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UltraFn立式炉管设备
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盛美上海:2025年公司立式炉管、Track以及PECVD设备等平台化产品已陆续投放市场
证券日报网· 2026-01-29 21:41
公司平台化产品进展与市场投放 - 2025年公司立式炉管、Track以及PECVD设备等平台化产品已陆续投放市场,有望为2026年及今后的整体营收贡献力量,成为重要的业绩增长点 [1] - 在Track设备方面,2025年第三季度公司推出首款自主研发的高产出(300WPH)KrF工艺前道涂胶显影(Track)设备UltraLITHKrF,并已顺利交付中国头部逻辑晶圆厂客户 [1] - 该Track产品具有高产能、先进温控技术以及实时工艺控制和监测功能,进一步拓展了光刻相关的应用领域,展现了公司在新产品品类中的持续扩展能力 [1] 各产品线技术突破与研发规划 - PECVD设备方面,公司对该类设备的差异化技术构架及未来市场前景非常有信心,后续将持续加大研发投入,将PECVD设备推向更广阔的国内外市场 [1] - LPCVD、ALD炉管系列设备持续推进技术研发,均取得了创新突破 [1] - 公司自主研发的UltraFn立式炉管设备采用独有的立式炉管结构设计,具备最高1250°C的处理能力,能够聚焦高端IGBT应用,市场整体反响良好 [1] - 下一代立式炉管产品目标做到具备1350°C的处理能力,对IGBT是重大利好 [1] - 在ALD设备方面,公司持续强化研发投入,积累了一系列自主研发的具有全球知识产权保护的专利技术 [1] - 期待未来能够在ALD设备均匀性、材质等方面持续做出更多贡献,取得更多技术突破,以差异化创新工艺持续满足客户多样化需求,将成为公司未来业绩增长的一大增长点 [1]