投资评级 - 维持“买入”评级 [6][11] 核心观点与业绩表现 - **营收高速增长**：2025年公司实现营收20.53亿元，同比增长48.75%；2026年第一季度实现营收3.96亿元，同比增长34.63% [2][4] - **年度盈利大幅改善**：2025年实现归母净利润0.59亿元，同比增长608.91% [2][4] - **季度盈利承压**：2026年第一季度归母净利润为-0.68亿元，同比减少354.28% [2][4] - **毛利率波动**：2025年整体毛利率为49.93%，同比增长1.0个百分点；2026年第一季度毛利率为47.77%，同比减少10.3个百分点 [2][4] - **研发投入持续高企**：2025年研发费用为6.56亿元，同比增长31.8%；2026年第一季度研发费用为1.83亿元，同比增长52.2% [11] - **未来盈利预测**：预计公司2026-2028年归母净利润分别为2.6亿元、6.9亿元、11.8亿元，对应市盈率分别为265倍、100倍、58倍 [11] 业务分项与产品进展 - **检测设备业务**：2025年实现营收13.64亿元，同比增长38.52%，毛利率为53.29%，同比提升0.77个百分点 [11] - **量测设备业务**：2025年实现营收6.23亿元，同比增长72.71%，毛利率为41.91%，同比提升4.38个百分点 [11] - **先进制程占比高**：2025年先进制程收入占比超过60%，在订单结构中占比超过70% [11] - **新产品进展顺利**： - 暗场纳米图形晶圆缺陷检测设备已在国内多家头部逻辑、存储客户处完成验证并实现批量销售，成为2025年及2026年第一季度重要增长引擎，并在2026年第一季度新增订单中占比快速提升 [11] - 明场设备已在多家国内头部逻辑、存储客户产线验证较长时间，设备性能与稳定性有明显提升 [11] - 新推出4款产品：晶圆平整度量测设备、电子束关键尺寸量测设备、基于X光技术的高深宽比刻蚀结构量测设备、硅通孔铜填充空隙量测设备 [11] 成长驱动与市场环境 - **双重成长动力**：公司的成长一方面来源于国产替代的持续推进，另一方面来自于先进制程对于量检测设备需求的提升 [11] - **国产替代需求强烈**：在美国对华半导体出口管制措施严格的背景下，国内晶圆厂扩产意愿提升，核心设备的替代需求更加强烈 [11] - **规模化效应显现**：随着新产品落地节奏加速，尤其是先进型号进展顺利，促进了订单规模增长，未来盈利能力有望持续提升 [11] 财务预测摘要 - **营收预测**：预计2026-2028年营业总收入分别为29.50亿元、48.03亿元、66.61亿元 [15] - **每股收益预测**：预计2026-2028年每股收益分别为0.74元、1.97元、3.37元 [15] - **净资产收益率预测**：预计2026-2028年净资产收益率分别为4.8%、11.4%、16.3% [15]