财务数据关键指标变化 - 营业收入同比增长31.49%至12.33亿元[22][23] - 归属于上市公司股东的净利润同比增长25.28%至1.52亿元[22][23] - 扣除非经常性损益的净利润同比增长29.26%至1.42亿元[22][23] - 经营活动产生的现金流量净额同比下降61.63%至3442.82万元[22][24] - 归属于上市公司股东的净资产同比增长96.9%至13.84亿元[22][24] - 总资产同比增长68.31%至22.45亿元[22][24] - 加权平均净资产收益率同比下降6.01个百分点至12.93%[23] - 营业成本897,460,584.72元同比增长32.58%[78][81] - 研发费用56,186,435.18元同比增长44.36%[78] - 销售费用44,390,860.54元同比增长56.08%[78] - 投资收益2,952,049.63元同比增长62.95%[78] - 经营活动产生的现金流量净额34,428,163.75元同比下降61.63%[78] - 投资活动产生的现金流量净额-371,501,522.96元主要因理财产品未到期收回[78][80] - 筹资活动产生的现金流量净额547,749,203.01元主要因IPO募集资金到位[78][80] - 公司实现营业总收入123,302.97万元，同比增长31.49%[34] - 公司实现归属于上市公司股东的净利润15,235.10万元，同比增长25.28%[34] - 交易性金融资产当期变动增加2.56亿元，对利润影响728.96万元[31] - 营业利润17,484.70万元较2020年增加3,150.84万元[77] 各业务线表现 - 集成电路领域实现营业收入57,226.61万元，同比增长280.55%[36] - 集成电路领域收入占营业收入总额比重快速提升至46.52%[35] - 泛半导体制程附属设备实现收入16,174.7万元，同比增长424.88%[37] - 湿电子化学品供应与回收再生系统业务确认收入8,619.96万元，同比增长70.75%[39] - 光电显示领域实现收入52,883.91万元，持续保持行业领先地位[35] - 光电显示业务营业收入同比下降17.22%至5.29亿元，毛利率为25.87%[83] - 集成电路业务营业收入同比大幅增长280.55%至5.72亿元，毛利率提升2.47个百分点至29.02%[83][84] - 垃圾焚烧发电业务营业收入同比下降49.37%至5444万元，毛利率提升6.39个百分点至28.90%[84] - 印刷电路板业务营业收入同比增长319.46%至2164万元，但毛利率下降12.71个百分点至24.74%[84] - 直接销售模式营业收入同比增长31.43%至12.30亿元，毛利率微降0.59个百分点至27.28%[85] - 涂层风管销售量同比增长51.33%至22.7万平方米，生产量同比增长45.16%[86] 成本和费用 - 营业成本897,460,584.72元同比增长32.58%[78][81] - 研发费用56,186,435.18元同比增长44.36%[78] - 销售费用44,390,860.54元同比增长56.08%[78] - 集成电路业务设备及材料成本同比大幅增长255.06%至3.09亿元，占总成本比例34.60%[88] - 光电显示业务制造费用同比下降26.76%至2452万元，运营资产摊销成本同比增长15.34%[88] - 废气治理系统设备及材料成本同比增长25.12%至4.677亿元，占总成本比例52.28%[89] - 安装劳务成本同比大幅增长68.82%至9,816万元，主要因业务增加及原材料人工价格上涨[89] - 湿电子化学品系统设备及材料成本同比激增79.29%至4,949万元[89] - 研发费用同比增长44.36%至5,619万元，占营业收入比例4.56%[93][96] - 销售费用同比增长56.08%至4,439万元，主要因职工薪酬和售后维护费增加[93] 各地区表现 - 华东地区营业收入同比增长123.54%至7.13亿元，但毛利率下降2.29个百分点至26.41%[84] - 华南地区营业收入同比下降62.74%至2602万元，毛利率下降11.20个百分点至20.36%[84] 管理层讨论和指引 - 公司发展战略聚焦"绿色环保"与"泛半导体产业国产化"，打造五位一体产业价值生态链[120] - 公司业务延伸至高附加值制程附属设备、关键零部件及原材料，提升国产化率和市场占有率[120] - 公司将持续拓展VOCs治理设备应用领域至近百余个分散行业并加大标准化模块化开发[121] - 公司重点推进湿电子化学品回收再生技术特别是电子级PGME PGMEA CYC NMP等高价值产品[121] - 2022年计划深度拓展泛半导体湿电子化学品供应与回收再生系统业务[122] - 公司聚焦锂电光伏机械化工等重点市场开拓环境治理与资源回收业务[123] - 加快江苏盛剑工厂自动化升级和产线技改提升制造能力[123] - 积极推动上海盛剑半导体装备业务平台和微化学品材料研发试验基地建设[123] - 面临泛半导体行业投资规模下降可能对经营业绩产生不利影响的风险[125] - 主要成本构成中直接材料占比较高受钢材氟涂料等原材料价格波动影响[126] - 新项目建设存在土地获取时间及成本不确定性的风险[126] - 疫情反复可能对产业供应链和经营造成持续影响[127] 现金流和资产状况 - 经营活动产生的现金流量净额34,428,163.75元同比下降61.63%[78] - 投资活动产生的现金流量净额-371,501,522.96元主要因理财产品未到期收回[78][80] - 筹资活动产生的现金流量净额547,749,203.01元主要因IPO募集资金到位[78][80] - 货币资金增加至5.75亿元，占总资产25.59%，同比增长60.21%[99] - 交易性金融资产增至2.96亿元，占总资产13.17%，同比大幅增长639.32%[99] - 应收账款增至6.87亿元，占总资产30.6%，同比增长80.76%[99] - 在建工程增至1.68亿元，占总资产7.46%，同比增长305.56%[99] - 应付票据增至2.75亿元，占总负债12.23%，同比增长57.61%[101] - 其他应付款激增至5284.72万元，同比增长2708.88%[101] - 长期股权投资期末余额2.02亿元，本期增加1622.69万元[105] - 受限资产余额1.78亿元，主要为银行承兑汇票保证金及抵押资产[102] - 经营活动现金流净额同比下降61.63%至3,443万元，因原材料采购支付增加[98] - 投资活动现金流净流出3.715亿元，主要因银行理财产品未到期收回[98] 研发与创新 - 公司研发投入达5,618.64万元，同比增长44.36%[41] - 研发费用56,186,435.18元同比增长44.36%[78] - 研发费用同比增长44.36%至5,619万元，占营业收入比例4.56%[93][96] - 研发团队93人占员工总数9.96%，其中硕士及以上学历24人[97] - 公司拥有多项自主研发的核心技术成果，核心设备能够实现自产或定制化设计[54] - 公司工艺排气管道采用不锈钢涂层风管，内壁喷涂高抗腐蚀性氟涂料，具备优异耐热性、耐腐蚀性和低摩擦性[58] - 公司中央废气治理设备包括沸石转轮、蓄热式焚化炉、直燃式焚化炉、干式除尘器、连续水幕湿式电除尘、洗涤塔、预过滤器和深度冷凝器等核心组件[59] - 泛半导体制程附属设备包含L/S（Local Scrubber）用于处理含氟、氯、硅等有毒有害废气，以及LOC-VOC用于处理洁净室VOCs气体[60] - 公司VOCs净化一体机集成预过滤、沸石转轮吸附浓缩与催化氧化系统，可处理苯、醇、烷烃、醚、酮、脂类等VOCs组分[63] - VOCs净化一体机通过精密集成实现快速安装运行，节约占地空间，较传统系统具有节能和成本优势[64] - 湿电子化学品回收再生系统可实现废化学品提纯再生并循环使用[56] 订单和客户 - 公司新签订单总金额143,790.29万元（含税），较上年增长55.44%[34] - 公司在手订单金额约10.22亿元（含税，含已中标未签合同、意向性订单）[34] - 前五名客户销售额占比60.11%达7.41亿元，显示客户集中度较高[92] - 公司下游客户包括中芯国际、华虹半导体、京东方等行业领军企业[47] - 公司销售模式以直销为主，客户为泛半导体行业高科技工业企业及工厂建设总承包方[65] 生产和供应链 - 采购内容主要包括材料、设备及配件、外协加工和安装劳务，按项目定制化集中采购[66] - 废气治理系统业务和湿电子化学品系统均为非标定制产品，以设计和管理为核心通过系统集成生产[67] - 废气治理设备业务采用以销定产模式，并根据市场预期、原材料价格波动和生产计划进行适量备货[67] - 昆山制造基地建成投产后，公司产能、场地和设备均提升，中央废气治理设备逐步实现自产[70] 行业和市场环境 - 行业政策目标到2025年单位GDP能耗比2020年下降13.5%，主要污染物排放总量下降8%-10%以上[51] - 集成电路产业被列为战略性产业，目标到2020年全行业销售收入年均增速超过20%[49] - 2021年全球半导体销售额5559亿美元，较2012年2916亿美元增长接近翻倍[113] - 2021年中国集成电路产业销售额10458.3亿元，同比增长18.2%，其中制造业销售额3176.3亿元，同比增长24.1%[114] - 2021年全球半导体资本开支1539亿美元，同比增长36%，预计2022年将达1904亿美元，同比增长24%[115] - 2021年中国大陆晶圆产能占全球15.3%，芯片产能占比仅4%[114] - VOCs治理市场有望超过千亿元[119] 公司治理和股东结构 - 公司董事会由7名董事组成，其中独立董事3名，占比42.86%[131] - 公司监事会由3名监事组成，其中职工代表监事1名，占比33.33%[131] - 报告期内公司共召开3次股东大会，所有议案全部获得审议通过[132] - 董事会2021年共召开14次会议，其中现场结合通讯方式召开13次，通讯方式召开1次[144] - 董事张伟明、汪哲、许云、孙爱丽、马振亮均亲自出席全部14次董事会会议[144] - 董事田新民出席董事会会议8次，委托出席1次，缺席0次[144] - 董事沈华峰出席董事会会议9次，全部为亲自出席[144] - 已离任董事李冠群出席董事会会议5次，全部为亲自出席[144] - 已离任董事郑凤娟出席董事会会议5次，全部为亲自出席[144] - 审计委员会在报告期内召开7次会议[146][147] - 提名委员会在报告期内召开4次会议[148][149] - 薪酬与考核委员会在报告期内召开3次会议[150] - 战略委员会在报告期内召开2次会议[152] - 审计委员会于2021年4月29日审议通过2020年度财务决算报告[147] - 审计委员会于2021年4月29日审议通过2020年度利润分配预案[147] - 审计委员会于2021年4月29日批准2021年度公司及子公司向金融机构申请授信额度计划[147] - 审计委员会于2021年4月29日批准2021年度公司对外担保预计额度[147] - 审计委员会于2021年4月29日审议2020年度日常关联交易实际发生额及2021年度预计日常关联交易[147] - 审计委员会于2021年8月24日审议半年度募集资金存放与使用情况报告[147] - 提名委员会于2021年4月29日审议董事会换届选举暨提名第二届董事会候选人[149] - 提名委员会于2021年5月20日审议聘任总经理及副总经理、财务负责人等高级管理人员任命[149] - 公司内部控制审计获标准无保留意见，与自我评价报告一致[172] 高管和董事薪酬 - 董事长兼总经理张伟明持股74,477,517股，年度税前报酬总额116.20万元[133] - 董事汪哲持股1,519,949股，年度税前报酬总额58.85万元[133] - 董事兼副总经理许云通过股权激励获得60,000股，年度税前报酬总额97.12万元[133] - 独立董事孙爱丽年度税前报酬总额11.33万元[133] - 独立董事马振亮年度税前报酬总额11.33万元[133] - 独立董事田新民年度税前报酬总额8.00万元[133] - 董事及高级管理人员税前报酬总额合计628.63万元[134] - 公司董事、监事和高级管理人员年度报酬总额为628.63万元[140] 股权激励 - 公司2021年实施股权激励计划，包括限制性股票和股票期权[143] - 公司2021年股权激励计划向86名激励对象授予限制性股票120.85万股，授予价格为38.63元/股[165] - 公司2021年股权激励计划向86名激励对象授予股票期权136.65万份，行权价格为61.80元/股[165] - 首次授予股票期权登记过程中有1名激励对象放弃，实际登记股票期权份数为136.45万份[165] - 首次授予限制性股票登记过程中有2名激励对象放弃，实际登记限制性股票数量为119.65万股[165] - 首次授予股票期权实际登记的激励对象人数为85人[165] - 首次授予限制性股票实际登记的激励对象人数为84人[165] - 股权激励计划首次授予限制性股票涉及放弃认购数量为1.20万股[165] - 股权激励计划首次授予股票期权涉及放弃数量为0.20万份[165] - 公司向董事及高管授予股票期权总计345,000股，行权价格为61.80元/股[167] - 公司向董事及高管授予限制性股票总计240,000股，授予价格为38.63元/股[168] - 报告期末公司股票市价为58.66元/股[167][168] 分红和股东回报 - 公司拟向全体股东每10股派发现金红利3.66元（含税），合计拟派发现金红利45,792,639.00元[5] - 2021年度现金分红比例（现金分红总额占当年归属于上市公司股东的净利润的比例）为30.06%[5] - 2020年度现金分红总额36,556,400.00元，分红比例30.06%[160] - 2021年度拟派发现金红利总额45,792,639.00元，分红比例维持30.06%[161] - 2021年度利润分配方案为每10股派发现金红利3.66元（含税）[161] 子公司和投资 - 设立上海盛剑半导体科技公司，注册资本1亿元[91] - 上海盛剑通风管道有限公司总资产182.2543百万元，净资产153.1964百万元，营业收入136.6631百万元，净利润13.8095百万元[111] - 江苏盛剑环境设备有限公司总资产431.1609百万元，净资产170.353百万元，营业收入475.8307百万元，净利润29.3726百万元[111] - 北京盛剑微电子技术有限公司总资产45.3767百万元，净资产39.5885百万元，营业收入4.2308百万元，净亏损5.2604百万元[111] - 公司投资6亿元建设国产半导体制程附属设备及关键零部件项目[109] - 新技术研发建设项目累计投资1.19亿元，超募集资金拟投入金额[108] 企业社会责任 - 公司及子公司累计捐赠金额达107万元用于社会公益[180] - 公司通过安装布袋除尘、耐高温过滤及高效吸附装置实现废气废水达标排放[175][176] - 公司成立VOC事业部推广VOCs减排技术，服务非泛半导体行业客户[179] - 公司湿电子化学品回收再生服务助力泛半导体领域减少碳排放[179] - 公司制造基地采用废水回用及余料利用措施降低能耗[178] - 公司无纸化办公基本覆盖各流程，信息化水平持续提升[178] 承诺和保障措施 - 控股股东张伟明承诺自公司股票上市之日起三十六个月内不转让或委托他人管理所持股份[185] - 实际控制人汪哲承诺每年转让股份不超过其持有总数的25%[186] - 昆升管理作为股东承诺上市后三十六个月内不转让或委托他人管理所持股份[187] - 达晨系股东承诺上市后十二个月内不转让或委托他人管理所持股份[187] - 公司控股股东及董监高承诺股份锁定期满后两年内减持价格不低于发行价[185][186] - 若上市后6个月内股价连续20日低于发行价则锁定期自动延长6个月[185][186] - 公司及实际控制人承诺离职后半年内不转让所持股份[185][186] - 2021年股权激励计划所有激励对象均严格履行相关承诺[185] - 报告期内所有承诺方

根据您的要求，我将关键点按照主题进行了分组。分组主题包括：收入和利润表现、成本和费用变化、现金流状况、资产与负债变动、以及募集资金使用调整。所有关键点均严格使用原文，并保留了对应的文档ID引用。 收入和利润表现 - 营业收入为1.894亿元人民币，同比增长7.53%[5] - 归属于上市公司股东的净利润为1412.52万元人民币，同比增长17.81%[5] - 归属于上市公司股东的扣除非经常性损益的净利润为1288.89万元人民币，同比增长9.92%[5] - 基本每股收益为0.11元人民币，同比下降15.38%[5] - 稀释每股收益为0.11元人民币，同比下降15.38%[5] - 加权平均净资产收益率为1.01%，同比下降0.20个百分点[5] - 营业总收入同比增长7.5%至1.894亿元[20] - 净利润同比增长17.8%至1412.5万元[21] - 基本每股收益0.11元同比下降15.4%[22] 成本和费用变化 - 研发费用同比增长6.0%至918.9万元[20] - 销售费用同比大幅增长53.4%至1733.9万元[20] - 财务费用转为净收益78.5万元主要因利息收入增加[21] - 购买商品、接受劳务支付的现金为217,244,152.69元，同比增长54.3%[25] - 支付给职工及为职工支付的现金为34,602,501.20元，同比增长62.7%[25] 现金流状况 - 经营活动产生的现金流量净额为-1.365亿元人民币[5] - 经营活动现金流入净额增长70.6%至1.629亿元[24] - 经营活动产生的现金流量净额为负136,516,644.07元，同比恶化16.3%[25] - 投资活动产生的现金流量净额为负45,382,784.37元，同比恶化140.9%[26] - 筹资活动产生的现金流量净额为正28,226,482.64元，同比大幅下降95.0%[26] - 期末现金及现金等价物余额为333,145,190.75元，同比下降52.5%[26] - 经营活动现金流出小计为309,937,745.24元，同比增长39.9%[25] - 投资支付的现金为290,207,100.60元，同比增长480.4%[25] - 收回投资收到的现金为290,000,000.00元，同比增长625.0%[25] - 取得投资收益收到的现金为1,498,641.00元，同比增长360.4%[25] 资产与负债变动 - 货币资金从2021年末的5.75亿元减少至2022年3月31日的4.21亿元，减少26.8%[14] - 应收账款从2021年末的6.87亿元增加至2022年3月31日的7.14亿元，增长4.0%[15] - 存货从2021年末的1.83亿元增加至2022年3月31日的2.28亿元，增长25.0%[15] - 在建工程从2021年末的1.68亿元增加至2022年3月31日的2.07亿元，增长23.4%[15] - 交易性金融资产保持稳定，从2021年末的2.96亿元微降至2022年3月31日的2.96亿元[15] - 合同资产从2021年末的1.13亿元减少至2022年3月31日的0.87亿元，减少23.1%[15] - 资产总额从2021年末的22.45亿元减少至2022年3月31日的21.95亿元，减少2.2%[15] - 总资产为21.945亿元人民币，同比下降2.26%[6] - 归属于上市公司股东的所有者权益为14.032亿元人民币，同比增长1.38%[6] - 短期借款大幅增加66.7%至7504.5万元[16] - 应付账款同比下降22.2%至3.065亿元[16] - 合同负债同比下降20.1%至1481.6万元[16] 募集资金使用调整 - 环保装备智能制造项目总投资金额从2.26亿元调整为1.31亿元，减少42.0%[11] - 环保项目募集资金投入从1.25亿元减少至0.92亿元，减少3,300万元[11] - 新技术研发建设项目募集资金投入从1.19亿元增加至1.52亿元，增加3,300万元[11] 非经常性损益 - 非经常性损益项目中政府补助为3099.60元人民币，金融资产公允价值变动及投资收益为129.73万元人民币[6]

调研基本信息 - 调研时间为 2022 年 3 月 21 日、22 日 [1] - 调研方式是电话会议 [1] - 调研机构众多，如海通证券、上海焱牛投资等 [1] - 公司接待人员为副总经理、董事会秘书聂磊先生和证券事务代表吴明朗先生 [1] 2021 年度业绩情况 - 营业总收入 123,205.38 万元，较上年同期增长 31.39% [3] - 归属于上市公司股东的净利润 15,314.27 万元，较上年同期增长 25.93% [3] - 归属于上市公司股东的扣除非经常性损益的净利润 14,270.67 万元，较上年同期增长 29.91% [3] - 光电显示行业、集成电路行业收入占比合计达 89.29%，集成电路行业收入 57,425 万元，同比增长 281.87%，收入占比由 16.04%提升至 46.61% [3] - 系统类业务收入占比较高，泛半导体制程附属设备收入快速增长，L/S、LOC - VOC 设备确认收入 16,206 万元，与上年同期相比增长 425.88% [3] 交流问题及回复 原材料涨价对毛利率影响 - 全年整体毛利率较上年同期基本稳定，主要原材料价格波动影响基本可控 [4] - 2021 年第二、三季度部分原材料价格单边大幅上涨，季度毛利率有波动 [4] - 部分项目因执行交付周期无法及时传导原材料上涨压力，影响毛利率 [4] - 2021 年下半年加强保障措施，第四季度业务毛利率明显回升 [4][5] 产品毛利率情况及展望 - 废气治理设备毛利率略高于废气治理系统，面向集成电路领域产品毛利率略高于光电显示领域 [5] - 未来随着产能增加、零部件国产化和自产化率提升、关键原材料采购价格回落，产品毛利率有持续提升空间 [5] 2021 年第四季度业绩下滑原因 - 2021 年第四季度实现营业收入 44,070.19 万元（占全年收入比重 35.77%），净利润 6,456.18 万元（占全年净利润比重 42.16%），符合总体发展规划目标 [5] - 较 2020 年第四季度业绩略有下滑，原因是 2020 年大量项目交付集中于第四季度，业绩基数大 [5] 半导体零部件领域规划布局 - 中短期内围绕泛半导体制程附属设备配套零部件，提升国产化率和自产化率，如已量产 POU 火炬头 [5] 后续业务展望 - 2022 年集成电路行业业务增长有望保持较高水平 [6] - 废气治理设备（L/S、LOC - VOC 等）业务规模将持续提升 [6] 设备自产化率情况 - 工艺废气治理系统核心设备自制类型增加，自产化率持续提升，目前已达较高水平 [7][8] - 需外购含氟类涂层材料、变频器、PLC 控制器等，后续将深化与供应商合作，保障供应链稳定 [8] 疫情对日常经营影响 - 公司成立防疫小组、制订防疫制度，生产原料备货充足，短期内疫情对人员安全和生产经营无重大影响 [8]

调研基本信息 - 调研时间为 2022 年 3 月 3 日 [1] - 调研方式是现场调研 [1] - 调研机构包括华富基金、华宝基金等 [1] - 公司接待人员为副总经理、董事会秘书聂磊先生和证券事务代表吴明朗先生 [1] 业务发展现状 - 主营业务为工艺废气治理系统解决方案，重点应用于中国泛半导体产业 [1] - 在光电显示领域保持较高国产份额，2020 年起集成电路领域业务规模和收入占比快速提升 [1] - 积极进行“产品延伸”产业链布局，涉及半导体制程附属设备和湿电子化学品 [1] 收入结构与业务展望 收入结构 - 下游客户行业分类：光电显示和集成电路行业合计收入占绝对份额，光伏等其他行业收入占比小 [2] - 产品分类：废气治理系统收入占主导，废气治理设备收入连续增长 [2] 业务展望 - 下游客户行业分类：未来业务增长核心驱动是中国泛半导体产业，特别是集成电路产业 [2] - 产品分类：废气治理设备将加快产业化扩张和市场规模提升 [2] 集成电路业务占比提升因素 - 产品自产化率提升，保障供应链稳定 [2] - 中国半导体产业发展，集成电路客户“国产替代”意愿增加，公司设备有性价比和本土优势 [2] - 客户数量和设备交付量积累，经验和品牌影响力扩大，利于开拓新客户 [2] 半导体工艺设备竞争优势 - 2017 年开始布局研发制造泛半导体工艺制程附属设备，取得诸多成果 [2][3] - L/S 设备性能达国外同行水平，具备更好性价比，在交付等方面有明显优势 [2][3] - 随着产品规模和客户关系发展，有望增强竞争力，缩小与国际厂商差距 [3] 环保领域 VOCs 业务规划 - 推进 VOCs 治理设备标准化，推广净化一体机，覆盖重点行业龙头形成示范项目 [4] - 在设备销售模式基础上增加运营模式服务，解决中小客户需求实现双赢 [4]

收入和利润（同比环比） - 第三季度营业收入为3.46亿元人民币，同比增长268.98%[5] - 年初至报告期末营业收入为7.91亿元人民币，同比增长67.80%[5] - 第三季度归属于上市公司股东的净利润为3692.3万元人民币，同比增长8308.29%[5] - 年初至报告期末归属于上市公司股东的净利润为8858.09万元人民币，同比增长76.03%[5] - 第三季度归属于上市公司股东的扣除非经常性损益的净利润为3549.98万元人民币[6] - 年初至报告期末扣除非经常性损益的净利润为8067.97万元人民币，同比增长98.43%[6] - 营业总收入从4.72亿元增至7.91亿元，同比增长67.8%[28] - 营业利润从0.59亿元增至1.04亿元，同比增长74.6%[29] - 公司2021年前三季度净利润为88,580,889.48元，同比增长76.0%[30] - 基本每股收益为0.78元/股，同比增长44.4%[31] 成本和费用（同比环比） - 研发费用从0.26亿元增至0.37亿元，同比增长46.3%[29] - 购买商品接受劳务支付现金415,136,574.98元，同比增长39.3%[34] - 支付给职工现金92,152,062.17元，同比增长27.6%[34] - 购建固定资产等长期资产支付现金82,171,076.52元，同比增长113.3%[34] 现金流量 - 经营活动产生的现金流量净额为-1.53亿元人民币[6] - 经营活动现金流量净额为-152,603,344.25元，同比恶化160.1%[33][34] - 投资活动现金流量净额为-191,923,472.59元，同比恶化424.2%[34] - 筹资活动现金流量净额为509,877,801.33元，主要来自吸收投资575,711,769.48元[34][35] - 销售商品提供劳务收到现金442,304,723.29元，同比增长14.6%[33] - 期末现金及现金等价物余额441,864,919.44元，较期初增长59.7%[35] 资产和负债 - 总资产为20.32亿元人民币，较上年度末增长52.32%[6] - 货币资金为541,056,772.83元，较2020年末358,663,192.81元增长50.85%[21] - 公司总资产从133.40亿元增长至203.19亿元，同比增长52.3%[22][23][25] - 流动资产从113.04亿元增至172.11亿元，同比增长52.3%[22] - 应收账款从3.80亿元增至6.53亿元，同比增长71.8%[22] - 存货从1.43亿元增至2.21亿元，同比增长54.1%[22] - 在建工程从0.41亿元增至1.48亿元，同比增长257.0%[23] - 短期借款从0.60亿元降至0.45亿元，同比下降25.0%[23] - 总资产为13,339.57百万元，较上期增加55.63百万元[39][41] - 非流动资产合计20,971.90百万元，较上期增加612.50百万元[39] - 无形资产3,673.28百万元[39] - 递延所得税资产1,060.36百万元[39] - 其他非流动资产2,805.24百万元[39] - 流动负债合计6,198.91百万元，较上期增加28.69百万元[40] - 短期借款600.65百万元[39] - 应付账款3,156.71百万元[39] - 合同负债264.66百万元[39] - 一年内到期非流动负债387.04百万元，较上期增加286.92百万元[40] 所有者权益 - 归属于上市公司股东的所有者权益为13.16亿元人民币，较上年度末增长87.18%[6] - 归属于母公司所有者权益从7.03亿元增至13.16亿元，同比增长87.2%[24][25] 股东信息 - 公司实际控制人张伟明持股74,477,517股，占总股本比例60.10%[13] - 上海昆升企业管理合伙企业持股4,002,533股，占总股本比例3.23%[13] - 深圳市达晨财智创业投资管理有限公司持股3,466,668股，占总股本比例2.80%[13] - 上海榄仔谷企业管理中心持股2,725,332股，占总股本比例2.20%[13] - 上海科技创业投资有限公司持股2,148,993股，占总股本比例1.73%[13] - 交银施罗德趋势优先混合型证券投资基金持有无限售流通股2,121,288股[13] - 前10名股东中张伟明与汪哲为夫妻关系，构成共同控制[14] 非经常性损益 - 政府补助产生的非经常性损益为800.96万元人民币（年初至报告期末）[8] 公司治理和股权激励 - 公司于2021年8月30日股东大会批准实施2021年股权激励计划[16] - 2021年9月17日董事会调整股权激励计划授予名单及数量[17]

收入和利润（同比环比） - 公司2021年上半年实现营业收入5.6亿元，同比增长36.2%[3] - 归属于上市公司股东的净利润为0.7亿元，同比增长20.5%[3] - 基本每股收益0.63元，同比增长18.9%[3] - 营业收入为4.453亿元，同比增长17.86%[22] - 归属于上市公司股东的净利润为5165.78万元，同比增长3.56%[22] - 扣除非经常性损益的净利润为4517.99万元，同比增长7.18%[22] - 基本每股收益为0.48元/股，同比下降11.11%[23] - 营业收入445,306,330.09元，同比增长17.86%[76] - 公司营业收入同比增长28.8%至3.93亿元[180] - 营业利润同比增长3.9%至6113.46万元[174] - 净利润同比增长3.6%至5165.78万元[174] - 营业收入从3.78亿元增至4.45亿元，增长17.8%[172] 成本和费用（同比环比） - 研发投入0.3亿元，同比增长50.0%，占营业收入比例5.4%[3] - 研发费用21,288,697.56元，同比增长29.46%[76] - 研发费用同比增长29.5%至2128.87万元[174] - 营业成本从2.69亿元增至3.17亿元，增长17.9%[172] - 营业成本同比增长29.7%至3.11亿元[180] - 信用减值损失同比扩大506.3%至-1597.59万元[174] 现金流表现 - 经营活动产生的现金流量净额为-0.8亿元，同比下降166.7%[3] - 经营活动产生的现金流量净额为-1.917亿元，同比大幅下降[22] - 经营活动产生的现金流量净额为-191,714,264.11元，投资活动产生的现金流量净额为-247,910,567.14元[76] - 经营活动产生的现金流量净额为-191.7143百万元[95] - 销售商品提供劳务收到的现金同比下降34.8% 从2020年半年度3.005亿降至2021年半年度1.961亿[185] - 经营活动现金流出小计同比增长20.5% 从2020年半年度3.504亿增至2021年半年度4.222亿[185][186] - 经营活动产生的现金流量净额大幅恶化 从2020年半年度-1397万降至2021年半年度-1.917亿[185][186] - 投资活动产生的现金流量净额为-2.479亿 较2020年半年度-1653万显著扩大[186] - 筹资活动产生的现金流量净额大幅改善 从2020年半年度-9597万转为2021年半年度5.180亿正流入[186][188] - 母公司经营活动现金流量净额为-2.645亿 较合并报表的-1.917亿表现更差[190] 资产和负债变化 - 总资产28.9亿元，较年初增长15.2%[3] - 应收账款7.2亿元，较年初增长25.4%[3] - 存货4.3亿元，较年初增长18.0%[3] - 货币资金6.5亿元，较年初下降23.5%[3] - 归属于上市公司股东的净资产为12.78亿元，较上年度末增长81.75%[22] - 总资产达到19.14亿元，较上年度末增长43.50%[22] - 净资产和总资产增长主要源于首次公开发行新股募集资金到账及研发大楼在建工程增加[25] - 公司货币资金达4.49亿元，占总资产23.45%，同比增长25.19%[80] - 交易性金融资产大幅增至2.5亿元，占比13.06%，同比激增525%[80] - 应收账款达5.83亿元，占总资产30.46%，同比增长53.41%[80] - 在建工程增至1.26亿元，占比6.59%，同比增长205.36%[80] - 资产总额达19.14亿元，同比增长43.5%[82] - 其他应付款达893万元，同比激增374.88%[82] - 合同负债达3823万元，同比增长44.46%[82] - 一年内到期非流动负债达420万元，同比增319.02%[82] - 受限资产总额1.85亿元[85] - 货币资金为4.49亿元，较年初3.59亿元增长25.1%[160] - 交易性金融资产为2.5亿元，较年初0.4亿元增长525%[160] - 应收账款为5.83亿元，较年初3.8亿元增长53.4%[160] - 存货为1.82亿元，较年初1.43亿元增长27.2%[162] - 流动资产合计为16.26亿元，较年初11.3亿元增长43.9%[162] - 在建工程为1.26亿元，较年初0.41亿元增长205.3%[162] - 公司总资产从133.40亿元增至191.43亿元，同比增长43.5%[163][165] - 货币资金从2.42亿元增至3.64亿元，增长50.4%[166] - 应收账款从3.00亿元增至5.18亿元，增长72.7%[166] - 交易性金融资产从0.40亿元增至1.50亿元，增长275%[166] - 短期借款从0.60亿元降至0.50亿元，减少16.7%[163] - 在建工程从0.40亿元增至1.26亿元，增长211%[167] 业务线表现 - 公司专注于泛半导体工艺废气治理系统及关键设备研发设计、加工制造与系统集成[31] - 公司产品包括工艺废气治理系统、湿电子化学品供应与回收再生系统等系统类产品[33][34][35] - 公司设备类产品涵盖工艺排气管道、中央废气治理设备及泛半导体制程附属设备[36][37][38][39][40] - 公司已实现剥离液和PGMEA湿电子化学品的回收再生[35] - 公司中央废气治理设备包含沸石转轮、蓄热式焚化炉等核心自产设备[38] - 公司拓展VOCs减排技术至环保产业并推出VOCs净化一体机设备[45] - 公司专注于泛半导体工艺废气治理系统及关键设备的研发设计、加工制造、系统集成及运维管理[47] - 公司废气治理系统业务和湿电子化学品供应与回收再生系统业务主要通过招投标获取[48] - 公司废气治理设备业务主要通过竞争性谈判获取[48] - 公司废气治理系统业务和湿电子化学品供应与回收再生系统业务主要按照项目定制化集中采购[49] - 公司废气治理设备业务主要产品为工艺排气管道、中央废气治理设备、泛半导体制程附属设备[49] - 公司昆山制造基地建成投产后产能、场地、设备均有所提升[52] - 公司产品通过了FM Approvals 4922、ISO9001:2015、ISO14001、SEMI S2、CE等一系列认证[58] - 公司主要终端客户包括中芯国际、华虹半导体、京东方、华星光电等知名企业[59] - 集成电路领域收入占营业收入比例从上年同期10.85%增长至43.44%[65][66] - 公司在手订单金额6.43亿元（不含税），已中标未签合同金额1.74亿元（不含税），合计8.17亿元（不含税）[65] - 工艺排气管道产量较上年度同期相比增长47.68%[65] - 泛半导体制程附属设备确认收入金额6577.43万元，与上年同期相比增长269.09%[67] - L/S设备交付160台套，LOC-VOC设备交付51台套，累计分别交付357台套和83台套[67] - 湿电子化学品供应与回收再生系统业务确认收入金额为5510.84万元，超过2020年全年收入水平[68] - 非泛半导体VOCs减排领域在手订单金额3452.13万元（不含税）[70] - 公司成立VOC事业部面向非泛半导体行业客户提供VOCs规模化治理解决方案[107] 管理层讨论和指引 - 泛半导体工艺废气治理系统生产结算周期较长形成较大金额应收账款存货和预付款项占用流动资金[95] - 报告期内公司主营业务扩张订单规模增长需要垫付营运资金相应增加[95] - 公司通过按合同约定分阶段付款货币与票据相结合加强销售回款力度等方式改善现金流[95] - 公司持续进行研发投入升级改造现有产品降低能耗[107] - 公司及各子公司加强对用电用水天然气及油耗的管控[107] 非经常性损益和投资收益 - 获得政府补助717.15万元[27] - 交易性金融资产及衍生工具产生的公允价值变动与处置投资收益为784,684.93元[29] - 其他营业外支出为-78,305.82元[29] - 非经常性损益项目的所得税影响额为-1,399,932.07元[29] - 非经常性损益合计为6,477,915.57元[29] 财务结构变化 - 归属于上市公司股东的净资产为12.78亿元，较上年度末增长81.75%[22] - 加权平均净资产收益率5.1%，同比下降0.6个百分点[3] - 加权平均净资产收益率为5.12%，同比下降3.11个百分点[25] - 归属于母公司所有者权益从7.03亿元增至12.78亿元，增长81.7%[164] - 实收资本从0.93亿元增至1.24亿元，增长33.3%[164] - 财务费用由正转负，从557.39万元盈利转为-105.31万元[174] - 利息收入同比增长170.1%至320.17万元[174] - 母公司净利润同比下降29.5%至2201.24万元[182] - 公司实收资本从9293.3万元增加至1.239亿元，增幅33.3%[194][197] - 资本公积从2.269亿元大幅增至7.555亿元，增幅232.9%[193][197] - 未分配利润从3.617亿元增至3.768亿元，增长4.2%[193][197] - 所有者权益总额从7.03亿元增至12.78亿元，增长81.7%[193][197] - 本期综合收益总额为5165.8万元[193] - 所有者投入资本增加5.596亿元[194] - 对股东分配利润3655.6万元[194] - 专项储备提取和使用均为35.95万元[197] - 2020年同期未分配利润为2.483亿元[197] - 2020年同期所有者权益总额为5.814亿元[197] 公司治理和承诺 - 公司董事监事高级管理人员发生变动包括4名董事2名监事2名副总经理离任[100][101][102] - 控股股东及实际控制人张伟明承诺所持股份自上市之日起36个月内不转让[111] - 实际控制人汪哲承诺所持股份自上市之日起36个月内不转让[113] - 股东昆升管理承诺所持股份自上市之日起36个月内不转让[114] - 达晨系股东承诺所持股份自上市之日起12个月内不转让[114] - 公司承诺若股价连续20个交易日低于每股净资产将启动稳定措施[114] - 董事及高管承诺任职期间每年转让股份不超过持股总数25%[111][113] - 控股股东承诺锁定期满后两年内减持价格不低于发行价[111][113] - 公司承诺若上市后6个月内股价破发将自动延长锁定期6个月[111][113] - 公司存在未履行完毕的其他承诺事项但未披露具体数据[110] - 所有承诺方在报告期内均被标注为"已履行"或"及时履行"[110] - 公司董事及高管薪酬和股东分红立即停止发放直至股价稳定措施实施完毕[115] - 公司立即停止重大资产购买出售及增发股份等资本运作行为直至股价稳定措施完成[115] - 控股股东及高管未履行股价稳定措施需在10个交易日内停止领取薪酬及分红[115] - 限售期满后两年内减持价格不低于首次公开发行股票发行价[116][117] - 达晨系股东减持股份将严格遵守证券交易所规则及提前三个交易日公告[118] - 若招股说明书存在虚假记载公司将回购全部新股并按发行价加同期银行存款利息补偿[119] - 公司承诺因虚假陈述导致投资者损失将依法在20个交易日内启动赔偿程序[119][120] - 公司高管承诺职务消费约束及不动用公司资产从事无关投资活动[120][121] - 公司保证履行招股说明书承诺事项否则将公开说明原因并向投资者道歉[123] - 公司未履行承诺导致投资者损失将依法承担赔偿责任[123] - 控股股东张伟明承诺若未履行招股说明书披露事项将承担赔偿责任并接受现金红利扣减[124] - 实际控制人张伟明、汪哲承诺就未履行IPO承诺事项承担连带赔偿责任[125] - 实际控制人承诺承担公司及子公司因报告期内未足额缴纳五险一金产生的全部损失[126] - 实际控制人承诺承担因租赁房屋权属问题导致的生产经营损失及连带责任[126] - 实际控制人承诺为公司及子公司提供担保不收取任何担保费用[127][129] - 实际控制人承诺关联交易将遵循公平公允原则并履行信息披露义务[129] - 实际控制人承诺避免同业竞争行为并赔偿因违反承诺造成的损失[130] - 报告期内公司无控股股东非经营性资金占用情况[132] - 报告期内公司无违规担保情况[132] - 报告期内公司无重大关联交易事项[133][134] 重大合同和项目 - 公司签署云谷（固安）项目合同总价款为1.4998亿元人民币[135] - 公司签署厦门天马项目合同总价款为2.16亿元人民币[135] - 公司签署北京集电项目合同总价款为1.11673876亿元人民币[135] - 云谷（固安）项目第一阶段已完工并确认收入1.447016亿元人民币[135] - 云谷（固安）项目第二阶段待开工金额为527.84万元人民币[135] - 厦门天马项目由公司与江苏中电创新环境科技组成联合体中标[136] - 北京集电项目包含6份子合同总金额1.116739亿元人民币[136] 资本运作和股权结构 - 公司首次公开发行A股3098.7004万股[143] - 发行后总股本增至1.2392亿股[143] - 公司实际控制人张伟明持股比例为60.1%[147] - 实际控制人张伟明持有有限售条件股份7448万股[150] - 上海昆升企业管理持有有限售条件股份400万股[150] - 达晨创通股权投资持有有限售条件股份347万股[150] - 交银施罗德趋势优先基金持有流通股211万股[148] - 子公司江苏盛剑获增资1000万元[86] - 公司控制的结构化主体情况不适用[93] - 半年度利润分配预案为不分配不转增[103] 采购和供应链 - 公司采购内容主要包括材料、设备及配件、外协加工和安装劳务[49] - 公司客户主要以泛半导体行业高科技工业企业及其工厂建设的总承包方为主[48]

收入和利润（同比环比） - 营业收入1.76亿元人民币，同比增长19.94%[6] - 归属于上市公司股东的净利润1199万元人民币，同比增长79.15%[6] - 归属于上市公司股东的扣除非经常性损益的净利润1172.59万元人民币，同比增长507.27%[6] - 营业收入从2020年第一季度的146,855,609.28元增至2021年同期的176,143,140.04元，增长20.0%[27] - 2021年第一季度营业收入为1.51亿元，同比增长15.2%[32] - 归属于母公司股东的净利润为1199万元，同比增长79.1%[28] - 基本每股收益0.13元/股，同比增长85.71%[6] - 基本每股收益为0.13元/股，同比增长85.7%[29] - 加权平均净资产收益率1.21%，同比增加0.07个百分点[6] 成本和费用（同比环比） - 税金及附加增加至79.47万元，较上期增长271.57%，主要因应交增值税增加导致附加税费上升[15] - 研发费用为867万元，同比增长30.8%[28] - 销售费用为1131万元，同比增长27.6%[28] - 财务费用为79万元，同比下降72.3%[28] - 信用减值损失为-337万元，同比扩大317.4%[28] 各条业务线表现 - 经营活动产生的现金流量净额为负1.17亿元人民币，同比下降65.34%[6] - 经营活动现金流量净额为-1.1738亿元，较上期恶化65.34%，主要因采购支付及银行保函保证金增加[16] - 投资活动现金流量净额为-1884.40万元，较上期恶化175.87%，主要因未到期理财增加[16] - 筹资活动现金流量净额增至5.6075亿元，较上期增长2436.65%，主要因首次公开发行募集资金到账[17] - 经营活动现金流入小计为1.04亿元，同比下降10.2%[34] - 购买商品接受劳务支付的现金为1.41亿元，同比增长20.6%[34] - 支付的各项税费为2389万元，同比下降35.4%[34] - 经营活动产生的现金流量净额为负1.17亿元，同比恶化65.3%[35][38] - 投资活动产生的现金流量净额为负1884万元，同比扩大176%[35] - 筹资活动产生的现金流量净额为正5.61亿元，主要来自吸收投资5.76亿元[35][38] - 现金及现金等价物净增加额4.25亿元，期末余额7.01亿元[35] - 母公司经营活动现金流出2.02亿元，购买商品及接受劳务支付1.53亿元[38] - 母公司投资活动现金流入4037万元，其中收回投资4000万元[38] - 母公司筹资活动现金流入5.76亿元，全部为吸收投资[38] 资产和负债变化 - 总资产18.39亿元人民币，较上年末增长37.87%[6] - 归属于上市公司股东的净资产12.75亿元人民币，较上年末增长81.31%[6] - 货币资金增加至7.8776亿元，较上期增长119.64%，主要因首次公开发行新股募集资金到账[13] - 应收款项融资减少至482.48万元，较上期下降92.40%，主要因银行承兑汇票结算方式增加[13] - 预付款项增加至1454.47万元，较上期增长133.90%，主要因采购存货款项增加[13] - 资本公积增加至7.5546亿元，较上期增长233.01%，主要因首次公开发行新股募集资金到账[14] - 交易性金融资产增加至5000万元，较上期增长25.00%[19] - 应收账款增加至4.5125亿元，较上期增长18.73%[20] - 公司总资产从2020年底的1,334,006,677.72元增长至2021年第一季度末的1,839,202,773.23元，增幅37.9%[23] - 货币资金大幅增加，从241,899,250.40元增至740,632,260.18元，增长206.2%[23] - 实收资本（股本）从92,932,996.00元增加至123,920,000.00元，增幅33.3%[23][25] - 资本公积从226,862,802.55元大幅增加至755,464,538.77元，增长233.0%[23] - 归属于母公司所有者权益合计从702,966,696.14元增至1,274,545,736.12元，增长81.3%[23] - 应收账款从299,561,132.61元增至377,981,374.94元，增长26.2%[23] - 在建工程从40,335,999.07元增至64,622,023.14元，增长60.2%[24] - 短期借款保持稳定，从50,051,861.11元微降至50,045,583.31元[24] - 未分配利润从361,658,363.90元增至373,648,663.66元，增长3.3%[23] - 流动资产总额113亿元，其中应收账款3.8亿元、存货1.43亿元[40] - 非流动资产总额2.1亿元，固定资产8688万元、在建工程4132万元[41] - 公司非流动负债合计从年初1401.79万元增至1936.28万元，增加534.49万元（+38.13%）[43] - 负债总额从63104.00万元增至63638.49万元，净增534.49万元（+0.85%）[43] - 总资产规模从133400.67万元增至133935.16万元，增长534.49万元（+0.40%）[43] 非经常性损益 - 非经常性损益项目中政府补助5.58万元人民币[7] - 交易性金融资产等公允价值变动收益32.55万元人民币[7] 会计政策变更影响 - 首次执行新租赁准则增加使用权资产591万元[41] - 执行新租赁准则新增使用权资产113.29万元[46] - 非流动资产因租赁准则调整从29097.07万元增至29210.36万元，增加113.29万元（+0.39%）[46] - 新增租赁负债113.29万元计入非流动负债[47] - 非流动负债因租赁调整从1401.79万元增至1515.08万元，增长113.29万元（+8.08%）[47] - 母公司总资产从114348.40万元增至114461.69万元，净增113.29万元（+0.10%）[46][47] - 母公司负债总额从57236.91万元增至57350.20万元，增加113.29万元（+0.20%）[47] - 新租赁准则追溯调整仅影响2021年期初余额，不影响可比期间数据[48][49]