投资评级 - 首次覆盖，给予屹唐股份“增持”评级 [3][4] 核心观点 - 屹唐股份在干法去胶和快速热处理（RTP）领域全球领先，并有望通过刻蚀设备打造第二成长曲线，实现从专用设备向平台型龙头的跨越 [1][2] 财务与经营表现 - 2025年前三季度，公司实现营业收入37.96亿元，同比增长14.01%；实现归母净利润5.16亿元，同比增长22.73% [1] - 其中第三季度单季营收13.14亿元；归母净利润1.68亿元，同比微降 [1] - 公司前三季度经营性现金流为负，主要系为应对下游订单饱满，主动将存货储备提升至36.90亿元所致 [3] - 公司境内业务毛利率显著高于境外，得益于国内完善的供应链体系带来的成本优势 [3] - 公司持续维持高强度研发投入，研发费用率超过14% [3] 核心主业：去胶与热处理 - 公司承接Mattson Technology核心技术，在干法去胶和快速热处理（RTP）领域构建了深厚护城河 [2] - 干法去胶设备全球市占率约35%，位居全球第二，在逻辑制程领域处于绝对领先地位 [2] - RTP设备全球市占率约13%，毛利率长期维持在40%以上 [2] - 随着针对存储客户开发的高性价比机型持续导入，以及Helios和Millios系列RTP产品在晶圆翘曲控制上的技术优势加速释放，公司有望通过国产替代抢占海外巨头应用材料的相关市场份额 [2] 成长新曲线：刻蚀设备 - 刻蚀设备是公司从专用设备向平台型龙头跨越的关键变量 [2] - 公司差异化布局ICP技术路线成效显著，新推出的RENA-E高选择比刻蚀设备已获批量订单，针对先进制程的原子层级表面处理设备Escala亦开始商业化导入 [2] - 结合国内存储厂商强劲的扩产周期，预计刻蚀业务将深度受益于国产化率提升与新品放量的双重共振，成为未来3至5年收入翻倍的核心引擎 [2] 产能与供应链 - 通过北京亦庄基地的产能释放，将有效满足国内晶圆厂日益增长的高端设备需求 [3] 盈利预测与估值 - 预计公司2025/2026/2027年归母净利润分别为6.60/8.84/12.75亿元 [3] - 对应2025/2026/2027年市盈率（PE）分别为116/86/60倍 [3] - 预计公司2025/2026/2027年营业收入分别为53.60/63.23/79.99亿元，同比增长率分别为15.70%/17.96%/26.51% [3][11] - 预计公司2025/2026/2027年净利润增长率分别为21.96%/34.04%/44.21% [3][11] - 预计毛利率将稳定在37.6%左右，净利润率将从2025年的12.3%提升至2027年的15.9% [11] - 截至2025年12月12日，公司收盘价为25.78元，总市值为761.94亿元 [4]