此外，团队还成功研制出针对微型LED的100×100高密度柔性探针阵列，可轻松应对10×30微米的超小 尺寸检测，为下一代高速晶圆检测铺平了道路。这套"柔性触手+智能之眼"的组合拳，为微型LED的工 艺优化和品质把控提供了强大工具。该技术不仅解决了LED产业痛点，更为复杂晶圆检测开辟了新路 径。 目前，这项成果已启动产业化进程，未来将为国内LED行业提供批量化、低成本的检测方案。值得一提 的是，该技术还为增强现实（AR）、虚拟现实（VR）高端显示面板的良率提升奠定了基础。 （文章来源：科技日报） 研究团队开创性地提出了一种"以柔克刚"的LED晶圆无损检测新方法。这项技术犹如给检测设备装上 了"柔性手指"——由弹性微柱阵列和可延展电极组成的探针系统，能够像指纹般完美贴合晶圆表面1—5 微米的高度差，而且仅用0.9兆帕的轻柔压力就能完成精准测量。 这种"温柔"的检测方式展现出惊人的耐用性：在经历100万次接触后，探针依然完好如新，寿命是传统 刚性探针的10倍。"奥秘在于其独特的三维减压结构，就像给探针穿上了'缓冲气垫'。"黄显介绍，即使 在100微米的极限形变下，探针的内部应力也始终安全可控。通过精确调控制造工艺 ...