台积电南京厂采购中微半导体设备 - 台积电南京厂向中微半导体采购10台5nm介质刻蚀机 预计2026年第一季度交付 [1] - 中微半导体2018年已通过台积电5nm刻蚀机验证 此次订单标志技术成熟度获认可 [1] - 5nm刻蚀设备是芯片制造关键装备 应用于高性能计算、AI、5G等前沿领域 [1] 中微半导体技术优势 - 5nm刻蚀设备具备可调性、稳定性优势 配备双低频射频源和四区动态静电吸盘提升精度 [2] - 采用自主涂层技术的抗腐蚀反应仓 兼具除胶能力和表面电荷减除功能 [2] - 技术发展路径清晰 从65nm逐步突破至5nm制程 实现国产设备国际竞争力 [2] 台积电南京厂发展概况 - 南京厂2016年成立 总投资30亿美元 是台商大陆最大单体投资项目 [3] - 2018年量产12nm/16nm制程 大陆首座12英寸12nm晶圆厂 [3] - 2022年新增28nm产能4万片/月 2023年总产能达6万片/月（含原有16nm产能） [3] 中微半导体公司发展 - 2004年成立时仅15人团队 2024年全球员工超2000人 2019年科创板首批上市 [5] - 刻蚀设备覆盖国内95%需求 5nm设备已进入国际领先产线 2024年收入72.77亿元 [5] - MOCVD设备占GaN基LED市场80%份额 拓展至碳化硅、Micro-LED领域 [5] - 2024年研发投入24.52亿元 占比营收27.05% 在研设备超20款 [5] - 投资产业链上下游30余家企业 8家参股公司已A股上市 [6]