公司业务概览 - 公司专业从事半导体专用设备的研发、生产和销售，总部位于沈阳浑南，并在日本、上海、广州等地设有子公司 [1] - 已形成前道涂胶显影、前道清洗、后道先进封装及化合物、核心零部件四大业务板块 [1] - 累计出厂设备超过2000台套，被视为国内半导体设备细分领域龙头企业之一 [1] 产品布局与客户进展 - 主营产品包括前道涂胶显影设备、前道物理/化学清洗设备以及后道先进封装和化合物等小尺寸设备 [3] - 前道涂胶显影机、前道物理清洗机持续获得国内领先逻辑、存储等客户订单 [3] - 前道化学清洗机已取得多家大客户正式订单及验证性订单 [3] - 后道先进封装用涂胶显影设备、单片式湿法设备已连续多年作为主流机型批量应用于台积电、盛合晶微、长电科技等海内外一线大厂，并持续获得海外封装龙头客户的重复性批量订单 [3] 前三季度经营业绩 - 公司实现营业收入9.9亿元，同比下降10% [3] - 归属于母公司股东的净利润为-1004.9万元 [3] - 收入下滑原因包括前道Track产品客户端验收推进节奏偏慢、前道物理清洗设备大批量机台验收时间推迟、前道化学清洗设备签单增幅明显但尚未在前三季度体现为收入 [3] 现金流与订单状况 - 前三季度经营活动产生的现金流量净额为-2.3亿元 [4] - 现金流为负主要系前道化学清洗机等战略新产品签单快速增长带来物料备货采购支出大幅增加，同时人员扩张推高员工薪酬等费用支出 [4] - 三季度末合同负债较去年年末增长接近80%，反映了签单情况和客户预付款的增加 [4] 后续发展规划与技术方向 - 自2025年6月北方华创成为公司控股股东并全面赋能以来，公司在管理精细化、资源统筹及产品规划方面均发生积极变化 [4] - 公司将聚焦主要资源，力争在今明两年实现前道Track的快速突破，同时加大前道化学清洗新品在客户端的导入力度，并不断巩固在后道先进封装领域的领先优势 [4] - 技术创新方向包括持续优化前道涂胶显影设备单元和整机设计，研究新一代inline、offline高产能关键技术 [4] - 前道化学清洗设备将聚焦湿法关键工艺、提高清洗产能，并推进高温硫酸、超临界等高端机台验证与产业化 [4] - 高端封装设备方面将围绕键合、解键合及热压键合关键技术加快研发和产业化进程 [4]