财务业绩 - 2025年第三季度归母净利润5亿元，同比增加28%，环比增加29% [1] - 前三季度刻蚀设备实现收入约61亿元，同比增长38% [1] - 前三季度薄膜设备收入约4亿元，同比激增超1300% [1] 业务运营 - 刻蚀基本盘稳固，针对先进逻辑和存储器件制造的关键刻蚀工艺高端产品新增付运量显著提升 [1] - 薄膜设备迎来爆发期，LPCVD、ALD等新产品顺利放量 [1] - 硅和锗硅外延EPI设备已运付客户端进行量产验证 [1] 研发与战略 - 公司在研项目涵盖6类设备、超20款新品 [1] - 随着先进逻辑和存储关键工艺的高端产品付运提升，公司正加速向平台型设备公司迈进 [1]

财务业绩 - 2025年前三季度实现营业收入80.63亿元，同比增长46.40% [1] - 前三季度归属于上市公司股东的净利润为12.11亿元，同比增长32.66% [1] - 毛利润较上年同期增长约8.27亿元 [1] - 研发支出较上年同期增长9.79亿元，增幅约63.44%，占营业收入比例约为31.29% [1] - 计入非经常性损益的股权投资收益为3.29亿元，较上年同期增加约2.75亿元 [1] 业务收入构成 - 刻蚀设备收入61.01亿元，同比增长约38.26% [1] - LPCVD和ALD等薄膜设备收入4.03亿元，同比增长约1332.69% [1] 研发与产品进展 - 在研项目涵盖六类设备、超二十款新设备的开发 [2] - 新设备开发周期从三到五年缩短至两年或更短 [2] - 60比1超高深宽比介质刻蚀设备成为国内标配设备，下一代90比1设备即将进入市场 [3] - 适用于下一代逻辑和存储客户的ICP刻蚀设备和化学气相刻蚀设备开发取得良好进展，加工精度达单原子水平 [3] - LPCVD、ALD等多款薄膜设备性能达国际领先水平，覆盖率不断增加 [3] - 硅和锗硅外延EPI设备已进入客户端量产验证并获得高度认可 [3] - 更多化合物半导体外延设备已陆续付运至客户端验证 [3] 市场地位与交付 - 等离子体刻蚀设备已应用于国际一线客户从65纳米到5纳米等先进集成电路制造线及先进存储、封装线 [4] - CCP和ICP刻蚀机可覆盖国内95%以上的刻蚀应用需求 [4] - 高端刻蚀产品新增付运量显著提升，先进逻辑器件中段刻蚀和存储器超高深宽比刻蚀实现大规模量产 [2] - 过去14年营业收入年均增长大于35%，2025年上半年营业收入达49.61亿元，同比增长43.9% [4]

核心财务表现 - 2025年第三季度单季营业收入31.02亿元，同比增长50.62% [1] - 2025年第三季度单季归属于上市公司股东的净利润5.05亿元，同比增长27.5% [1] - 2025年前三季度累计营业收入80.63亿元，同比增长46.40% [2][3] - 2025年前三季度累计归属于上市公司股东的净利润12.11亿元，同比增长32.66% [2] - 2025年前三季度累计归属于上市公司股东的扣除非经常性损益的净利润8.87亿元，同比增长9.05% [2][4] - 2025年前三季度经营活动产生的现金流量净额12.98亿元，同比大幅增长385.23% [2] 业务分部表现 - 刻蚀设备作为基石业务，前三季度收入61.01亿元，同比增长38.26% [3] - 薄膜设备（包括LPCVD和ALD）业务收入呈现爆发式增长，前三季度收入4.03亿元，同比增长约1332.69% [1][3] - 薄膜设备业务的突破性进展得益于多款用于先进存储和逻辑器件的设备顺利进入市场，性能达到国际领先水平 [3] 研发投入与盈利能力 - 2025年前三季度研发投入合计25.23亿元，同比增长63.44% [2][3] - 研发投入占营业收入的比例达到31.29%，较上年同期增加3.26个百分点 [2][3] - 利润增长承压主要由于毛利增加8.27亿元的同时，研发费用增加了8.80亿元 [4] - 前三季度计入非经常性损益的股权投资收益为3.29亿元，是推动归母净利润增长的重要因素之一 [4] 技术进展与产品开发 - 在刻蚀设备领域，CCP单反应台介质刻蚀产品保持高速增长，60:1超高深宽比设备已成为国内标配，下一代90:1设备即将进入市场 [5] - ICP刻蚀设备和化学气相刻蚀设备的加工精度和重复性已达到单原子水平 [5] - 硅和锗硅外延EPI设备已运付客户端进行量产验证并获得高度认可 [5] - 新产品开发周期显著缩短，从过去三到五年缩短至两年或更短 [5] 公司资产与资本运作 - 报告期末总资产297.87亿元，较上年度末增长13.61% [2] - 报告期末归属于上市公司股东的所有者权益为214.72亿元，较上年度末增长8.79% [2] - 公司回购专用证券账户计划减持不超过209.63万股（占总股本0.33%），减持所得资金将用于补充公司日常经营所需流动资金 [5]