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光刻用电子混配气
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昊华科技(600378.SH):正在研制光刻用电子混配气产品
格隆汇· 2025-10-21 16:24
公司业务与市场地位 - 公司所属昊华气体是国内特种气体行业内的技术领先企业,拥有国家重要的特种气体研究生产基地 [1] - 公司主要产品包括三氟化氮、四氟化碳、六氟化硫等,总产能达万吨级,部分产品国内市场占有率高达60% [1] - 公司产品主要应用于集成电路、平板显示和太阳能光伏等制造领域 [1] - 公司的超高纯六氟化硫在国内平板显示等应用领域市场占有率超过60% [1] 产品技术与研发成果 - 公司拥有多品种系列化电子特种气体产品,应用于集成电路制造的蚀刻、清洗、离子注入、化学气象沉积等环节 [1] - 公司正在研制光刻用电子混配气产品 [1] - 公司的高纯四氟化碳产品指标达到国际先进水平,广泛出口至欧美、东南亚等国家和地区 [1] - 公司成功开发电子级六氟丁二烯、电子级溴化氢和氟甲烷等8类产品,并实现国产化替代 [1] - 六氟丁二烯突破氟碳合成关键技术,技术指标达国际领先水平,已获得行业头部客户批量采购并进入其供应链 [1] 产能与产业链优势 - 叠加中化蓝天氟化工技术转化支撑,实现部分产品的成本优化与产能提升 [1] - 公司新建2套产业化装置、8套中试装置 [1] - 公司依托氟化工产业链优势,承担并完成国家有关部门集成电路刻蚀气"一条龙"攻关项目 [1] - 公司共获授权中国发明专利14项、国际专利5项,发布国家标准4项 [1] 行业前景与驱动因素 - 随着终端应用市场复苏及AI需求增长,公司电子特气业务有望持续受益 [1]