MEMS高频器件
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赛微电子:MEMS产线涉及晶圆类别众多、工艺及材料纷繁复杂
证券日报网· 2026-02-25 21:41
公司业务与产线运营 - 公司北京FAB3产线当前主要工作在于积极推动硅麦克风、BAW滤波器、MEMS微振镜、MEMS高频器件等产品的量产爬坡 [1] - 同时推动MEMS气体、生物芯片、加速度计、惯性IMU、温湿度、MEMS-OCS、硅晶振等产品的风险试产 [1] - 陆续推动微流控、压力、磁性传感、3D硅电容等MEMS芯片、器件及模块的工艺开发 [1] 行业特点与公司策略 - MEMS行业具有高度定制化、验证试产之后才有量产的客观规律 [1] - 与IC产线的标准化流程不同,MEMS产线涉及晶圆类别众多、工艺及材料纷繁复杂 [1] - MEMS产线将根据晶圆系列规划陆续有针对性地扩充产能,产能利用率一般低于CMOS产线,且在一定时期往往存在“产能等待订单”的状态 [1] 产能与效率展望 - 未来随着客户及订单需求的持续增加,公司需要更加重视工艺及良率提升,特别关注保障产能爬坡过程中的一致性及稳定性,推动产能利用率的持续提升 [1] - 公司客观看待北京MEMS产线所处发展阶段,既理解短期较低的产能利用率水平,又对中长期产能利用率的持续提高充满信心 [1]