Workflow
半导体臭氧设备
icon
搜索文档
国林科技:关于半导体臭氧设备是否更适合于EUV光刻配套,业内处于工艺研究与试验中
证券日报· 2025-08-11 16:13
半导体臭氧设备技术发展 - 公司表示从技术角度半导体臭氧设备未来可能成为EUV光刻配套的发展趋势 [2] - 行业目前仍处于工艺研究与试验阶段尚未成熟 [2]