指数与ETF市场表现 - 截至2026年2月6日10:56，中证半导体材料设备主题指数上涨0.39%，成分股江丰电子上涨6.32%，有研新材上涨3.01%，上海新阳上涨1.61%，矽电股份上涨1.55%，中科飞测上涨1.45% [1] - 半导体设备ETF华夏(562590)当日上涨0.05%，报1.89元，截至2026年2月5日，该ETF近1月累计上涨10.26% [1] - 截至2026年2月5日，半导体设备ETF华夏近1月日均成交额为2.37亿元，当日盘中换手率为2.53%，成交6842.24万元 [1] ETF规模与资金流向 - 半导体设备ETF华夏最新规模达27.11亿元 [2] - 该ETF最新单日资金净流出929.88万元，但拉长时间看，近23个交易日内有18日资金净流入，合计净流入18.64亿元，日均净流入达8103.04万元 [2] 产品特性与指数构成 - 半导体设备ETF华夏紧密跟踪中证半导体材料设备主题指数，该指数选取40只业务涉及半导体材料和设备领域的上市公司证券作为样本 [2] - 截至2026年2月5日，半导体设备ETF华夏今年以来跟踪误差为0.009%，在可比基金中跟踪精度最高 [2] - 截至2026年1月30日，中证半导体材料设备主题指数前十大权重股包括中微公司、北方华创、拓荆科技等，合计权重为63.99% [2]

指数与ETF市场表现 - 截至2026年1月12日10:00，中证半导体材料设备主题指数强势上涨2.55% [1] - 指数成分股中微公司上涨7.83%，江化微上涨6.06%，中科飞测上涨5.23%，华峰测控、雅克科技等个股跟涨 [1] - 跟踪该指数的半导体设备ETF华夏上涨2.16%，最新价报1.94元 [1] - 拉长时间看，截至2026年1月9日，半导体设备ETF华夏近1周累计上涨17.08% [1] ETF流动性、规模与资金流向 - 半导体设备ETF华夏盘中换手率达13.67%，成交2.08亿元，市场交投活跃 [1] - 截至1月9日，该ETF近1周日均成交额为2.04亿元 [1] - 该ETF最新规模达15.05亿元，创近1年新高 [1] - 该ETF最新份额达7.96亿份，创近1年新高 [1] - 近4天该ETF获得连续资金净流入，合计5.95亿元，日均净流入1.49亿元，最高单日净流入3.39亿元 [1] - 杠杆资金持续布局，该ETF连续3天获杠杆资金净买入，最新融资余额达4268.85万元，最高单日净买入936.67万元 [1] 指数构成与权重股表现 - 中证半导体材料设备主题指数选取40只业务涉及半导体材料和设备等领域的上市公司证券作为样本 [1] - 截至2025年12月31日，指数前十大权重股合计占比65.08% [2] - 前十大权重股包括北方华创、中微公司、拓荆科技、长川科技、沪硅产业、华海清科、中科飞测、南大光电、安集科技、芯源微 [2] - 在1月12日的交易中，前十大权重股表现分化，中微公司涨7.83%（权重16.35%），北方华创涨2.78%（权重13.88%），而沪硅产业微跌0.08%，南大光电跌2.13%，芯源微跌3.10% [3]