NIL纳米压印设备

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ASML麻烦了?英国电子束光刻机,绕过EUV,制造5nm芯片
新浪财经· 2025-05-08 21:23
众所周知,目前主要的芯片制造方案,均采用的是光刻技术,而光刻技术最重要的就是光刻机。 事实上,之前也有好几套技术方案,比如日本研究的NIL纳米压印技术,佳能就有推出相关的设备,据 说也能用于5nm芯片的制造。 还有美国之前搞了EBL电子束技术,据称也能够用于5nm及以下芯片的制造。 光刻机领域,ASML一家独占了80%以上的市场份额,特别是最高端的EUV光刻机,全球仅ASML一家 能够制造。 而EUV又用于7nm以下的芯片制造,所以说ASML卡住了全球所有先进芯片制造企业的脖子。 所以一直以来,全球众多的企业,都在想方设法,绕过ASML的封锁,特别是绕过EUV光刻机技术,掌 握另外的芯片制造技术,那么全球的芯片设备格局都可能被改写。 这种产品,据称可以制造下一代半导体芯片,并且是不需要EUV光刻机的芯片制造技术,据称这也是 全球第二个,欧洲首个此类电子束光刻中心。 不过,目前这一代产品,也并不是没有缺点,那就是目前它还只能用于200mm的晶圆,也就是8寸的, 要支持300mm也就是12寸的,据称要等到下一代技术才行。 但不可否认的是,一旦这种电子束光刻机大突破,解决了产能、分辨率等等问题之后,ASML的麻烦就 ...