行业投资评级 - 报告对机械设备行业（半导体设备）的投资评级为“强于大市” [2] 核心观点 - 全球半导体设备产业，特别是先进光刻与先进封装领域，在AI基础设施投资驱动下需求持续强劲，后道设备呈现“前道化”趋势，相关设备厂商将受益于2025-2028年的产能投资高峰 [2][3][21] 25Q3业绩表现 - ASML 25Q3实现营收75亿欧元（约合7516百万欧元），环比下降2.3%，同比增长0.7%，符合业绩指引 [2][4] - 25Q3毛利率为51.6%，符合公司指引，盈利能力稳健 [2][4] - 25Q3新增订单54亿欧元，高于市场预期的48.9亿欧元，其中EUV订单达36亿欧元，占比66.7% [2][5] - 分业务看，光刻设备业务收入55.54亿欧元，服务业务收入19.63亿欧元，同比增长27.3% [2][4] 分产品与地区分析 - 分产品看，25Q3光刻设备销售额中，ArFi系统占比52%，EUV系统占比38% [8] - 分地区看，中国大陆净系统销售额占比达42%，但公司预计2026年对中国大陆出货量将因出口许可问题而回落 [8] - 25Q3 EUV系统出货9台，ArFi系统出货38台，存储端订单增长明显，达到25.38亿欧元，预计25Q4将维持高景气度 [10][14] 先进封装趋势与机遇 - 随着晶圆厚度和封装层数提升，芯片封装精度逼近前道工艺，后道设备“前道化”趋势明显 [3] - ASML面向先进封装的光刻机XT:260在25Q3首次出货，其产能达270片/小时，约为传统封装步进机的4倍 [3][16] - 根据BESI数据，全球约有1000亿美元的先进封装产线投资正在建设或规划中，产线投产高峰将集中于2025-2028年 [3][21][22] - 先进封装产能扩张涉及TSMC、Intel、SK海力士、三星等国际龙头，以及长电科技、通富微电等中国大陆企业 [3] 投资建议 - 报告建议重点关注在先进封装相关领域（如光刻、涂胶显影、薄膜沉积、刻蚀等）具备技术突破与明确客户验证进展的国内半导体设备厂商，包括：【芯碁微装】【芯源微】【迈为股份】【拓荆科技】 [3]