聚光科技以高端分析仪器的研制、产业化及创新应用自主可控为己任，坚持自主研发、持续创新，推动 国产高端科学仪器从"可用"走向"好用"、从"单点"走向"谱系"、从"替代"走向"引领"。 2025年上半年，聚光科技针对半导体检测领域持续发力，公司推出的EXPEC 7350s型ICP-MS/MS系统已 构建起覆盖高纯湿化学品、光刻胶、硅烷、晶圆体/表金属残留及高纯石英材料的痕量杂质分析检测整 体解决方案体系。该技术平台已在产业链上游实现规模化应用，成功完成西安、湖南等地核心供应商的 产品导入与交付验证。 在集成电路制造端，EXPEC 7350s型ICP-MS/MS进一步突破两大核心技术场景，成功通过了晶圆制造巨 头企业在高纯湿化学品金属杂质监控体系中的应用评估，并在晶圆表面金属污染检测（VPD-ICP- MS/MS）领域通过头部企业验证评估，标志公司技术已深度渗透至半导体制造的核心质控环节，为产 业链质量管控提供关键支撑。 针对湿化学品分析与洁净空间AMC（空气分子污染物）微污染气体分析需求，聚光科技AMC-1000微污 染气体监测系统整合先进的质谱、傅里叶红外及CRDS光腔衰荡等核心技术，可精准监测半导体工业生 产 ...