投资评级 - 投资评级为“买入”，并予以维持 [6] 核心观点 - 报告认为公司成长动力明确，一方面来源于国产替代的持续推进，另一方面来自于先进制程对于量检测设备需求的提升 [11] - 随着研发投入加大，公司新产品落地节奏加速，尤其是先进型号进展顺利，促进了订单规模增长 [11] - 随着规模化效应显现，公司未来盈利能力有望持续提升，预计2025-2027年归母净利润将快速增长至1.29亿元、4.18亿元、6.46亿元 [11] 财务表现 - 2025年第三季度公司实现营业收入5.00亿元，同比增长43.30%；但归母净利润为0.04亿元，同比减少77.33%；扣非净利润为-0.30亿元，同比减少188.66%；毛利率为48.69%，同比减少0.95个百分点 [2][4] - 2025年前三季度公司实现营业收入12.02亿元，同比增长47.92%；归母净利润为-0.15亿元，同比增长71.67%；扣非净利润为-1.40亿元，同比减少11.61%；毛利率为51.97%，同比增长4.28个百分点 [2][4] - 分析师预测公司2025年至2027年归母净利润分别为1.29亿元、4.18亿元、6.46亿元，对应市盈率（PE）分别为341倍、105倍、68倍 [11][15] 业务进展 - 成熟产品持续升级迭代，新产品进展顺利：明场和暗场纳米图形晶圆缺陷检测设备出货及订单数量快速增长，已覆盖多家国内头部逻辑及存储客户，验证进展顺利 [11] - 无图形晶圆缺陷检测设备、薄膜膜厚量测设备应用在国内最先进制程产线的设备已通过验证并实现销售，面向更先进制程的设备已出货给头部客户验证 [11] - 最新一代套刻精度量测设备已实现批量出货并销售，全面覆盖国内头部客户；应用于HBM领域的图形晶圆缺陷检测设备等也已通过多家国内头部客户的验证 [11] 资本运作与产能规划 - 公司于2025年10月完成定向增发，发行数量为28,571,428股，募集资金约25亿元，发行价格为87.5元/股 [11] - 募集资金将投向上海高端半导体质量控制设备研发测试及产业化项目、总部基地及研发中心升级建设项目及补充流动资金 [11] - 其中，高端半导体设备研发产业化项目拟使用募集资金11.8亿元，旨在提升公司高端前沿工艺设备产业化能力，优化产品产能战略布局，增强研发测试技术能力和核心技术成果转化能力 [11]

财务表现 - 2025年上半年营业收入达7.02亿元，同比增长51.39%，但归母净利润亏损1835.43万元，扣非后亏损扩大至1.1亿元，与上年同期持平，呈现增收不增利特征 [1] - 经营性现金流出4.42亿元创历史新高，应收账款周转天数从75.5天增至80.78天，存货周转天数从895.52天恶化至1126.41天 [10][12] - 存货规模从上年同期13.7亿元激增至22.7亿元，其中发出商品占比9.6亿元，显示客户验收周期延长 [13][14] 研发投入与成果 - 研发费用2.85亿元同比增长37.79%，研发费用率40.65%，虽低于上年同期的44.66%，但仍显著高于行业水平 [2] - 研发人员数量从465人增至577人，半年平均薪酬从27.77万元提升至31.28万元，2024年人均薪酬52.28万元位列行业第三 [2] - 明场纳米图形晶圆缺陷检测设备（市场价值占比19.5%）仍处客户验证阶段，累计出货约10台未达量产，暗场设备同样未量产 [4][5][7] - 光学关键尺寸量测设备已实现量产，但技术难度更高的明暗场设备进展滞后 [5] 市场与竞争 - 明场设备被行业视为"皇冠"级产品，技术难度最大且市场价值占比近20%，公司宣传其实现"从0到1突破"但实际尚未通过验收 [4][6][7] - 竞争对手指出公司在明场设备投标中采取激进报价策略，但客户更关注技术内功而非价格 [9] - 合同负债从上年同期6.28亿元降至6.08亿元，反映未来订单或预付款比例下降 [16] 资金状况 - 短期借款从5033.94万元飙升至2.91亿元，长期借款从5300万元增至5.07亿元，财务费用由负转正 [16] - 2024年启动25亿元定增并于2025年7月获上交所通过，预计将缓解现金流压力 [16] 行业特征 - 半导体检测设备行业面临高端技术突破压力与长验证周期双重挑战，需持续高研发投入但现金流回笼慢 [17] - 设备验收前需长期计入发出商品科目，导致存货周转效率低下，属行业普遍现象 [15][17]