光罩修复设备

搜索文档
俄罗斯的光刻机往事
半导体行业观察· 2025-08-20 09:08
公众号记得加星标⭐️,第一时间看推送不会错过。 美国在半导体工业发展史上诞生了许多传奇,发明了晶体管的贝尔实验室,留下摩尔定律的戈登 摩尔,创造Tick Tack模式的英特尔。与之相比,同为冷战一极的苏联则太过于默默无闻了,为 人津津乐道的电子管科技最终还是被大规模集成电路抛在了身后。虽说苏联在大规模集成电路领 域落后于时代,但还是留下了一颗火种发光发热。 2025年,俄罗斯发布其首台350nm光刻机,由俄罗斯的ZNTC与白俄罗斯的Planar联合研发。于 是,我们的主角Planar登上了舞台! KB-TEM的Planar Planar在中国有一个更为人所熟知的名字叫做KB-TEM,相比之下Planar这个本名反倒显得生疏,显 得不那么亲切。 Planar 隶 属 于 白 俄 罗 斯 的 "KB-TEM" 设 计 局 ( 全 称 " 设 计 局 - 技 术 设 备 与 材 料 " , Konstruktorskoe Buro - Tekhnicheskoe Oborudovanie i Materialy),成立于1963年,是苏联电子工业体系的重要组 成。这一时期,公司专注于光刻设备、半导体制造技术及精密仪 ...