公司产品与技术突破 - 公司已向国内头部晶圆厂交付Bestda等离子体射频电源，实现了国内首颗刻蚀设备用射频电源的原位替换 [2] - 公司Aspen系列等离子体射频电源和Basalt系列匹配器已在国内头部晶圆厂产线上替代了CVD工艺设备中的海外等离子体射频电源及匹配器产品 [2] 行业地位与市场进展 - 公司在关键半导体设备零部件领域实现国产替代，产品成功进入国内头部晶圆厂供应链 [2]

公司产品与技术突破 - 公司已向国内头部晶圆厂交付Bestda等离子体射频电源，实现了国内首颗刻蚀设备用射频电源的原位替换 [1] - 公司的Aspen系列等离子体射频电源和Basalt系列匹配器已在国内头部晶圆厂产线上替代了CVD工艺设备中的海外等离子体射频电源及匹配器产品 [1] 行业地位与国产化进程 - 公司在关键半导体设备零部件领域取得重要进展，其射频电源产品成功进入国内头部晶圆厂的供应链 [1] - 公司的产品实现了对海外同类产品的替代，标志着半导体设备核心零部件国产化取得实质性突破 [1]