文章核心观点 - ACM Research近期受关注 需结合基本面判断其股票未来走势 其Zacks Rank 3表明短期内或与大盘表现一致 [1][10] 股价表现 - 过去一个月公司股价回报率为 -18.4% 同期Zacks标准普尔500综合指数变化为 +2% 所属Zacks半导体设备 - 材料服务行业下跌16.9% [1] 盈利预测修正 - Zacks优先评估公司未来盈利预测变化 认为其决定股票公允价值 盈利预测上调会吸引投资者买入使股价上升 [2] - 公司本季度预计每股收益0.37美元 同比变化 -22.9% 过去30天Zacks共识预测变化 -10% [2] - 本财年共识盈利预测为1.62美元 同比变化 -0.6% 过去30天该预测未变 [3] - 下一财年共识盈利预测为2.25美元 较去年预期变化 +38.9% 过去一个月该预测未变 [3] - 公司Zacks Rank为3（持有） [3] 营收增长预测 - 公司本季度共识销售预估为1.6408亿美元 同比变化 +13.5% [5] - 本财年和下一财年预估分别为6.984亿美元和8.8431亿美元 变化分别为 +25.2% 和 +26.6% [5] 上次财报结果及惊喜历史 - 公司上一季度报告营收1.5219亿美元 同比变化 +104.9% 每股收益0.52美元 去年同期为0.15美元 [6] - 报告营收较Zacks共识预估有 +0.79% 的惊喜 每股收益惊喜为 +67.74% [6] - 公司在过去四个季度均超过共识每股收益和营收预估 [6] 估值 - 投资决策需考虑股票估值 对比公司估值倍数的当前值与历史值及同行值 有助于判断股票价值 [7] - Zacks价值风格评分将股票分为A - F五组 公司评分为C 表明与同行交易水平相当 [8][9]

文章核心观点 - 公司一季度财报表现强劲，虽市场反应消极但有望实现增长目标，当前被低估，重申买入评级并给出目标价 [28] 公司业绩表现 - 一季度非GAAP每股收益0.52美元，超出预期0.19美元 [3] - 一季度营收1.5219亿美元，同比增长105%，超出预期0.52百万美元 [3] - 2024年第一季度总发货量为2.45亿美元，较2023年第一季度增长175% [3] - 2024年3月31日，现金及现金等价物、受限现金、短期和长期定期存款共计2.883亿美元，低于2023年12月31日的3.045亿美元 [3] 公司业务展望 - 维持2024财年营收指引在6.5亿至7.25亿美元之间，而市场共识为6.9936亿美元 [3] - 预计2024年将达到营收指引上限，并在下半年提高指引 [14] - 有望在2026年实现10亿美元营收目标 [16] 行业市场情况 - 全球半导体行业开始复苏，第一季度同比增长15% [8] - 中国是增长最快的市场，3月半导体销售额超过美国20亿美元 [10] - 中国半导体销售增长强劲，3月同比增长27%且无放缓迹象，预计全年保持该趋势 [13] 公司运营指标 - 一季度毛利率为52.5%，高于预期的40% - 45%，全年预计回落至该区间 [20] - 一季度运营利润率为26.2%，高于去年的14.7%，正常情况下约为20% [20] - 季度末现金2.88亿美元，债务1.21亿美元，资产负债表强劲 [22] 公司估值情况 - 公司股票被严重低估，远期市盈率为17，远期企业价值销售倍数为2.2，远低于同行 [23] - Seeking Alpha的量化系统自2024年3月起将公司评为强力买入 [24] - 经风险调整后，给予公司44美元的目标价 [26] 公司面临风险 - 因公司99%业务在中国，被市场视为中国公司，中美贸易战带来重大风险，但实际风险没市场定价严重 [27]

文章核心观点 - 三家优秀IT企业因战略定位、出色表现和坚实基本面为投资者提供有吸引力机会，其机会源于战略目标、市场灵活性和创新解决问题能力 [1][2] 各公司情况 帕洛阿尔托（Palo Alto） - 第二季度销售额同比增长19%达20亿美元，体现持续获取市场份额和有效盈利能力 [3] - 剩余履约义务（RPO）同比增长22%至108亿美元，反映未来收入增长潜力和强大潜在收入流 [3] - 开票金额同比增长16%，虽增速略慢于收入增长，但确认推动销售势头能力 [4] ACM研究公司（ACM Research） - 第四季度销售额1.7亿美元，同比增长57%；2023年销售额5.58亿美元，同比增长43%，显示稳定增长和市场需求 [6] - 2023年半关键清洁产品销售增长48%，占收入72%；电化学电镀炉等技术销售增长33%，占约19% [6] - 2023年除ECP服务和零件外，先进封装收入同比增长31.5%，占总收入9%，产品需求高 [7] Block公司 - 2024年第一季度调整后EBITDA达7.05亿美元，近为2023年第一季度3倍；毛利润20.9亿美元，同比增长22%；调整后营业收入增至3.64亿美元，为上年7倍 [7] - Cash App毛利润增长25%至12.6亿美元，Square毛利润增长19%至8.2亿美元，主要业务成功推动盈利和收入增长 [8] - 战略专注比特币和加密货币，Cash App比特币产品成本低且贡献毛利润比例增加，显示从加密货币普及中获利能力 [8]

资产类关键指标变化 - 截至2024年3月31日，公司现金及现金等价物为211,305千美元，较2023年12月31日的182,090千美元有所增加[14] - 截至2024年3月31日，公司存货净额为581,140千美元，高于2023年12月31日的545,395千美元[14] - 截至2024年3月31日，公司总资产为1,556,749千美元，高于2023年12月31日的1,490,908千美元[14] - 截至2024年3月31日和2023年12月31日，现金及现金等价物总额分别为211,305千美元和182,090千美元[41] - 2024年3月31日和2023年12月31日，中国大陆的短期和长期定期存款分别为76,205千美元和121,342千美元[41] - 截至2024年3月31日和2023年12月31日，现金及现金等价物分别为36,509千美元和37,518千美元，短期投资分别为18,648千美元和21,312千美元[57] - 2024年3月31日和2023年12月31日，按非经常性公允价值计量的资产（使用计量替代法核算的投资）分别为0千美元和10,378千美元[58] - 截至2024年3月31日和2023年12月31日，应收账款分别为296,371,000美元和283,186,000美元[73] - 截至2024年3月31日和2023年12月31日，存货分别为581,140,000美元和545,395,000美元[81] - 截至2024年3月31日和2023年12月31日，物业、厂房及设备净值分别为218,822,000美元和201,848,000美元[88] - 截至2024年3月31日和2023年12月31日，其他长期资产分别为10,471,000美元和6,050,000美元[94] - 截至2024年3月31日和2023年12月31日，短期投资成本分别为21,135美元和20,155美元，市值分别为18,648美元和21,312美元[125] - 截至2024年3月31日和2023年12月31日，长期投资总额分别为31,293美元和27,880美元[119] - 截至2024年3月31日和2023年12月31日，公司长期资产分别为244097美元和223191美元，其中中国大陆分别为231208美元和209725美元[174] 负债类关键指标变化 - 截至2024年3月31日，公司总负债为595,956千美元，高于2023年12月31日的564,746千美元[14] - 截至2024年3月31日，公司短期借款为54,706千美元，高于2023年12月31日的31,335千美元[14] - 截至2024年3月31日，公司应付账款为135,499千美元，低于2023年12月31日的141,814千美元[14] - 截至2024年3月31日，公司递延收入为4,405千美元，高于2023年12月31日的3,687千美元[14] - 截至2024年3月31日和2023年12月31日，短期借款总额分别为54,706,000美元和31,335,000美元[97] - 截至2024年3月31日和2023年12月31日，其他应付款和预提费用总额分别为107,098,000美元和102,951,000美元[101] - 截至2024年3月31日和2023年12月31日，长期借款总额分别为53,408,000美元和53,952,000美元[110] - 截至2024年3月31日和2023年12月31日，长期贷款的总账面价值分别为59,957,000美元和60,735,000美元，估计公允价值分别为56,409,000美元和56,462,000美元[113] - 截至2024年3月31日和2023年12月31日，其他长期负债（未确认政府补贴）总额分别为5,469,000美元和5,873,000美元[116] 股东权益类关键指标变化 - 截至2024年3月31日，公司股东权益为960,793千美元，高于2023年12月31日的926,162千美元[15] - 截至2024年3月31日，公司累计其他综合损失为54,925千美元，高于2023年12月31日的49,349千美元[15] - 截至2024年3月31日，公司非控股股东权益为164,591千美元，高于2023年12月31日的158,772千美元[15] - 截至2024年3月31日，总股本为960,793美元，截至2023年3月31日为831,097美元[21] 营收与利润类关键指标变化 - 2024年第一季度营收152,191美元，2023年同期为74,256美元[18] - 2024年第一季度毛利润79,121美元，2023年同期为39,986美元[18] - 2024年第一季度净收入22,092美元，2023年同期为8,963美元[18] - 2024年第一季度归属于ACM Research, Inc.的净收入为17,433美元，2023年同期为7,145美元[18] - 2024年第一季度基本每股收益0.28美元，2023年同期为0.12美元[18] - 2024年第一季度摊薄每股收益0.26美元，2023年同期为0.11美元[18] - 2024年第一季度公司总收入为152,191,000美元，2023年同期为74,256,000美元[72] - 2024年第一季度和2023年第一季度，归属于普通股股东的基本净利润分别为17,433千美元和7,145千美元，摊薄净利润分别为17,079千美元和7,052千美元[63] - 2024年第一季度和2023年第一季度，基本加权平均流通股数分别为61,367,184股和59,736,764股，摊薄加权平均流通股数分别为66,242,321股和65,058,777股[63] - 2024年第一季度和2023年第一季度，基本每股净利润分别为0.28美元和0.12美元，摊薄每股净利润分别为0.26美元和0.11美元[63] - 2024年第一季度，公司收入为1.52191亿美元，较2023年同期的7425.6万美元增长105% [203] - 2024年第一季度，成本收入比为48%，较2023年的46.2%有所上升；毛利率为52%，较2023年的53.8%有所下降 [200] - 2024年第一季度，公司净收入为14.5%，较2023年的12.1%有所上升；归属于ACM Research的净收入为11.5%，较2023年的9.7%有所上升 [200] 现金流类关键指标变化 - 2024年第一季度经营活动净现金使用量为9,649美元，2023年同期为30,494美元[23] - 2024年第一季度投资活动提供的净现金为12,291美元，2023年同期为49,129美元[23] - 短期借款所得款项为23,530千美元，短期借款还款为287千美元，长期借款还款为1,193千美元[24] - 行使股票期权所得款项为4,799千美元，去年同期为241千美元[24] - 融资活动提供（使用）的净现金为26,849千美元，去年同期为-1,455千美元[24] - 汇率变动对现金、现金等价物和受限现金的影响为-551千美元，去年同期为-4,784千美元[24] - 现金、现金等价物和受限现金的净增加额为28,940千美元，去年同期为12,396千美元[24] 股权与投资类事件 - 2021年11月，ACM上海完成科创板上市和首次公开发行，发行43,355,753股，占发行后总股数433,557,100股的10%，发行价为每股85元人民币，净收益为545,512千美元[31] - 2023年5月，ACM对ACM上海的持股比例从82.5%降至82.1%，原因是行使了2,150,309份与ACM上海股份相关的股票期权[31] - 2024年1月12日，ACM上海向C公司投资12,500元人民币（1,760美元），占其总股权的0.3%[117] - 2024年1月19日，ACM上海与D公司签订有限合伙协议，投资30,000元人民币（4,230美元），占合伙企业总股权的16.7%[117] - 2022年9月27日，ACM上海向诺德资产基金出资3000万元人民币（4,196美元），占出资额的18.75%[121] - 2023年7月，ACM上海以1亿元人民币（13,930美元）收购华虹半导体股份[122] - 2024年第一季度，公司因出售短期投资确认应收账款22,478元人民币（3,167美元），包括实现收益273美元[128] - 2024年第一季度，ACM因员工和非员工行使期权发行950,605股A类普通股[135] - 2024年2月，ACM上海提议向股东支付每股0.627元人民币的现金股息，总计约2.732亿元人民币（约3850万美元），需在6月的年度股东大会上获得批准[190] - 2024年1月，ACM上海计划向合格买家私募发行不超过4360万股普通股，占交易前股本的10% [191] - 若私募发行全部完成，将为ACM上海带来高达45亿元人民币（6.25亿美元）的总收入，公司在ACM上海的股权将从82.1%降至约74.6% [192] 费用与补贴类关键指标变化 - 2024年和2023年第一季度，定期存款利息收入分别为624千美元和975千美元[49] - 2024年和2023年第一季度，存货减值准备分别为1,025,000美元和306,000美元[84] - 2024年和2023年第一季度，短期借款利息费用分别为213,000美元和490,000美元[98] - 2024年和2023年第一季度，租赁费用总额分别为1,294,000美元和770,000美元[103] - 2024年和2023年第一季度，长期借款利息分别为570,000美元和189,000美元[114] - 2024年第一季度和2023年第一季度，公司从权益法投资中确认的净亏损分别为520美元和32美元[119] - 2024年第一季度和2023年第一季度，公司从权益法投资中收到的股息分别为600美元和0美元[119] - 截至2024年3月31日和2023年12月31日，ACM员工股票薪酬费用分别为24670美元和27152美元，预计分别在3.8年和4.0年的加权平均期间确认[141] - 2024年第一季度行使期权的总内在价值为21865美元，截至2024年3月31日，流通和可行使期权的总内在价值分别为178674美元和117476美元[142] - 2024年第一季度授予员工期权的假设条件为：普通股公允价值31.92美元，预期期限6.25年，波动率85.48%，无风险利率4.23%，预期股息0%[143] - 截至2024年3月31日和2023年12月31日，非员工股票薪酬费用分别为0美元和9美元，预计分别在0年和0.2年的加权平均期间确认[147] - 2024年第一季度ACM上海2019期权计划行使期权的总内在价值为0美元，截至2024年3月31日，流通和可行使期权的总内在价值为31616美元[150] - 截至2024年3月31日和2023年12月31日，ACM上海2023期权计划未确认的非员工股票薪酬费用分别为65682美元和79882美元，预计分别在1.8年和2.1年的加权平均期间确认[153] - 2024年第一季度和2023年第一季度，公司的股票薪酬费用分别为14569美元和2068美元[155] - 2024年第一季度和2023年第一季度，公司的所得税费用分别为4369美元和2879美元，2024年有效所得税税率下降主要是由于外国司法管辖区某些永久性扣除的增加[161] - 截至2024年3月31日和2023年12月31日，公司的未确认税收优惠均为13026美元，若确认，对有效税率的净影响为12943美元[162] - 2024年第一季度和2023年第一

财务数据和关键指标变化 - 第一季度收入为1.522亿美元,同比增长105% [10] - 第一季度毛利率为52.5%,高于公司正常40%-45%的目标范围 [46][47] - 第一季度营业利润为3980万美元,同比增长265% [51] - 第一季度营业利润率为26.2%,同比增长11.5个百分点 [51] - 第一季度净利润为3460万美元,同比增长250% [52][53] - 第一季度每股收益为0.52美元,同比增长247% [53] 各条业务线数据和关键指标变化 - 单片清洗和半关键清洗产品收入为1.095亿美元,同比增长199% [13][46] - ECP炉和其他技术收入为2580万美元,同比下降3% [25][46] - 先进封装(不含ECP)收入为1690万美元,同比增长53.2% [27][46] 各个市场数据和关键指标变化 - 公司在中国市场的清洗工具领导地位得到巩固,并在电镀和炉类产品市场取得进展 [31] - 公司在美国、欧洲和韩国等国际市场的业务也在不断拓展,与主要客户的合作关系进一步加深 [32][34][36] 公司战略和发展方向及行业竞争 - 公司计划通过新产品推出、市场份额提升和全球化拓展来实现2024年650-725百万美元的收入目标,预计将超过中国和全球半导体设备市场的增长速度 [42][43] - 公司正在加大在中国、韩国和美国的产能投资,以支持未来的业务增长 [37][38][40] - 公司正在开发PECVD和AOD等新产品,并计划在2025年及以后实现收入贡献 [30] - 公司在SPM清洗工具、高温单片SPM工具等领域取得重大突破,将成为公司未来增长的重要驱动力 [18][19][20][21][23] 管理层对经营环境和未来前景的评论 - 公司认为中国半导体设备市场需求将保持稳健,公司将继续在中国市场增加份额 [41] - 公司看好国际市场的发展前景,正在加大在美国、欧洲和韩国等地的市场开拓力度 [32][34][36][39] - 公司对自身的技术优势和产品竞争力充满信心,认为可以持续保持高于行业的增长速度 [42][43] 问答环节重要的提问和回答 问题1 **Suji Desilva 提问** 除了核心SAPS产品,哪些新产品类别将在2024年带来最高增长? [64] **David Wang 回答** SPM工具、bevel etcher和CO2干洗工具等新产品将成为公司未来增长的重要驱动力 [65][66][67] 问题2 **Christian Schwab 提问** 随着公司在国际市场的拓展,未来几年公司的业务规模有望超过100亿美元吗? [79] **David Wang 回答** 公司有信心未来收入来源将会一半来自中国市场,一半来自国际市场,业务规模有望大幅超过100亿美元 [80][81][82] 问题3 **Charlie Chan 提问** 公司是否有机会成为TSMC的供应商? [98][99] **David Wang 回答** 公司正在与TSMC进行深入接触和评估,希望能够成为TSMC的重要供应商之一 [100]

业绩总结 - 2024年第一季度收入为1.522亿美元，同比增长105.0%[6] - GAAP毛利率为52.0%，较2023年第一季度的53.8%有所下降[6] - GAAP营业收入为2520万美元，占收入的16.6%[6] - GAAP摊薄每股收益为0.26美元，较2023年第一季度的0.11美元增长[6] - Q1 2024的净收入为1743.3万美元，较Q1 2023的净亏损1456.9万美元有所改善[27] - Q1 2024的基本每股收益为0.28美元，稀释每股收益为0.26美元[27] - Q1 2024的运营收入为2523.2万美元，较Q1 2023的亏损1456.9万美元有所改善[27] 用户数据 - 清洗产品的收入为1.095亿美元，同比增长199%，收入占比从2023年第一季度的49%提升至72%[9] - ECP、炉子及其他产品的收入为2580万美元，同比下降3%，收入占比从2023年第一季度的36%降至17%[9] - 公司在中国大陆的市场份额为18%，主要客户包括高通、博通和德州仪器等[14] 未来展望 - 预计2024年收入指导范围为6.5亿至7.25亿美元[17] - 公司在上海的研发和生产中心预计将在2024年开始初步生产活动[16] - 公司计划在俄勒冈州扩展运营[7] 财务状况 - Q1 2024的毛利润为7912.1万美元，毛利率为52.0%[27] - Q1 2024的运营费用总计为5388.9万美元，较Q1 2023的4010.1万美元增加[27] - Q1 2024的现金及现金等价物余额为3.82亿美元，较Q1 2023的2.88亿美元有所增加[18] - Q1 2024的销售和营销费用为1417.3万美元，研发费用为2391.8万美元[27] - Q1 2024的未实现短期投资损失为259.5万美元[27]

文章核心观点 - ACM Research本季度财报表现出色，盈利和营收均超预期，股价年初至今涨幅优于大盘，未来表现取决于管理层财报电话会议评论和盈利预期变化；Sohu.com即将公布2024年第一季度财报，预计有亏损但亏损幅度收窄且营收增长 [1][2][5][6] ACM Research财报情况 - 本季度每股收益0.52美元，超Zacks共识预期的0.31美元，去年同期为0.15美元，盈利惊喜达67.74% [1] - 上一季度预期每股收益0.10美元，实际为0.43美元，盈利惊喜330% [1] - 过去四个季度，公司每股收益均超共识预期 [1] - 2024年第一季度营收1.5219亿美元，超Zacks共识预期0.79%，去年同期为7426万美元，过去四个季度营收均超共识预期 [1] ACM Research股价表现 - 年初至今，ACM Research股价上涨约39.9%，而标准普尔500指数涨幅为8.8% [2] ACM Research未来展望 - 股票近期价格走势和未来盈利预期的可持续性，主要取决于管理层在财报电话会议上的评论 [2] - 盈利预期是判断股票未来走势的可靠指标，近期盈利预测修正趋势与短期股价走势有强相关性 [3] - 财报发布前，盈利预测修正趋势喜忧参半，当前Zacks排名为3（持有），预计短期内股票表现与市场一致 [4] - 下一季度共识每股收益预期为0.37美元，营收1.6429亿美元；本财年共识每股收益预期为1.62美元，营收6.9897亿美元 [4] 行业情况 - 半导体设备 - 材料服务行业在Zacks行业排名中处于前41%，研究显示排名前50%的行业表现优于后50%超两倍 [5] Sohu.com情况 - 预计5月20日公布2024年第一季度财报，预计每股亏损0.22美元，同比变化+40.5%，过去30天该季度共识每股收益预期未变 [5] - 预计营收1.7703亿美元，较去年同期增长9.4% [6]

财报公布 - ACM Research, Inc.宣布2024年第一季度初步未经审计的收入和出货量[2] 签署报告 - ACM Research, Inc.首席财务官Mark McKechnie签署了报告[4]

文章核心观点 - 公司2024年第一季度财务结果良好，营收增长105%，出货量创新高且盈利能力强 ，预计2024年因产品组合扩大和全球业务拓展实现增长 [1] 财务业绩 第一季度财务总结 - 营收1.522亿美元，增长105%，主要源于单晶圆清洗、Tahoe和半临界清洗设备等销售增加 [5] - 毛利率为52.0%（非GAAP为52.5%），超长期业务模型范围40% - 45% [5] - 运营费用5390万美元，增长73.1%，占营收比例降至35.4%（非GAAP为26.3%） [5] - 运营收入2520万美元，增长至16.6%（非GAAP为3980万美元，26.2%） [5] - 短期投资未实现损失260万美元 [5] - 所得税费用440万美元 [5] - 归属于公司的净利润1740万美元，增长（非GAAP为3460万美元） [5] - 摊薄后每股净收益0.26美元（非GAAP为0.52美元） [6] - 2024年3月31日现金及等价物等为2.883亿美元，低于2023年12月31日的3.045亿美元 [6] 资产负债表 - 2024年3月31日总资产15.56749亿美元，高于2023年12月31日的14.90908亿美元 [13] - 总负债和权益2024年3月31日为15.56749亿美元，2023年12月31日为14.90908亿美元 [13] 运营和综合收益表 - 2024年第一季度营收1.52191亿美元，成本7307万美元，毛利7912.1万美元 [15] - 运营费用5388.9万美元，运营收入2523.2万美元 [15] - 利息收入177.4万美元，利息费用78.3万美元 [15] - 短期投资出售实现收益27.3万美元，未实现损失259.5万美元 [15] - 其他收入（费用）净额308万美元，权益法投资损失52万美元 [15] - 税前收入2646.1万美元，所得税费用436.9万美元，净利润2209.2万美元 [15] - 归属于公司的净利润1743.3万美元，综合收益1185.7万美元 [15] 按产品类别和地区划分的总营收 - 单晶圆清洗等设备营收1.0947亿美元，ECP等技术营收2580万美元，先进封装等营收1692.1万美元 [16] - 中国大陆营收1.52135亿美元，其他地区营收5.6万美元 [16] GAAP与非GAAP财务指标调整 - 非GAAP指标排除了基于股票的薪酬和短期投资未实现损失 [17] - 对毛利率、运营费用、运营收入、净利润和每股收益等指标进行了调整 [18] 业务展望 - 维持2024财年营收指引在6.5亿 - 7.25亿美元，受国际贸易政策、客户支出、供应链和工具验收时间等因素影响 [3] 运营亮点和近期公告 - 2024年第一季度总出货量2.45亿美元，较2023年第一季度增长175% [3] - 推出用于先进封装的框架晶圆清洗工具，已在中国一家主要制造商处完成安装和验证 [3] 公司概况 - 开发、制造和销售半导体工艺设备，致力于提供定制化、高性能、成本效益高的解决方案 [11]

文章核心观点 ACM Research推出用于先进封装的框架晶圆清洁工具，该工具能有效清洁半导体晶圆，具备溶剂回收系统等优势，已完成对一家中国大型制造商的首台工具安装和认证 [1]。 公司动态 - 公司推出用于先进封装的框架晶圆清洁工具，可在解键合后清洁过程中有效清洁半导体晶圆 [1] - 公司宣布已成功完成对一家中国大型制造商的首台工具安装和认证 [1] 产品优势 - 工具包含创新溶剂回收系统，可实现近100%溶剂回收和过滤，减少生产过程中消耗品使用，具有环保和成本效益 [1] - 工具能无缝处理标准晶圆和胶带框架晶圆，腔室和装载端口可同时处理两种类型晶圆，具备灵活高效的操作能力 [2] - 工具采用专利Smart Megasonix技术进行清洁，能去除光刻胶残留物，清洁后表面无残留 [2] 产品特点 - 配备特制真空吸盘，确保晶圆背面损伤最小，在极端清洁条件下实现高精度 [3] - 使用专利固定方法，保证胶带框架在高速旋转处理时的稳定性 [3] - 设备前端模块和每个腔室模块采用离子棒，搭配去离子二氧化碳混合器，具备先进的抗静电性能，保护晶圆不受静电影响 [3] 产品配置 - 工具配备四个腔室，通过高纯度溶剂、MegPie溶剂、去离子水、纳米溶剂和异丙醇喷嘴等选项提供配置灵活性，可适应不同工艺 [4] - 工具可在单个腔室内完成高效清洁和干燥，有8英寸和12英寸两种配置，适用于标准晶圆和胶带框架晶圆 [4] 公司概况 - 公司开发、制造和销售用于单晶圆或批量湿法清洗、电镀、无应力抛光和热工艺的半导体工艺设备，以及晶圆级封装设备 [7] - 公司致力于提供定制化、高性能、经济高效的工艺解决方案，帮助半导体制造商提高生产率和产品良率 [7]