二维半导体工程化示范工艺线
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全国首条二维半导体工程化示范工艺线在沪点亮 国产半导体产业“换道加速”
科技日报· 2026-01-14 13:33
二维半导体产业化里程碑事件 - 全国首条二维半导体工程化示范工艺线于上海浦东新区正式点亮,占地约1000平方米,标志着相关技术从实验室走向产业界 [1] - 该示范线由原集微科技(上海)有限公司建设,是国内首个面向二维半导体的工程化中试产线 [1] - 基于该工艺线生产的首批验证产品展示,表明我国二维半导体技术已具备从科研走向规模化制造的基础条件 [1] 核心参与公司:原集微科技 - 原集微科技成立于2025年2月,是国内首家专注于二维半导体集成电路制造的高技术企业,系复旦大学科技成果转化衍生公司 [3] - 公司创始人包文中为复旦大学微电子学院研究员,其联合团队于2025年4月发布了全球首款基于二维半导体材料的32位RISC-V架构微处理器“无极” [3] - 公司规划该示范线于今年6月实现通线运行,预计今年底前实现等效硅基90纳米 CMOS制程和Mb级存储器,并开展存算一体产品的小批量生产 [3] 二维半导体的技术优势与产业化动力 - 二维半导体是厚度仅为1至3个原子的材料,电子在二维平面内运动,展现出独特物理特性 [4] - 相比传统硅基半导体,二维半导体在电子传输效率、功耗控制(解决短沟道漏电难题)及材料来源(如二硫化钼、二硒化钨)上具备颠覆性优势 [4] - 硅基晶体管尺寸逼近物理极限,制造复杂度指数级上升,为二维半导体提供了产业化机遇 [4] - 产业界如英特尔、三星、台积电、欧洲微电子中心已将二维半导体列为1纳米节点后延续摩尔定律的核心技术方案 [5] 技术进展与兼容性 - “无极”处理器的集成工艺中70%可直接沿用现有硅基产线成熟技术 [5] - 核心二维特色工艺已构建20余项发明专利,形成了自主技术体系 [5] - 原集微电子总经理喻涛指出,该示范线的价值在于证明能将顶级科研转化为产业界认可的产品 [5] 当前产业化面临的挑战 - 材料挑战:晶圆级二维半导体材料缺陷较多,其极薄特性(类比为豆腐)给加工带来巨大挑战,需要特殊加工设备 [9] - 工艺挑战:面对上百道工艺参数的复杂耦合,团队采用“原子级界面精准调控+全流程AI算法优化”双引擎技术,通过机器学习提升实验效率和工艺稳定性 [9] - 生态挑战:器件模型、设计规则、工艺设计套件尚未建立,上下游产业链未形成闭环,需从专用设备研发到终端应用场景的跨领域协同创新 [9] 未来展望 - 公司完全借助国内基础研究优势,提前开始二维半导体产业化的尝试 [10] - 随着产业化技术持续迭代和生态逐步完善,二维半导体有望成为我国半导体产业的重要技术路线并加速发展 [10] - 创始人包文中相信,二维半导体器件性能可在较短时间内追上硅基,最终形成与硅基半导体长期共存、应用互补的局面 [3]
原集微首条二维半导体工程化示范工艺线成功点亮 复旦科技成果转化开启产业化新篇章
观察者网· 2026-01-07 19:56
公司概况与背景 - 原集微科技(上海)有限公司由复旦大学集成芯片与系统全国重点实验室、复旦大学微电子学院研究员及博士生导师包文中于2025年2月创办 [3] - 公司是国内首家聚焦于超越摩尔与非硅基异质集成技术的二维半导体企业 [3] - 公司依托复旦大学团队十余年的科研积淀,已达成超千万元技术成果转化 [3] 技术进展与里程碑 - 公司首条二维半导体工程化示范工艺线于1月6日在上海浦东川沙成功举行点亮仪式 [1] - 该工艺线是国内首条二维半导体工程化示范工艺线 [6] - 公司计划在2026年6月实现这条工艺线的正式通线 [6] - 工艺线的成功运行验证了相关技术的工程化可行性 [6] 战略合作与支持 - 公司与北京赛微电子股份有限公司已达成全方位深度合作,涵盖设备选型、技术优化到现场安装调试,赛微电子将该项目列为最高优先级 [5] - 公司在活动中与上海市浦东创新投资发展(集团)有限公司、复旦科创投资基金共同签署了投资协议 [6] - 公司落地川沙新镇后,当地政府协助破解了厂房、融资等一系列难题 [5] - 复旦大学校长金力表示,将以此次合作为起点,与浦东新区共同探索“校地协同创新”新模式 [4] 行业定位与政府支持 - 二维半导体被视为半导体“后摩尔时代”的技术竞争关键领域 [6] - 上海市将二维半导体作为未来产业培育的重要方向进行系统部署 [4] - 上海市计划围绕二维半导体材料、制造工艺、器件设计与装备等关键环节,系统布局重点攻关任务 [4] - 上海市将联动高校院所与创投机构,搭建协同平台,提供技术验证、人才与资金对接等全链条服务 [4] 发展目标与愿景 - 公司旨在聚焦二维半导体前沿芯片技术,服务国家战略需求 [6] - 公司目标是助力上海建设全国未来芯片技术产业高地 [6] - 川沙新镇计划以该项目为起点,逐步构建完整的二维半导体生态产业链 [5] - 公司致力于推动二维半导体技术在关键领域的应用,为半导体产业实现高水平科技自立自强提供支撑 [7]