高纯臭氧水系统

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智桦半导体珠海总部基地正式投产 年产千台套半导体臭氧设备助力国产替代
巨潮资讯· 2025-10-14 21:48
公司投产与战略布局 - 珠海智桦半导体科技有限公司总部基地于10月14日在大湾区智造产业园D区正式投产 [1] - 珠海基地作为公司战略布局核心枢纽,计划总投资2亿元,预计年产1000台套半导体臭氧设备 [3] - 基地达产后年产值可达10亿元,并为当地创造300个优质就业岗位 [3] 技术实力与市场地位 - 公司是国内少数掌握半导体臭氧设备全链条核心技术的企业,通过十余年技术攻坚成功打破国外垄断 [3] - 核心产品高浓度臭氧气体系统臭氧气体浓度最高达420g/m³,高纯臭氧水系统臭氧水浓度稳定在140ppm以上 [3] - 产品已应用于台湾地区及东南亚多家先进晶圆厂,创新研发的二氧化碳功能水系统为行业提供环保高效解决方案 [3] 行业背景与产业意义 - 芯片制造过程中清洗环节约占全工序的30%,直接决定芯片良率,但长期是国产化短板 [3] - 半导体产业自主可控成为全球竞争焦点,公司投产填补了国内高端清洗设备领域技术空白 [4] - 随着产能释放与技术迭代,公司有望成为全球半导体供应链中不可或缺的中国力量 [4] 投资与支持模式 - 今年6月珠海科技产业集团通过旗下科创长青基金投资公司,并推动其入驻大湾区智造产业园 [3] - 形成"基金+园区+产业"的闭环赋能模式,园区基建与产业愿景的高度契合坚定了公司发展信心 [3][4]