先进工艺技术
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晶圆巨头,一口气购买20台EUV光刻机
半导体行业观察· 2026-04-07 09:16
三星电子大规模采购光刻设备 - 三星电子向ASML和日本佳能订购了约70台光刻设备,其中约20台为极紫外(EUV)光刻设备 [1] - 这约20台EUV光刻设备的价值超过10万亿韩元 [1] - 设备将安装在平泽园区Fab 5(P5)的第一阶段,计划在明年第一季度交付,预计明年第二季度开始在洁净室安装 [1][2] 采购的战略目标与影响 - 三星计划利用这些设备,在亚10nm先进工艺技术上保持对SK海力士和美光等竞争对手的决定性领先 [1] - 此次大规模采购旨在提升其第六代10nm级DRAM(1c节点)的生产能力,并增加基于该节点构建的第六代高带宽存储器(HBM4)的产量 [1] - 此举标志着三星开始在先进工艺技术上拉大与竞争对手的技术差距 [3] 三星在HBM市场的进展 - 三星于今年2月实现了HBM4的大规模生产,为全球首创,并已开始向NVIDIA供应 [2] - HBM4被安装在NVIDIA最新的高性能GPU Rubin上,该GPU预计将于今年下半年开始大规模出货,供应对象包括谷歌和亚马逊等美国科技巨头 [2] - 业界预计Rubin将产生超过1万亿美元的收入 [2] - 三星正按照Rubin推出时间表,在华城H3线17和平泽P3/P4工厂扩大HBM4生产 [2] 与主要竞争对手SK海力士的对比 - SK海力士上个月末与ASML签署了价值约12万亿韩元的EUV供应合同,涉及约20台设备,计划将其EUV设备总数增加至约40台 [3] - 三星目前运营约40台EUV设备,大约是SK海力士机队的两倍 [3] - 加上此次新订购的约20台EUV设备,三星与SK海力士在先进工艺方面的设备差距很可能持续存在 [3] - 如果平泽P5的四个阶段全部配置为DRAM生产线,三星的产量可能超过SK海力士的两倍 [3] 对未来技术节点的布局 - 分析师认为,此次大规模设备采购将使三星在1d节点(第七代10nm级DRAM)开发竞赛中占据有利位置,该节点预计将从HBM5E开始采用 [3] - 过去新建工厂通常先确定NAND闪存生产线,但此次由于预计HBM4出货量增加,三星决定优先扩展DRAM生产线 [3]