行业地位与市场格局 - 芯源微是国内唯一可提供量产型中高端涂胶显影设备的企业，填补了国产设备在该领域的空白 [1][2] - 光刻工序占芯片产线50%的时间和30%的成本，但前道光刻机国产替代率不足3%，前道涂胶显影设备国产替代率不足10%，长期被日本企业垄断 [2] - 涂胶显影机与光刻机、光刻胶并称光刻工序三大要素，技术门槛极高 [2] 技术突破与产品布局 - 公司前道设备覆盖28纳米以上所有工艺节点，满足国内90%以上成熟工艺需求 [4] - 前道物理清洗设备达国际先进水平，国内市占率第一；化学清洗设备突破高温硫酸工艺验证并获重复订单 [4] - 后道先进封装领域市占率超50%，并布局2.5D/3D封装等新兴增长点 [4] 研发投入与国产化进程 - 研发费用连续多年占营收10%以上，2024年研发投入达2.97亿元，同比增长近50% [4] - 涂胶显影机需与光刻机联机作业，技术要求极高（如每小时上万次机电动作，涂胶精度需控制在一根头发丝以内） [5] - 日系设备垄断率超90%，公司通过持续迭代推进国产替代 [5] 发展历程与区域优势 - 公司从2002年起步时无市场、无供应链，逐步突破4寸至12寸晶圆工艺，从LED延伸至前道制造领域 [2] - 2019年成为辽宁省首家科创板上市企业，依托沈阳装备制造业基础及人才优势发展壮大 [2][4]

光刻工序的重要性与国产替代现状 - 光刻工序占据芯片产线50%的时间和30%的成本，是集成电路制造的核心环节 [1] - 前道光刻机国产替代率不足3%，前道涂胶显影设备国产替代率不足10%，长期被日本企业高度垄断 [1] - 涂胶显影机与光刻机、光刻胶并称为光刻工序三大要素 [1] 芯源微的发展历程与市场地位 - 公司是国内唯一可提供量产型中高端涂胶显影设备的企业，已发展成为细分领域龙头企业 [1] - 从4寸、6寸做到8寸、12寸设备，从LED扩展到后道先进封装和前道领域 [1] - 2019年成为"辽宁省科创板第一股"，目前产品在后道先进封装领域市占率超过50% [1][3] 国产替代面临的三大挑战 - 设备高度复杂：最先进涂胶显影机含150+单元、10+机械手，每小时上万次机电动作 [2] - 联机作业要求高：必须匹配光刻机的产能、良率和可靠性标准 [2] - 日系设备垄断率超90%，市场竞争格局严峻 [2] 技术突破与市场覆盖 - 前道设备覆盖28纳米以上所有工艺节点，满足中国半导体90%以上成熟工艺需求 [3] - 前道物理清洗设备达国际先进水平且市占率第一，化学清洗设备突破高温硫酸工艺验证 [3] - 持续布局2.5D/3D封装等新兴领域，研发投入2.97亿元（2024年同比增50%） [3] 区域产业优势与研发战略 - 沈阳具备装备制造业基础、稳定人才队伍及政府支持体系 [3] - 公司研发费用连续多年超营收10%，技术突破即将转化为市场成果 [3]

报告公司投资评级 - 买入（维持） [8] 报告的核心观点 - 订单小幅增长，前后道产品积极推进，新产品研发进展顺利，有望应对未来高端光刻机产能提升需求 [13] - 北方华创若成为第一大股东，双方可在多领域加强协同，提供更完整高效的集成电路装备解决方案 [13] - 公司竞争格局良好，多轮驱动增长，预计2025 - 2027年归母净利润分别为2.85亿元、4.26亿元、5.97亿元，维持“买入”评级 [13] 根据相关目录分别进行总结 公司业绩情况 - 2024年公司实现营收17.54亿元，同比增加2.13%；实现归母净利润2.03亿元，同比减少19.08%；2025Q1实现营收2.75亿元，同比增加12.74%；实现归母净利润0.05亿元，同比减少70.89% [2][6] 业务情况 - 2024年光刻工序涂胶显影设备、单片式湿法设备、其它设备收入分别为10.50亿元、6.45亿元、0.15亿元，同比增速分别为 - 1.52%、+7.43%、+13.75%；毛利率分别为34.81%、39.20%、78.60%，同比变化幅度分别为+0.09pct、 - 3.12pct、+4.36pct [13] - 2024年新签订单24亿元（含demo及LOI），同比增长10%，前道化学清洗设备及键合设备发展迅猛，键合系列产品在手订单近20台；高温硫酸清洗设备通过国内领先逻辑客户工艺验证，化学清洗品类获多家大客户订单及验证性订单；键合品类签单同比高速增长 [13] 股权变动情况 - 北方华创与公司股东签订《股份转让协议》，若两次协议受让均过户完成，持股比例将达17.88%，成为第一大股东并计划取得公司控制权 [13] 财务预测情况 |项目|2024A|2025E|2026E|2027E| | ---- | ---- | ---- | ---- | ---- | |营业总收入（百万元）|1754|2257|2945|3838| |归母净利润（百万元）|203|285|426|597| |每股收益（元）|1.01|1.42|2.12|2.97| |市盈率|82.80|67.23|45.01|32.08| [18]