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无源SOI集成超低损耗氮化硅产品的PDK
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西北首条8英寸硅光中试线通线 助力陕西撬动千亿光子产业
中国证券报· 2025-11-05 04:36
11月4日,在西安举行的2025硬科技创新大会光子产业高峰会议上,陕西光电子先导院建设的"8英寸先 进硅光集成技术创新平台"正式宣告通线。作为西北地区首条硅光中试线,该中试线填补了西北区域在 硅光芯片中试领域的空白,成为陕西光子产业从蓝图迈向实践的关键支点。 11月4日,在2025硬科技创新大会光子产业高峰会议上,陕西光电子先导院总经理杨军红介绍陕西"追光 计划"阶段性进展,宣布光电子先导院建设的"8英寸先进硅光集成技术创新平台"(8英寸硅光中试线) 已正式通线,并发布了一款无源SOI(绝缘衬底上的硅)集成超低损耗氮化硅产品的PDK(工艺设计套 件)。 记者了解到,这一平台总投资7.5亿元,于2023年底启动建设,至2025年9月末已完成全部场地及硬件设 施建设。该平台引进了比利时IMEC"130nm硅光芯片工艺包",并引入了光刻、刻蚀等60余台(套)关 键核心设备,已在130nm有源集成硅光主工艺平台基础上,开发90nm以上先进工艺,构建起自主可控 的先进工艺体系。 杨军红告诉记者,硅光技术作为AI算力、智能驾驶、量子通信等前沿领域的核心支撑,正处于技术突 破与应用落地的关键期。然而,全球硅光中试资源多掌握 ...
西北首条8英寸硅光中试线通线助力陕西撬动千亿光子产业
中国证券报· 2025-11-05 04:17
11月4日,在西安举行的2025硬科技创新大会光子产业高峰会议上,陕西光电子先导院建设的"8英寸先 进硅光集成技术创新平台"正式宣告通线。作为西北地区首条硅光中试线,该中试线填补了西北区域在 硅光芯片中试领域的空白,成为陕西光子产业从蓝图迈向实践的关键支点。 同日,陕西首次公开了投入超10亿元的光子科技实验室建设规划。中国科学院西安光机所副所长付玉喜 在活动现场表示,光子实验室旨在两年内引进国际顶尖科学家,集聚科研人员超过100名,攻克超过30 项光子领域关键核心技术,助推陕西全省光子产业产值在2027年突破500亿元。 ● 本报记者 何昱璞 光子产业获核心支点 11月4日,在2025硬科技创新大会光子产业高峰会议上,陕西光电子先导院总经理杨军红介绍陕西"追光 计划"阶段性进展,宣布光电子先导院建设的"8英寸先进硅光集成技术创新平台"(8英寸硅光中试线) 已正式通线,并发布了一款无源SOI(绝缘衬底上的硅)集成超低损耗氮化硅产品的PDK(工艺设计套 件)。 记者了解到,这一平台总投资7.5亿元,于2023年底启动建设,至2025年9月末已完成全部场地及硬件设 施建设。该平台引进了比利时IMEC"130nm硅光 ...