募集资金基本情况 - 公司于2022年首次公开发行人民币普通股(A股)31,619,800股 发行价格为每股71.88元 募集资金总额227,283.12万元 扣除发行费用14,523.40万元后募集资金净额为212,759.73万元 [1] - 天健会计师事务所于2022年4月14日出具验资报告(天健验[2022]139号)确认资金到位 公司对募集资金实行专户存储管理 [2] 募集资金投资项目 - 募集资金承诺投资项目包括先进半导体设备的技术研发与改进项目及高端半导体设备产业化基地建设项目 计划投资总额278,029.65万元 其中募集资金投资额194,856.25万元 [2] - 2024年公司使用部分超募资金19,727.29万元(含交易佣金等中介费用)回购公司股份 [2] 上海二厂项目情况 - 上海二厂项目位于上海市自由贸易试验区临港新片区 主要用于先进ALD设备及工艺研发和半导体设备产业化 截至2025年6月30日项目建设已完成并投入使用 [2] - 项目资金节余主要源于公司加强费用控制合理降低投资 同时通过现金管理获得收益及利息收入 [5] - 项目剩余待支付尾款将用节余募集资金支付 完成后剩余资金将永久补充流动资金 [5] 超募资金使用情况 - 公司首次公开发行募集资金净额212,759.73万元 投资项目总额100,029.65万元 超募资金总额112,730.08万元 [5] - 2022年10月通过决议使用部分超募资金建设新项目及向子公司增资 [5] - 2024年3月调减上海二厂项目募集资金5,000万元投入高端半导体设备产业化基地建设项目 上海二厂项目超募资金调整为88,000万元 [5] - 截至2025年8月14日剩余超募资金61.18万元(含回购计划剩余本金2.71万元及利息58.47万元) [6][7] - 剩余超募资金将永久补充流动资金用于日常生产经营 [7] 资金账户管理 - 募集资金转出补充流动资金后公司将办理中信银行沈阳长白岛支行(账号8112901012700838048)及上海中信泰富广场支行(账号8110201012601533201)的专户销户手续 [7] 合规性说明 - 本次超募资金使用符合《上市公司监管指引第2号》及《上海证券交易所科创板上市公司自律监管指引第1号》等监管规定 [7][8] - 公司承诺每12个月内使用超募资金补充流动资金不超过超募资金总额的30% 且补充后12个月内不进行高风险投资 [9] 审议程序 - 公司于2025年8月25日召开第二届董事会第十七次会议及第二届监事会第十六次会议审议通过相关议案 [1][10] - 议案尚需提交股东大会审议 [1][10] 专项意见 - 监事会认为该事项有利于提高资金使用效率且程序合法有效 [10] - 保荐机构招商证券对事项无异议 认为已履行必要法律程序 [10][11]

募集资金基本情况 - 公司首次公开发行人民币普通股(A股)股票31619800股 发行价格为每股7188元 募集资金总额为2275973万元[1] - 天健会计师事务所于2022年4月14日出具验资报告确认资金到位 公司对募集资金实行专户存储管理[2] 募集资金投资项目 - 先进半导体设备的技术研发与改进项目及高端半导体设备产业化基地建设项目为承诺投资项目 总投资额27802965万元 其中承诺投资额19485625万元[4] - 2024年度公司使用部分超募资金1972729万元(含交易佣金等中介费用)回购公司股份[4] 上海二厂项目情况 - 项目通过建设研发与产业化基地开展先进ALD设备及工艺研发 截至2025年6月30日已完成建设并投入使用[4] - 项目调整后投资总额8800000万元 实际投入超募资金6936711万元 产生待支付募集资金1328985万元及利息收入净额32222万元[5] - 预计节余金额为856524万元 主要源于项目费用控制及现金管理收益[5][6] 超募资金使用情况 - 首次公开发行募集资金净额2275973万元 超募资金总额11273008万元[6] - 2022年10月经股东大会批准使用超募资金投资新项目及向子公司增资[6] - 2024年3月经股东大会批准调减上海二厂项目募集资金500000万元转投高端半导体设备产业化基地建设项目[6] - 截至2025年8月14日剩余超募资金6118万元(含回购计划剩余本金271万元及利息5847万元)[7] 资金使用计划 - 上海二厂项目剩余尾款将用节余募集资金支付 完成后将专户剩余资金永久补充流动资金[6] - 剩余超募资金6118万元将永久补充流动资金用于日常生产经营[8] - 资金转出后将办理募集资金专户销户手续 涉及中信银行两个专户[8] 合规性说明 - 本次补充流动资金金额占超募资金总额比例未超30% 符合《上市公司监管指引第2号》相关规定[9] - 公司承诺12个月内补充流动资金金额不超过超募资金总额30% 且不进行高风险投资[10] 审议程序 - 该事项已经董事会、监事会审议通过 尚需提交股东大会批准[10][11] - 保荐机构招商证券对项目结项及资金补充方案无异议[12]