微机电系统

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【活力中国调研行】晶圆破局 “智感”未来
搜狐财经· 2025-07-07 12:13
近年来,蚌埠市抢抓人工智能时代传感器产业转型升级新机遇,加快科技创新与产业创新深度融合。依 托安徽北方微电子研究院集团有限公司等龙头企业和大院大所,该市大力发展MEMS传感器产业,全力 打造中国传感谷,推动智能传感器产业集群化、规模化发展。 "目前,蚌埠是安徽唯一同时拥有集成电路及MEMS晶圆生产线的城市。"蚌埠经开区管委会主任陶广生 介绍道。 今年5月,全国首条8英寸MEMS晶圆全自动生产线在谷内企业安徽华鑫微纳集成电路有限公司正式投 产。 在华鑫微纳的洁净车间,记者看到,一套附着在车间天花板上的专用天车系统,正通过上料、下料等操 作,将一盒盒8英寸晶圆精准转运至各道工序设备上,最终制造出指甲盖大小的芯片。 该公司产品涵盖惯性传感器、压力传感器、光MEMS执行器、环境传感器、喷墨打印头等,广泛应用于 高端装备、汽车电子、工业控制与仪表、石油化工、智能家居、消费电子等领域。 "产线规划月产能为3万片8英寸MEMS晶圆。"公司负责人丁敬秀告诉记者。此外,该公司还拥有一条月 产5000片的6英寸MEMS晶圆生产线,可为客户提供低成本的中试与小批量试产服务。 人有感知外物的视觉、听觉、嗅觉、味觉、触觉,机器同样可以 ...
新突破!我国成功研发蚊子大小仿生机器人
是说芯语· 2025-06-19 12:12
国防科技大学仿生机器人研发 - 成功研发出蚊子大小的仿生机器人 融合生物特性与尖端科技 或将重塑未来战场侦察模式 [1] - 该成果是微机电系统 材料科学 生物仿生学等多学科协同攻关的结晶 对微芯片设计和制造工艺提出极高挑战 [1][2] 技术实现细节 - 需将传感器 动力装置 控制电路等精密集成于微小空间 涉及微机电系统技术突破 [1][2] - 材料科学领域需研发轻质 高强度且柔韧的材料以模拟蚊子飞行姿态 [2] - 生物仿生学为外形设计和行为模式提供灵感 实现复杂环境自由穿梭 [2] 产品应用场景 - 凭借极小体积 轻盈质量和出色隐蔽性 特别适用于情报侦察等特殊任务 [1][2] - 可突破传统侦察手段限制 悄无声息潜入敌方阵地完成不被察觉的侦察 [1][2]