证券研究报告 中科飞测 (688361 CH) 光学+电子束+X 光一站式布局领先 2026 年 4 月 26 日│中国内地 半导体 中科飞测发布年报，2025 年实现营收 20.53 亿元（yoy+48.75%），归母净 利 5865.26 万元，扭亏为盈。其中 Q4 实现营收 8.52 亿元（yoy+49.94%， qoq+70.47%），归母净利 7335.10 万元。公司为先进逻辑、先进存储以及 HBM 2.5D/3D 封装等前沿领域客户提供覆盖"光学+电子束+X 光"三大核 心技术路线的一站式良率管理解决方案，同时拥有良率管理、缺陷自动分类、 光刻套刻分析三大软件产品形成完整的质量控制设备和智能软件相结合的 良率管理闭环。展望 2026 年，我们有望看到国内先进制程及存储积极扩产， 中科飞测作为量检测赛道核心供应商有望持续受益，维持"买入"评级。 25 全年回顾：营收高增，毛利率稳步向好，利润扭亏为盈 25 年 公 司 营 收 20.53 亿元（ yoy+48.75% ） ， 综 合 毛 利 率 49.93% （yoy+1.03pct）。暗场纳米图形晶圆缺陷检测设备、第四代无图形晶圆缺陷 检测设备、 ...