等离子体射频电源及匹配器
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公司问答丨恒运昌:公司目前已批量供货国内薄膜沉积设备主要企业 也已实现对国内刻蚀设备主要企业的批量供货
格隆汇· 2026-02-10 16:56
公司业务与市场地位 - 公司是薄膜沉积、刻蚀环节国内头部设备商的战略级供应商 [1] - 公司已批量供货国内薄膜沉积设备主要企业拓荆科技、微导纳米、盛美上海 [1] - 公司已实现对中微公司、北方华创等国内刻蚀设备主要企业的批量供货 [1] 产品开发与客户拓展 - 公司正在为中微公司、微导纳米、北方华创、盛美上海的多种机型开发多款等离子体射频电源及匹配器 [1] - 2025年上半年,公司实现对屹唐股份、思锐智能和无锡邑文等刻蚀、离子注入、清洗去胶等细分领域客户的销售收入突破 [1]
恒运昌:目前已批量供货国内薄膜沉积设备主要企业拓荆科技、微导纳米、盛美上海等
证券日报网· 2026-02-09 21:21
公司业务与客户拓展 - 公司是薄膜沉积、刻蚀环节国内头部设备商的战略级供应商 [1] - 公司已批量供货国内薄膜沉积设备主要企业拓荆科技、微导纳米、盛美上海 [1] - 公司已实现对中微公司、北方华创等国内刻蚀设备主要企业的批量供货 [1] 产品开发与新品布局 - 公司正在为中微公司、微导纳米、北方华创、盛美上海的多种机型开发多款等离子体射频电源及匹配器 [1] 市场拓展与新客户突破 - 2025年上半年,公司实现对屹唐股份、思锐智能和无锡邑文等刻蚀、离子注入、清洗去胶等细分领域客户的销售收入突破 [1]
恒运昌(688785.SH):公司已启动了质量流量计的自研工作
格隆汇· 2026-02-05 21:44
公司业务发展 - 真空泵与质量流量计属于公司引进业务 [1] - 公司已启动质量流量计的自研工作 争取加快自研产品的研发落地和出货 [1] - 公司计划以引进业务带动自研产品的验证和销售 [1] 研发与募投项目 - 公司募投项目“研发与前沿技术创新中心项目”将进行多项产品及技术的研究 [1] - 具体研发方向包括下一代等离子体射频电源及匹配器、电源类新品、质量流量计、等离子体设备相关衍生产品 [1]
恒运昌:公司产品已实现批量交付中微公司、北方华创等半导体设备商
格隆汇· 2026-02-05 21:41
核心观点 - 公司作为半导体设备核心部件供应商,其等离子体射频电源系统产品已成功实现国产化替代,并批量交付给国内多家头部半导体设备制造商,客户结构持续多元化,合作范围与验证项目不断扩展 [1] 客户合作与验证进展 - 公司与拓荆科技的合作始于2018年,历经2年多验证后,于2020年下半年开始逐步批量交付等离子体射频电源系统 [1] - 与拓荆科技的合作范围已从初始项目扩展至PEALD设备、HDPCVD设备及先进封装的键合设备领域,相关设备的电源系统合作验证工作均在持续推进中 [1] - 公司产品已实现批量交付中微公司、北方华创、微导纳米、盛美上海等国内主要半导体设备商 [1] - 公司正在为中微公司、微导纳米、北方华创、盛美上海的多种机型开发多款等离子体射频电源及匹配器 [1] 市场拓展与客户多元化 - 2025年上半年,公司实现了对屹唐股份、思锐智能和无锡邑文等细分领域头部客户的销售收入突破 [1] - 公司还为国内多家晶圆厂开发多款原位替换等离子体射频电源及匹配器,表明其客户结构正从设备商延伸至晶圆制造厂,持续多元化 [1]
恒运昌(688785.SH):公司产品已实现批量交付中微公司、北方华创等半导体设备商
格隆汇· 2026-02-05 21:37
公司与拓荆科技的合作进展 - 公司与拓荆科技于2018年启动等离子体射频电源系统的国产化开发及验证工作,历经2年多合作验证 [1] - 公司产品于2020年下半年开始逐步批量交付拓荆科技 [1] - 双方合作范围已扩展至PEALD设备、HDPCVD设备及先进封装的键合设备领域,相关设备的电源系统合作验证工作目前均在持续推进中 [1] 客户拓展与销售收入 - 公司产品已实现批量交付中微公司、北方华创、微导纳米、盛美上海等半导体设备商 [1] - 公司正在为中微公司、微导纳米、北方华创、盛美上海的多种机型开发多款等离子体射频电源及匹配器 [1] - 2025年上半年,公司实现对屹唐股份、思锐智能和无锡邑文等细分领域头部客户的销售收入突破 [1] 产品开发与客户结构 - 公司为国内多家晶圆厂开发多款原位替换等离子体射频电源及匹配器 [1] - 公司客户结构持续多元化 [1]