投资评级 - 增持(维持) [2] 核心观点 - 公司2025年上半年收入7.02亿元，同比增长51.39%，归母净利润-0.18亿元，大幅减亏，新获政府补助125.40万元 [9] - 无图形晶圆缺陷检测设备累计交付超300台，覆盖超100家客户，第三代产品通过多家客户验证，第四代产品已出货至头部客户产线验证 [9] - 纳米图形晶圆缺陷检测设备完成明场和暗场样机研发，已小批量出货至头部客户产线，暗场设备获客户积极反馈，推动订单增长 [9] - 缺陷自动分类系统和光刻套刻分析反馈系统已在多家芯片制造商研发与量产环节应用，提升良率管控能力和套刻精度 [9] - 预计2025-2027年营业收入19.16/26.80/34.44亿元，归母净利润2.19/3.91/5.94亿元，对应PE 146.4/81.9/53.9倍 [9] 财务数据与预测 - 2023-2027年营业收入预测：8.91/13.80/19.16/26.80/34.44亿元，增长率74.9%/54.9%/38.8%/39.9%/28.5% [7][10] - 2023-2027年归母净利润预测：1.40/-0.12/2.19/3.91/5.94亿元，增长率1072.4%/-108.2%/—/78.7%/52.0% [7][10] - 2023-2027年EPS预测：0.49/-0.04/0.68/1.22/1.85元 [7][10] - 2023-2027年毛利率：47.8%/48.9%/53.4%/53.5%/52.7% [10] - 2023-2027年ROE：5.8%/-0.5%/8.3%/13.3%/17.6% [7][10] 业务进展 - 无图形晶圆缺陷检测设备技术性能优异，市占率持续提升 [9] - 纳米图形晶圆检测设备研发按计划推进，明场设备验证周期较长，暗场设备进展顺利 [9] - 分析及分类系统产品加速推广，配套软件产业链逐步完善 [9]