摘要 ： 近日，zycgr发布多批政府采购意向，仪器信息网特对其中的仪器设备品目进行梳理，统计出9项 仪器设备采购意向，预算总额达2.14亿元。 立式化学气相沉积系统(CVD) 立 式 化 学 气 相 沉 积 系 统 (Vertical Chemical Vapor Depos ition Sy s tem) 是 一 种 采 用 垂 直 布 局 设 计 的 薄 膜 沉 积 设 备 ， 广 泛 应 用 于 半 导 体 制 造 、 光 电 器 件 、 太 阳 能 电 池 和 纳 米 材 料 等 领 域。立式CVD系统是通过气相化学反应在基材表面沉积薄膜材料的设备，其核心原理是通过高 温或等离子体激活气态前驱体，使其在基片表面发生化学反应形成固态薄膜。区别于传统的水 平 式 CVD 系 统 ， 立 式 系 统 采 用 垂 直 布 局 设 计 ， 基 片 垂 直 放 置 于 多 层 载 具 上 ， 气 流 自 上 而 下 流 动，这种设计能有效减少颗粒沉降对基片的污染。 原子层沉积系统 原子层沉积系统(Atomic Layer Depos ition Sy s tem)是一种基于原子层沉积技术的先进薄 膜 制 备 设 ...

采购计划概览 - 华中科技大学近期发布35项仪器设备采购意向，预算总额达1.33亿元，涉及相位噪声分析仪、金相显微镜、功率器件分析仪等高端设备[2][3] - 采购计划预计执行时间为2025年6月至10月，涵盖材料科学、半导体、生物医学等多个领域[3] - 采购清单中包含多项高精尖设备，如等离子体增强化学气相沉积系统、大带宽高速时域信号调制分析仪等[3][12] 重点采购设备分析 - **金相显微镜**：用于金属及材料微观结构分析，支持晶粒大小、相分布等研究，预算180万元[4][13] - **功率器件分析仪**：专用于测试MOSFETs、IGBTs等功率半导体性能，支持1500A/3KV高压测试，预算198万元[5][13] - **等离子体增强化学气相沉积系统(PECVD)**：可在低温下沉积高质量薄膜，适用于半导体材料，预算230万元[6][13] - **极端条件电输运测试系统**：支持低温(~50mK)和强磁场(16T)下的电输运、比热等物性测量，预算880万元[11] - **FIB扫描电子显微镜双束系统**：分辨率达0.7nm@15kV，配备液态Ga离子源和能谱仪，预算980万元[12] 科研设备技术亮点 - **化学机械平坦化系统**：支持8英寸晶圆加工，抛光头分区加压控制，预算900万元[12] - **原子层刻蚀系统**：8英寸兼容，配备快速切换阀(响应时间<30ms)，预算550万元[12] - **电子束蒸镀机**：8英寸晶圆薄膜沉积均匀性σ<1.0%，预算450万元[12] - **存储器芯片测试系统**：支持8*8阵列芯片测试，16个SMU通道，最小脉宽400ps，预算300万元[12] 学校科研实力背景 - 华中科技大学为国内顶尖研究型大学，2025年ARWU全球排名第79位，U.S. News全球第100位[14] - 拥有9个"双一流"建设学科，机械工程、光学工程、生物医学工程等学科全国领先[15] - 科研平台包括武汉光电国家研究中心、国家脉冲强磁场科学中心等国家级基地[18] - 在肿瘤基因检测、电池材料、水污染控制等领域取得国际领先成果[16][17]