Workflow
拓扑半金属
icon
搜索文档
寻找铜互联的替代者
半导体行业观察· 2025-11-17 09:26
公众号记得加星标⭐️,第一时间看推送不会错过。 遵循摩尔定律,集成电路中晶体管尺寸的持续缩小——微芯片上的晶体管数量大约每两年翻一番—— 是一项非凡的工程壮举,突破了基础物理学的极限。晶体管是关键元件,它通过开关电流来调节端子 (导电连接点)之间的电流。当晶体管尺寸减小时,开关速度加快,从而使集成电路能够更快地处理 信息。 然而,随着晶体管尺寸缩小到纳米级,互连线——连接晶体管和微芯片上其他电路元件的金属导线 ——成为处理速度的主要瓶颈。因此,提升下一代电子设备集成电路的性能不能仅仅依靠缩小晶体管 尺寸来实现,还需要开发新型互连材料。 互连线用于将信号从一个电路元件传输到另一个电路元件。信号在导线中传输所需的时间称为电阻- 电容 (RC) 时间延迟,它取决于互连材料的固有电阻和周围介质元件(一种可被电场极化的电绝缘 体)的电容。因此,铜作为导电性最好的金属之一,一直是互连线的标准材料。然而,仿真结果表 明,目前使用的最小互连线(宽度约为 15 nm)的 RC 时间延迟可能高达晶体管开关速度的 20 倍。 互连线的RC时间延迟为何如此之大?铜的电阻会随着尺寸的减小而增大。金属内部电子的运动是造 成这种尺寸效应影 ...
芯片需要新材料
半导体行业观察· 2025-03-28 09:00
纳米级导电材料研究突破 - 铜在纳米级电子应用中电阻增大导致能量损失增加,与微型电子产品低能耗需求相矛盾 [1][2] - 斯坦福大学团队开发出厚度仅1.5纳米的磷化铌(NbP)薄膜,其导电性随厚度减小而增强,与铜特性相反 [1][2][3] - 1.5纳米NbP薄膜室温电阻率仅34微欧姆厘米,是较厚薄膜的1/6,比同厚度铜(100微欧姆厘米)低66% [2][3] 材料制备工艺 - 采用蓝宝石基板+铌种子层(1.4-4纳米)+NbP多晶膜(1.5-80纳米)的三层结构,溅射工艺实现低温(400℃)沉积 [3][6] - 无定形NbP基质内含纳米晶体结构,晶体形成不受底层铌种子层厚度影响 [3] - 表面导电性占主导的"拓扑半金属"特性是低电阻主因,薄膜越薄表面传导占比越高 [4] 应用前景与挑战 - 可显著降低晶体管连接处电阻率,减少热能损耗,提升集成电路能效 [6] - 400℃工艺温度与现有半导体制造兼容,优于需高温合成的单晶材料方案 [6] - 商业化需解决薄膜层公差控制问题,如种子层厚度对NbP薄膜质量的影响 [6] - 可能存在更多类似NbP的拓扑半金属材料待发现,需通过计算模拟加速筛选 [6]