激光直接成像(LDI)设备
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AI基础设施之IC载板:mSAP工艺应用场景与设备分析(附PPT报告)
材料汇· 2026-06-26 21:44
文章核心观点 - AI算力硬件升级推动PCB技术向高密度互联演进,mSAP工艺因能实现更精细的线路成为关键,并带动PCB制造设备(钻孔、电镀、LDI、成型)的价值提升和技术迭代 [4][7][10][16] PCB技术升级与mSAP工艺 - **AI硬件驱动工艺升级**:1.6T光模块采用8×224Gbps PAM4通道,奈奎斯特频率高达56GHz,要求线宽/线距缩小至15μm/15μm,传统减成法无法满足,mSAP工艺可实现±1-2μm线宽公差和陡直侧壁,降低信号损耗 [7] - **封装技术推动PCB载板化**:CoWoP工艺省略封装基板,要求底层PCB达到类载板级别线宽线距(如15-20μm),倒逼采用mSAP工艺;NPO工艺同样因高带宽需求需要更精细线路,推动mSAP使用 [9][10] - **工艺路径演进**:传统Tenting法线宽/间距极限约35μm;mSAP法将线宽/间距极限提升至约15μm,应用于SLP、1.6T光模块PCB等领域;SAP法可将线宽线距缩小到15μm以下,应用于ABF载板与玻璃基板 [12][15] mSAP工艺受益的制造设备环节 - **曝光设备**:线宽线距降至15μm,要求LDI设备成像精度±0.5μm,对位精度±1.5μm,芯基微装LDI设备已实现15μm线宽线距能力,洪镭光学(洪田股份子公司)也有布局 [16] - **钻孔设备**:孔径需缩小至50μm左右,超快激光钻成为更优解决方案,大族数控超快激光钻已实现批量化 [16] - **电镀设备**:需控制铜厚均匀性在±5%以内,东威科技已实现mSAP工艺移载式VCP电镀设备量产,水平三合一设备拿到可观订单(如沪电7条线),东莞速远(洪田股份子公司)也有设备出货 [16] - **成型设备**:1.6T光模块PCB面积小结构复杂,CCD锣机成为优质方案,大族数控与兴斐合作开发CCD锣机已有成功案例 [16] 相关设备公司分析 大族数控 - **业绩表现**:2025年营收57.73亿元,同比+72.68%;归母净利润8.24亿元,同比+173.68% [21][23];2026年Q1营收19.55亿元,同比+103.69%;归母净利润3.23亿元,同比+176.53% [22][23] - **业务驱动**:AI算力需求强劲,带动高多层板、HDI增长,高技术附加值设备需求上升 [23] - **mSAP相关设备**:提供超快激光钻孔机(最小孔径30μm)和激光直接成像设备(最小线路解析能力15/15μm) [23] 东威科技 - **业绩表现**:2025年营收10.98亿元,同比+46.45%;归母净利润1.21亿元,同比+74.58% [25][28];2026年Q1营收3.05亿元,同比+44.47%;归母净利润0.44亿元,同比+160.50% [27][28] - **mSAP相关设备**:包括MSAP移载式VCP设备(最小线宽/线距8/8um,均匀性偏差<3%)、水平镀三合一设备、垂直连续电镀设备、脉冲电镀设备 [28] 芯基微装 - **业绩表现**:2025年营收14.08亿元,同比+47.61%;归母净利润2.9亿元,同比+80.42% [30][34];2026年Q1营收5.15亿元,同比+112.48%;归母净利润1.08亿元,同比+108.98% [32][34] - **业务驱动**:高端PCB设备量价齐升、先进封装设备放量及AI算力行业高景气 [34] - **mSAP相关设备**:核心为直写光刻设备,MAS6P系列线宽线距解析能力达6/6μm,生产效率较国际主流同类设备提升50%以上 [34] 洪田股份 - **业绩表现**:2025年营收10.79亿元,同比-21.46%;归母净利润0.15亿元,同比-87.58% [36][40];2026年Q1营收1.18亿元,同比-12.78%;归母净利润-0.16亿元,同比-36.55% [37][40] - **mSAP相关设备**:通过子公司布局VCP垂直连续电镀设备和直写光刻设备(解析能力覆盖0.5μm-20μm),并提供2μm-5μm载体铜箔全套生产设备 [40]