半导体装备业务表现 - 2024年半导体装备业务收入265 78亿元 净利润52 18亿元 [1] - 2025Q1半导体装备业务收入78 59亿元 占比95 77% 净利润15 79亿元 [5] 刻蚀设备 - 2024年刻蚀设备收入超80亿元 形成ICP CCP Bevel刻蚀设备等全系列产品布局 [1] - ICP设备主要用于12英寸逻辑 存储等领域浅沟槽隔离 栅极等刻蚀工艺 [1] - CCP设备覆盖AIO Contact等逻辑领域多个技术节点 适用于Low-K介质及常规介质材料 [1] - 高深宽比刻蚀设备满足3D NAND堆叠层刻蚀需求 96层3D NAND刻蚀深宽比达40以上 [1] 薄膜沉积设备 - 2024年薄膜沉积设备收入超100亿元 其中ALD设备收入近20亿元 [2] - PVD设备覆盖逻辑和存储芯片 Metal Gate PVD实现28nm金属栅核心工艺量产突破 [2] - ALD设备用于12英寸存储芯片金属氧化物薄膜沉积 成为国内HiK量产生产线主力机台 [2] - EPI设备实现减压选择性外延等全面覆盖 是国内扩产首选机台 [3] 其他设备领域 - 2024年热处理设备收入超20亿元 形成立式炉和RTP全系列布局 [3] - 2024年湿法设备收入超10亿元 形成单片设备和槽式设备全面布局 [3] - 2025年3月发布首款离子注入机Sirius MC 313 将撬动国内160亿元市场空间 [3] 芯源微收购 - 收购芯源微9 48%股份 成为控股股东 进军前道涂胶显影机 临时键合及解键合机市场 [3][4] - 芯源微是国内唯一可提供量产型前道涂胶显影机的厂商 覆盖offline I-line KrF及ArF浸没式产品 [4] - 前道化学清洗机KS-CM300/200工艺覆盖率达80%以上 已获多家大客户订单 [4] - 全自动临时键合及解键合机适配InFO CoWoS HBM等技术路线 在手订单近20台 [4] 财务表现 - 2025Q1收入82 06亿元 同比增长37 90% 归母净利润15 81亿元 同比增长38 80% [5] - 毛利率43 02% 净利率19 10% 同比基本持平 [5] - 预计2025-2027年营收分别为387 77 480 36 595 86亿元 归母净利润75 11 94 72 121 77亿元 [5]

公司业务与产品 - 公司专业从事半导体专用设备的研发、生产和销售，提供半导体装备与工艺整体解决方案 [2] - 已形成前道涂胶显影、前道清洗、后道先进封装及化合物、核心零部件四大业务板块，产品累计出厂超过2000台套 [2] - 是国内唯一可提供前道量产型涂胶显影设备的厂商，前道高产能涂胶显影机已实现与多款主流光刻机联机量产，完成国内成熟制程工艺节点全覆盖 [2] - 前道物理清洗机市占率稳居国内第一，前道化学清洗机成功打破国外垄断，高温SPM设备完成头部客户工艺验证 [2] - 后道先进封装领域涂胶显影机、单片式湿法设备成为国内客户端主力机型并成功向海外销售 [2] - 临时键合机、解键合机等应用于2.5D封装、HBM等领域的新品陆续推出，核心部件实现国产化替代 [2] 财务表现 - 2024年度实现营收17.54亿元，同比增长2.13%，前道Track、前道清洗、后道先进封装收入均有所提升，小尺寸产品收入下降 [3] - 2024年研发费用2.97亿元，同比增长49.9%，研发费用率17%，同比提升5个百分点，主要用于研发材料及服务费增加 [3] - 2025年一季度收入2.75亿元，同比增长13%，归母利润466万元，同比下降70%，一季度为传统淡季 [4] 订单与研发进展 - 2024年新签订单24亿元（含demo及LOI），同比增长10%，前道化学清洗设备及键合设备成为新增长点 [4] - 高温硫酸清洗设备通过国内领先逻辑客户工艺验证，化学清洗品类获多家大客户订单及验证性订单 [4] - 键合品类签单同比高速增长，成为具有良好增长弹性的细分赛道 [4] - 新一代超高产能架构涂胶显影机、化学清洗机、临时键合及解键合机等多款新产品迭代及研发进展顺利 [3] 行业环境与政策支持 - 国家出台《科技部重点支持集成电路重点专项》《集成电路产业"十三五"发展规划》等政策支持半导体设备产业发展 [4] - 2016-2023年中国大陆半导体设备市场规模从64.60亿美元增长至366亿美元，年均复合增长率28.11%，2024年达495亿美元，同比增长35.25% [5] - 预计到2027年中国大陆将持续保持全球300mm设备支出第一的地位 [5] 股权变动与战略合作 - 北方华创拟参与竞买1689.98万股公司股份，并协议受让1906.49万股，完成后持股比例达17.90% [5] - 北方华创与公司在半导体装备业务上具有产品互补性，有利于协同效应发挥 [6] - 北方华创收购股份事宜已通过北京国资委审批，正在履行交易所合规审批等程序 [6]