报告导读： 硅光智能制造设备是一个技术密集、高附加值的高端装备领域，是使硅光器件的大批量生产不仅可行而且必然的催化剂。近年来，人工智能的快速发展正在 推动对高性能计算及高速数据传输的需求，推动着光子及硅光智能制造设备行业的创新与发展。目前，全球硅光智能制造设备行业正在快速增长，2024年全 球硅光智能制造设备行业市场规模增长到20亿元，2020-2024年均复合年增长率达到46.9%；预计2025年全球硅光智能制造设备行业市场规模将达到26亿元。 基于此，依托智研咨询旗下硅光智能制造设备行业研究团队深厚的市场洞察力，并结合多年调研数据与一线实战需求，智研咨询推出《2026-2032年中国硅 光智能制造设备行业市场全景调研及投资趋势研判报告》。本报告立足硅光智能制造设备新视角，聚焦行业核心议题——变化趋势（怎么变）、用户需求 （要什么）、投放选择（投向哪）、运营方法（如何投）及实践案例（看一看），期待携手行业伙伴，共谋行业发展新格局、新机遇，推动硅光智能制造设 备行业发展。 观点抢先知： 行业定义及分类：硅光智能制造设备指的是用于研发、封装和规模化生产硅光芯片的全套自动化、智能化装备。凭借高精度、自动化优势解决 ...

文章核心观点 - AI浪潮驱动存储芯片需求爆发，导致全球性短缺并引发涨价，国际原厂将资本开支倾斜于HBM等高端产品，使得传统存储供需缺口预计持续至2026年 [3][5][7] - 存储短缺催生了国内厂商的扩产预期，半导体设备作为扩产前置环节率先受益，设备国产化浪潮在资本市场掀起波澜 [3][6] - 国产半导体设备商三季度业绩表现亮眼，营收、净利润高速增长，存货与合同负债指标持续攀升，显示订单饱满，技术已在刻蚀、薄膜沉积等关键工艺取得突破 [8][9][10] 存储短缺催生扩产预期 - 存储芯片本轮上行周期由AI服务器、多模态应用等需求爆发带动，导致缺货涨价 [5] - 10月各存储型号价格加速上涨，环比涨幅从40%至100%不等，11月涨价势头未减，全球龙头闪迪宣布NAND闪存合约价格大幅上调50% [6] - 国际原厂将产能转向高阶服务器DRAM和HBM，退出低端市场，挤压了手机、PC等消费电子产能，造成结构性缺货 [6] - 市场共识认为AI带来的存储缺货将持续，招商证券研报指出2026年上半年存储行业供需缺口或将进一步扩大，价格涨势有望延续 [7] 国产设备三季报亮眼 - 半导体中信成份板块2025年前三季度实现营业收入总和852.07亿元，同比增长31.54%，归母净利润总和120.55亿元，同比增长32.63% [8] - 多家设备公司实现高速增长：拓荆科技前三季度营收42.2亿元同比增长85.27%，净利润5.57亿元增幅达105.14%；中微公司营收80.63亿元同比增长46.4%，净利润12.11亿元增长32.66%；长川科技归母净利润同比增幅高达142.14% [8] - 存货指标显示订单饱满：北方华创存货为301.99亿元，较年初增长近80亿元；中微公司存货达81.94亿元，拓荆科技为80.69亿元，均较年初增长逾10亿元 [8] - 合同负债指标预示高能见度：拓荆科技、北方华创、中微公司三季度末合同负债金额均超过40亿元，其中拓荆科技合同负债较年初增长19.1亿元或64% [9] 设备技术突破与市场需求 - 存储芯片制造是半导体工艺的皇冠，其扩产将显著带动刻蚀与薄膜沉积两大类核心设备的需求 [9] - 北方华创今年上半年迎来立式炉、物理气相沉积装备的第1000台整机交付里程碑，并发布离子注入设备、电镀设备等新产品 [10] - 中微公司前三季度刻蚀设备收入61.01亿元，同比增长约38.26%，其超高深宽比刻蚀工艺实现大规模量产，新开发的LPCVD、ALD等多款薄膜设备已顺利进入市场 [10]

行业核心趋势 - AI浪潮导致全球存储芯片短缺，需求驱动的扩产大幕拉开 [1] - 存储海外原厂将资本开支倾斜于HBM等高端产品，传统存储供需缺口预计持续至明年 [1] - 高阶服务器DRAM和HBM盈利能力更强，国际原厂转向高端市场，导致手机、PC等消费电子产能被挤压，结构性缺货局面持续 [2] 存储市场动态 - 10月各存储型号价格加速上涨，环比涨幅从40%至100%不等 [2] - 11月全球存储芯片龙头闪迪宣布将NAND闪存合约价格大幅上调50% [2] - 本轮存储上行周期由AI需求爆发推动，价格上涨持续性更强且涨势加速，展望2026年上半年供需缺口或将进一步扩大 [3] 半导体设备板块表现 - 11月10日半导体设备指数收涨1.46%，拓荆科技年内涨幅高达120.4%，华海清科、中微公司等个股上扬 [1][3] - 盛美上海、华峰测控等个股年涨幅均超过70%，板块性行情特征显著 [3] - 半导体中信成份板块2025年前三季度营收总和852.07亿元，同比增长31.54%，归母净利润总和120.55亿元，同比增长32.63% [4] 设备商业绩与运营指标 - 拓荆科技前三季度营收42.2亿元，同比增长85.27%，净利润5.57亿元，增幅达105.14% [4] - 中微公司前三季度营收80.63亿元，同比增长46.4%，净利润12.11亿元，增长32.66% [4] - 北方华创存货为301.99亿元，较年初增长近80亿元，中微公司存货达81.94亿元，拓荆科技为80.69亿元，均处历史高位 [5] - 拓荆科技、北方华创、中微公司三季度末合同负债金额超过40亿元，拓荆科技合同负债较年初增长19.1亿元或64% [5] 设备技术发展与市场需求 - 存储芯片扩产将显著带动刻蚀与薄膜沉积两大类核心设备的需求 [6] - 中微公司前三季度刻蚀设备收入61.01亿元，同比增长约38.26%，其超高深宽比刻蚀工艺实现大规模量产 [6] - 北方华创上半年实现立式炉、物理气相沉积第1000台整机交付，并发布离子注入设备、电镀设备等新产品 [6] - 中微公司新开发的LPCVD、ALD等多款薄膜设备已顺利进入市场 [6]

行业投资评级 - 报告对机械设备行业（半导体设备）的投资评级为“强于大市” [2] 核心观点 - 全球半导体设备产业，特别是先进光刻与先进封装领域，在AI基础设施投资驱动下需求持续强劲，后道设备呈现“前道化”趋势，相关设备厂商将受益于2025-2028年的产能投资高峰 [2][3][21] 25Q3业绩表现 - ASML 25Q3实现营收75亿欧元（约合7516百万欧元），环比下降2.3%，同比增长0.7%，符合业绩指引 [2][4] - 25Q3毛利率为51.6%，符合公司指引，盈利能力稳健 [2][4] - 25Q3新增订单54亿欧元，高于市场预期的48.9亿欧元，其中EUV订单达36亿欧元，占比66.7% [2][5] - 分业务看，光刻设备业务收入55.54亿欧元，服务业务收入19.63亿欧元，同比增长27.3% [2][4] 分产品与地区分析 - 分产品看，25Q3光刻设备销售额中，ArFi系统占比52%，EUV系统占比38% [8] - 分地区看，中国大陆净系统销售额占比达42%，但公司预计2026年对中国大陆出货量将因出口许可问题而回落 [8] - 25Q3 EUV系统出货9台，ArFi系统出货38台，存储端订单增长明显，达到25.38亿欧元，预计25Q4将维持高景气度 [10][14] 先进封装趋势与机遇 - 随着晶圆厚度和封装层数提升，芯片封装精度逼近前道工艺，后道设备“前道化”趋势明显 [3] - ASML面向先进封装的光刻机XT:260在25Q3首次出货，其产能达270片/小时，约为传统封装步进机的4倍 [3][16] - 根据BESI数据，全球约有1000亿美元的先进封装产线投资正在建设或规划中，产线投产高峰将集中于2025-2028年 [3][21][22] - 先进封装产能扩张涉及TSMC、Intel、SK海力士、三星等国际龙头，以及长电科技、通富微电等中国大陆企业 [3] 投资建议 - 报告建议重点关注在先进封装相关领域（如光刻、涂胶显影、薄膜沉积、刻蚀等）具备技术突破与明确客户验证进展的国内半导体设备厂商，包括：【芯碁微装】【芯源微】【迈为股份】【拓荆科技】 [3]

会议基本信息 - 第九届国际先进光刻技术研讨会（IWAPS 2025）将于2025年10月14日至15日在中国深圳五洲宾馆举行 [3][4] - 会议由中国集成电路创新联盟和中国光学学会主办，中国科学院微电子研究所、深圳市半导体与集成电路产业联盟等机构联合承办 [3][5] - 会议旨在构建覆盖光刻设备、工艺制程、计量检测、掩模材料、计算光刻等全产业链的尖端技术对话平台 [3] 会议议程与专题设置 - 会议为期两天，设置多个并行专题会场，涵盖光刻技术全产业链 [9][11][13][14][15][16] - 专题议题包括图形化工艺、人工智能与工艺、计算光刻、掩模设备与优化、X射线计量、光刻胶与材料等 [12][13][14][15][16] - 会议安排包括开幕致辞、主题报告、邀请报告、墙报展示及晚宴等活动 [11][12] 参会机构与专家 - 参会机构包括全球领先的半导体设备商、材料商、制造商及科研院所，如ASML、KLA、Siemens、Hitachi High-Tech、Carl Zeiss、复旦大学、清华大学等 [12][13][14][15][16][25][28][29][30][31][32][33][36][37][38][39][40][41][42][43][44] - 会议邀请到多位业界知名专家做主题报告，如D2S公司的Linyong (Leo) Pang、复旦大学的Qiang Wu、香港中文大学的Bei Yu等 [12][48][51] 技术前沿与热点 - 会议重点关注先进制程节点技术，包括面向2纳米及以下逻辑技术节点的高数值孔径EUV光刻成像特性研究 [12][13][15] - 人工智能与机器学习在半导体制造中的应用是重要议题，涉及晶圆制造、掩模合成、良率增强、计量检测等环节 [12][13][15][16] - 计算光刻技术，如逆光刻技术、光源掩模协同优化等，是会议的核心讨论内容 [12][13][14][15] 论文与学术交流 - 本届IWAPS接收的论文将被送至SPIE Digital Library进行检索，并有机会被EI收录 [23] - 会议设置墙报交流环节，展示来自长江存储、华虹宏力、复旦大学、浙江大学等机构的最新研究成果 [17][18][19][20][21]

A股市场表现 - "924"行情一周年以来A股主要指数涨幅显著 沪指累计涨超40% 深成指累计涨超65% 创业板指累计涨超108% 科创50累计涨126.5% [1] - 市场呈现"小登股"强势格局 代表个股如芯原股份年涨幅292.90% 生益电子涨131.45% 寒武纪-U涨105.22% 而"老登股"代表如海天味业跌12.68% 五粮液跌8.68% 中国人寿跌8.44% [2] - 今日市场低开高走 三大指数集体收涨 上证指数涨0.83% 深证成指涨1.80% 创业板指涨2.28% 科创50上涨3.49% 全市场超4400只个股上涨 成交额23474.78亿元 较上日缩量1713.16亿元 [16] 半导体设备进口 - 中国8月半导体生产设备（SPE）进口额达26亿美元 同比增长12% 环比下降22% 环比下降主要由于7月高基数 [5] - 年初至今SPE进口额达212亿美元 同比增长3% 较前7个月同比增速改善1个百分点 [5] - 进口需求增长主要由光刻设备驱动 同比增55% 该领域本土化能力有限 其需求是衡量中国整体晶圆制造设备（WFE）需求的领先指标 [6] 区域半导体设备需求 - 上海进口需求强劲 同比增132% 表明该市28纳米及以下逻辑芯片产能在持续扩张 [6] - 湖北SPE进口需求回升 同比增23% 环比增296% 可能暗示长江存储或武汉新芯扩产 [6] - 广东进口需求开始正常化 环比下降46% 尽管同比仍增164% [6] 设备类型进口结构 - 光刻设备占SPE进口总额28.6% 同比提升8个百分点 非光刻设备占比71.4% [7] - 蚀刻设备进口额558亿美元 同比增2% 沉积设备进口额576亿美元 同比降6% [7] - 离子注入机进口额118亿美元 同比降34% 其他设备进口额同比增27% [7] 阿里巴巴与AI合作 - 阿里巴巴股价大涨9% 与英伟达开展Physical AI合作 覆盖数据合成处理、模型训练、环境仿真强化学习及模型验证测试等领域 [13] - 公司宣布token使用量每2-3个月翻一倍 在未来三年3800亿元投入计划基础上追加投资 [13] - 全球数据中心电力消耗预计到2033年将较2022年增长10倍 阿里云2022年数据中心产能约2.5GW 预计到2032年增长到25GW [13] 行业政策与动态 - 商务部等8部门联合印发《关于大力发展数字消费共创数字时代美好生活的指导意见》 开展智能网联汽车准入和上路通行试点 培育数字国潮品牌 [20] - 六部门印发《建材行业稳增长工作方案（2025—2026年）》 严禁新增水泥熟料、平板玻璃产能 新建改建项目须制定产能置换方案 [21] - 国家新闻出版署批准11款进口游戏 包括《宇宙机器人》等 [22] 资金流向与龙虎榜 - 主力资金净流入951.73亿元 电子行业净流入规模最大 北方华创居首 [26] - 净流入前五大行业为电子、计算机、电力设备、机械设备、医药生物 净流出前五大行业为银行、汽车、煤炭、社会服务、建筑装饰 [26] - 龙虎榜显示机构净买入力星股份24169.98万元 汇成股份15173.86万元 北方华创14288.91万元 [31] 知名游资动向 - 炒股养家买入山子高科1.053亿元 深科技5981万元 [35] - 中山东路买入北方华创2.314亿元 黄河旋风7049万元 [35] - 毛老板买入北方华创3.874亿元 呼家楼卖出北方华创2.103亿元 [35] 行业估值与拥挤度 - 电力设备、电子、传媒领涨 银行、煤炭、通信领跌 [36] - 机械设备、公用事业、国防军工交易热度提升居前 农林牧渔、非银金融、食品饮料PE处于历史百分位低位 [36] - 申万行业拥挤度显示公用事业、医药生物、食品饮料拥挤度较低 通信、煤炭拥挤度下降明显 [38]

融资与估值 - Mistral AI在C轮融资中筹集17亿欧元（约20亿美元）由ASML领投[2] - 公司估值从60亿美元提升至137亿美元 实现翻倍以上增长[2] - 参与投资方包括Nvidia、DST Global、Andreessen Horowitz、法国国家投资银行等知名机构[2] 技术产品竞争力 - 公司开发多语言大语言模型 聊天机器人Le Chat具备深度研究、图像编辑和语音模式功能[3] - 语音模型Voxtral性能优于OpenAI的Whisper模型 采用开源架构[3] - 5月发布Mistral Medium 3模型 成本效益优于Meta的Llama 4 Maverick和Cohere Command A[4] - 6月推出开发者专用代码助手Mistral Code及推理优化模型系列Magistral[4] 战略合作与行业定位 - ASML首席执行官表示合作将通过创新产品为芯片制造客户带来显著益处[4] - Mistral AI首席执行官强调合作将贯通从AI开发到基础设施工程的技术链[5] - ASML首席财务官将加入Mistral战略委员会董事会[6] - 双方连接点在于AI技术及欧洲企业血统 ASML依赖其光刻技术生产AI芯片[6] 行业格局与战略意义 - Mistral AI被视为欧洲AI领军企业 直接与OpenAI、Google Gemini竞争[3][6] - 合作体现"技术主权"理念 符合后全球化时代政治经济趋势[7] - ASML作为全球领先光刻设备商 其技术对三星、英特尔、苹果芯片生产至关重要[4]

投资交易 - 阿斯麦将向米斯特拉尔人工智能投资13亿欧元（约15亿美元） 占其17亿欧元（约20亿美元）C轮融资的大部分 [1] - 本轮融资前米斯特拉尔估值为100亿欧元（约117亿美元） 融资后成为欧洲估值最高的人工智能企业 [1] - 阿斯麦有望获得米斯特拉尔董事会席位 交易由美国银行提供咨询服务 [1][3] 公司背景 - 米斯特拉尔是法国人工智能初创公司 被视为欧洲人工智能领域领军企业 [1] - 公司成立于2023年 创始团队包括前DeepMind研究员和前Meta研究员 [3] - 竞争对手包括美国科技巨头OpenAI和Alphabet旗下的谷歌 [1] - 此前获得英伟达投资 B轮融资后估值超过60亿美元 [2] 战略意义 - 投资旨在加强欧洲科技主权 减少欧洲对美国人工智能模型的依赖 [1] - 建立欧洲两家科技领军企业的紧密联系 [1] - 阿斯麦可运用米斯特拉尔的数据分析及人工智能能力提升设备性能并开发更多产品 [2] 行业地位 - 阿斯麦是先进芯片制造设备核心供应商 极紫外光刻设备的独家供应商 [2] - 客户包括台积电和英特尔等芯片制造商 [2] - 极紫外光刻系统单价约1.8亿美元 是制造最先进芯片的必备设备 [2] - 阿斯麦还运用人工智能提高其设备的效率 [2]

展会规模与行业地位 - 第十三届半导体设备与核心部件展示会（CSEAC）在江苏无锡举办 展会规模从最初十几个标准展位增长至1130余家参展企业 观展人数从400-500人增长至超过10万人次[1] - CSEAC已成为国内第二大行业展会 重点展示光刻 薄膜 刻蚀 化学机械抛光等晶圆制造设备 划片 键合 晶圆测试等封测设备以及集成电路专用材料[1] 参展企业动态 - 中微公司推出六款半导体设备新产品 覆盖等离子体刻蚀（Etch） 原子层沉积（ALD）及外延（EPI）等关键工艺[1] - 盛美上海展出面板级先进封装电镀设备 立式炉管设备 PECVD TRACK等设备[1] - 半导体设备企业新凯来展出刻蚀设备ETCH（武夷山）和ALD（阿里山）等模型 该公司成立刚满4年[1] 行业参与度 - 国内龙头企业北方华创 盛美半导体 中微半导体 拓荆科技 新凯来等悉数参展[1] - 展会自2021年扎根无锡以来规模持续攀升 吸引1130余家参展企业参与[1]

技术差距 - 中国在先进芯片制造领域与西方发达国家存在大约20年的技术差距 [1] - 中国在光刻设备制造方面与美国相比存在明显差距 [1] 光刻设备制约 - 最先进光刻设备由欧洲企业研发制造 其技术依赖美国核心零部件 [1] - 中国企业难以获得高端光刻设备 直接导致先进工艺研发和量产面临困难 [1] - 国内芯片制造企业采用相对落后技术手段制造7纳米工艺芯片 影响生产效率和显著提高制造成本 [1] 供应链与核心技术 - 高端光刻设备制造涉及全球供应链体系 关键零部件多分布于美欧地区 [1] - 光刻工艺是将芯片设计图形转移到硅片上的核心技术 高端设备能实现更精细线路刻画提升芯片性能 [1] - 光刻设备在芯片制造流程中具有不可替代的关键作用 决定整个产业向高端化发展的能力 [1]