CMP材料在半导体制造中的重要性 - 随着制程节点逼近3nm、2nm，晶圆表面平整度直接牵动良率，CMP（化学机械抛光）的重要性被进一步放大 [1] - CMP材料是晶圆制造关键工艺环节的核心耗材，在集成电路制造材料成本中占比约7% [2] - 在CMP体系内部，抛光垫、抛光液与清洗液合计占比高达85%以上 [2] 抛光液的核心地位与市场格局 - 抛光液是CMP的“发动机”，既要通过化学体系形成可控氧化膜，又要通过磨粒系统完成精确去除，实现全局平坦化，不只是一款耗材，更是一套“工艺哲学” [4] - 在先进制程与异构集成阶段，抛光液重要性显著放大，工艺窗口更窄、验证门槛更高 [6] - 全球CMP抛光液市场预计2025年将达21.83亿美元，但话语权仍被CMC材料（Entegris）、杜邦、Fujimi、默克、Showa Denko Materials等国际巨头垄断，尤其在HKMG、金属栅极、阻挡层等关键节点 [6] - 晶圆厂对CMP材料的采购逻辑从“单点替代”转向“系统保障”，要求供应商交付一整套体系 [6] 公司战略：从抛光垫到抛光液的平台化演进 - 公司选择向高壁垒的抛光液环节发起冲击，加速从“一片垫”向“一桶液”演进，目标是成为CMP“平台型选手” [1] - 公司进入抛光液赛道是基于十年积累的“三级跳”：第一级跳是抛光垫实现多制程全覆盖，2024年9月首次实现抛光垫单月销量突破3万片 [6]；第二级跳是清洗液业务验证了公司对复杂化学体系的驾驭能力 [6]；第三级跳是于2021年正式启动抛光液业务 [6] - 公司选择瞄准国际巨头垄断、国产化难度最高的高门槛抛光液环节攻坚，而非进行低水平重复竞争 [7] - 抛光液业务是公司完善半导体材料平台化生态的关键拼图 [7] 核心技术：研磨粒子的自研自产 - 行业共识是“得研磨粒子者得天下”，研磨粒子（如SiO2/CeO2/Al2O3）直接决定抛光液的成本结构与性能天花板，以及缺陷控制水平 [9] - 公司确立了“核心原材料纳米研磨粒子自研自产 + 抛光液配方并行推进”的技术路线，从最底层的粒子切入向上构建能力 [9] - 公司凭借在无机非金属材料领域的积淀，自研自产高纯硅、超纯硅、氧化铈、氧化铝等核心粒子，并在2022年成功实现了核心研磨粒子的全面产业化，解决了原材料受制于人的问题 [10] - 技术突破的底层支撑是公司的“七大技术平台”与“四大坚持”，覆盖从研发到工程化的全链条 [10] 关键市场战役与验证成果 - 公司通过三场“关键战役”打入高端市场并赢得客户信任 [13] - **战役1：28nm HKMG抛光液**。公司主动攻坚，在客户开出两年验收的“军令状”下，从氧化铝烧结等底层工艺切入，历经4轮验证，关键指标实现与国外竞品对齐，产品最终稳定上量 [14][15] - **战役2：FinFET钨栅极抛光液**。客户主动上门寻求解决方案，公司从粒子端改良并迭代配方，满足十余项指标后进入先进逻辑客户供应链，在三年持续上量过程中推动客户良率提升近3个百分点 [16] - **战役3：多晶硅/氮化硅抛光液**。公司进入存储工艺这一“国产化无人区”，从核心原料超纯硅研磨粒子出发构建定制化方案，经过一年多与客户高频共研，完成从小试到量产供应的闭环 [17] - 在铜互连层抛光中，公司通过抛光垫改良结合自产超纯硅研磨粒子的铜抛光液，在客户端测试中将划伤缺陷率降低约30%，体现了“垫+液”协同优化的系统能力 [18] 业务进展与财务表现 - 在存储器件领域，公司多款抛光液产品（介电层、多晶硅、氮化硅等）已成功导入国内主流客户并形成稳定供货 [19] - 在逻辑工艺领域，公司于2025年完成了阻挡层抛光液的全部验证任务，在短周期内完成高难度验证 [19] - 2025年前三季度，公司CMP抛光垫业务累计实现产品销售收入7.95亿元，同比增长52% [19] - 2025年前三季度，公司CMP抛光液、清洗液业务累计实现产品销售收入2.03亿元，同比增长45%，标志着第二增长曲线进入高速成长期 [19] 产能与制造保障：仙桃基地 - 公司在仙桃鼎龙光电与半导体产业园区投资十余亿元人民币，建设了研磨粒子制造车间与抛光液混配车间 [20] - 仙桃基地设计产能为研磨粒子年产1万吨、抛光液年产2万吨，并预留备用厂房以备扩产 [20] - 基地采用与客户Fab接近的1000级洁净车间标准，配套现代化生产管理软件系统与AI赋能的机械化操作，确保产品一致性 [20] 平台化价值：从材料商到工艺伙伴 - 公司致力于从“单点供应商”进化为“平台型材料企业”，主要体现在四个维度 [23] - **一站式交付**：提供抛光垫、抛光液与清洗液的单一窗口、一站式交付与服务，降低客户的协调成本，提升问题定位效率 [23] - **协同优化**：能够从系统角度优化抛光垫、抛光液与清洗液的参数组合，从而更快收敛工艺窗口、更稳定控制缺陷、更持续提升产线一致性 [24][25] - **联合研发**：通过联合研发提前介入客户的新工艺，共同定义材料方案，将合作关系从“供应-采购”推向“共研-共创” [26] - **供应链韧性**：核心材料的自主化与工程化能力为客户带来供应链可控、交付更快、响应周期缩短、库存更轻等实际效率收益，合作关系升级为“工艺合作伙伴” [27] 行业趋势与未来展望 - AI/HBM拉动晶圆需求持续增长，CMP景气度抬升 [29] - 国产替代进入深水区，高端抛光液放量窗口打开 [29] - 仙桃基地产能逐步释放，为规模化增长提供“物理支撑” [29] - 公司的抛光液业务正从“0到1”的验证突破，进入“1到N”的规模兑现拐点 [29]