公司进展 - 国内头部企业已实现技术突破和订单落地，其中三孚股份表现突出 [1] - 2023年12月，三孚股份全资子公司的电子级DCS产品通过台积电质量验证并交付首批正式产品 [1] - 2025年9月，公司明确表示该产品在国际客户高端应用方向推广顺利，国内客户销售量逐步上涨 [1] - 公司年产500吨电子级二氯二氢硅项目的充装排扩容项目已完成建设并进入试生产阶段，产能即将释放 [1]

行业事件与政策 - 商务部于1月7日发布公告，对原产于日本的进口二氯二氢硅进行反倾销立案调查 [1] - 倾销调查期为2024年7月1日至2025年6月30日，产业损害调查期为2022年1月1日至2025年6月30日 [1] - 调查自2026年1月7日开始，通常应在2027年1月7日前结束，特殊情况下可延长6个月 [1] 产品应用与市场 - 二氯二氢硅主要用于芯片制造过程中的薄膜沉积，用于生产逻辑芯片、存储芯片、模拟芯片等 [1] - 该产品也可用于合成硅基系列前驱体和聚硅氮烷等 [1] 公司动态与进展 - 三孚股份全资子公司的电子级DCS产品于2023年12月通过台积电质量验证并交付首批正式产品 [1] - 2025年9月，三孚股份表示该产品在国际客户高端应用方向推广顺利，国内客户销售量逐步上涨 [1] - 三孚股份年产500吨电子级二氯二氢硅项目的充装排扩容项目已完成建设并进入试生产阶段，产能即将释放 [1] 市场反应 - 1月8日，三孚股份、和远气体涨停，金宏气体股价上涨超过11% [1] - 硅烷科技股价上涨超过5%，华特气体股价上涨超过3% [1]

交易核心信息 - 公司拟以自有资金7760万元现金收购控股子公司乌兰察布南大约16.17%的股权，交易完成后持股比例将从74.88%提升至91.05% [1] - 收购标的为南晟叁号持有的13.33%股权（对应注册资本4000万元）和南晟肆号持有的2.83%股权（对应注册资本850万元）[1] - 交易构成关联交易，因南晟叁号的有限合伙人包含公司董事及高级管理人员，但不构成重大资产重组 [1] - 交易定价参考审计报告，截至2025年11月30日，乌兰察布南大净资产为4.77亿元，总交易对价7760万元，其中收购南晟叁号股权对价6400万元，收购南晟肆号股权对价1360万元 [2] - 交易已获董事会审议通过，关联董事回避表决，无需提交股东大会，采用现金支付，工商变更后10个工作日内一次性付清 [2][3] 交易战略背景与协同 - 本次股权收购是公司2025年电子特气业务战略布局的延续与深化 [2] - 2025年10月，公司将“7200吨电子级三氟化氮项目”未使用的9217.50万元募集资金，全部用于乌兰察布南大“年产2000吨高纯电子级三氟化氮扩产项目” [2] - 该扩产项目总投资约3.68亿元，聚焦5.5N高纯度产品，旨在满足人工智能、物联网发展对芯片性能的高要求，助力公司切入高端市场 [2] - 扩产计划与本次股权收购形成“产能升级+股权强化”的双重布局，股权集中可确保母公司对扩产项目的资源倾斜与战略协同 [4] 子公司经营与交易影响 - 乌兰察布南大是公司氟类电子特气业务的核心产业基地，核心产品三氟化氮是半导体制造的关键材料 [3] - 子公司经营稳健：2024年实现营业收入4.66亿元，净利润8700.70万元；2025年1月至11月实现营业收入4.14亿元，净利润4427.89万元 [3] - 交易将持股比例提升至91.05%，有助于理顺子公司股权结构，强化核心团队与公司的长期绑定，为子公司稳定运营和战略落地筑牢治理基础 [3] - 交易完成后，南晟肆号将不再持有股权并办理注销，南晟叁号将进行减资处理 [3] 行业格局与公司战略意义 - 当前国内三氟化氮市场呈现“中低端内卷、高端供给不足”的格局，中低端产品价格承压明显 [4] - 公司通过扩产项目聚焦高端市场，再以股权收购强化对核心产能的绝对掌控，形成“技术研发-产能落地-股权把控”的闭环优势 [4] - 这一布局旨在规避低端市场竞争风险，抓住全球高端半导体材料机遇，利用乌兰察布基地的资源禀赋成本优势，抢占高端市场份额 [4] - 5.5N高纯度三氟化氮是高端芯片制造的核心配套材料，扩产项目能巩固公司技术壁垒，股权集中有助于提升公司在电子特气细分赛道的市场份额与定价话语权 [4]

文章核心观点 - 南大光电计划以现金收购员工持股平台持有的子公司乌兰察布南大部分股权 旨在完善事业合伙人机制并加强对该核心产业基地的控制 促进其稳定发展 [1] 交易结构 - 交易标的为乌兰察布南大16.1666%的股权 其中收购南晟叁号持有的13.3333%股权 对应注册资本4000.00万元 收购南晟肆号持有的2.8333%股权 对应注册资本850.00万元 [1] - 交易完成后 南晟叁号将进行减资 南晟肆号将不再持有乌兰察布南大股权并办理工商注销 [1] - 交易对价合计为人民币7760.00万元 基于截至2025年11月30日乌兰察布南大净资产47711.50万元的审计结果并经协商确定 [2] 交易背景与目的 - 乌兰察布南大是公司氟类电子特气业务的产业基地之一 [1] - 此次收购旨在进一步完善公司“团结创业、共同创富”的事业合伙人机制 加强对事业合伙人的分类管理与精准施策 [1] - 交易目的是促进乌兰察布南大持续稳定发展 [1] 财务数据 - 根据审计报告 截至2025年11月30日 乌兰察布南大净资产为47711.50万元 [2] - 基于该净资产审计值 各方协商确定本次16.1666%股权的交易对价为7760.00万元 [2]