报告投资评级 - 维持“买入”评级 [3] 报告核心观点与业绩预测 - 公司作为国内半导体刻蚀设备领军企业，先进制程产品不断突破，多款新品持续放量，将持续受益于国产化带来的业绩增量 [3] - 2025年公司实现营收123.85亿元，同比增长36.62%，实现归母净利润21.11亿元，同比增长30.69% [1] - 上调2026-2027年归母净利润预测至35.44亿元和50.51亿元（分别上调11%和20%），新增2028年归母净利润预测为68.30亿元 [3] 多产品线发展情况 - **刻蚀设备**：2025年实现收入约98.32亿元，同比增长35.12%，产品覆盖65纳米到3纳米及更先进工艺，全球累计出货超6800台，CCP刻蚀设备累计装机量超5000反应台，ICP刻蚀设备累计安装数达1800个反应台 [2] - **薄膜沉积设备**：2025年实现收入5.06亿元，同比增长224.23%，LPCVD设备累计出货量突破300反应台，EPI设备已进入客户端量产验证阶段 [2] - **MOCVD设备**：累计出货量超600腔，Micro-LED用新型MOCVD设备订单超1亿元，已开发出碳化硅、氮化镓功率器件及Micro LED用多款MOCVD设备并推向市场 [2] - **平台规模**：截至2025年底，公司已累计有7800余台等离子刻蚀和化学薄膜反应台，在国内外超过170条生产线实现量产和大规模重复性销售 [2] 公司战略与治理 - **业务拓展**：拟收购杭州众硅电子科技有限公司控股权，以补齐湿法设备（CMP）领域空白，提升在先进制程中为客户提供系统级整体解决方案的能力 [3] - **股权激励**：发布2026年股权激励计划，以2025年营收为基数，根据2026-2029年累计营收增长率（X）设定考核目标，以增强员工积极性和归属感 [3] 财务预测与估值摘要 - **营收预测**：预计2026-2028年营业收入分别为166.23亿元、215.00亿元、268.99亿元，增长率分别为34.22%、29.34%、25.11% [4] - **净利润预测**：预计2026-2028年归母净利润分别为35.44亿元、50.51亿元、68.30亿元，增长率分别为67.85%、42.52%、35.22% [4] - **盈利能力**：预计毛利率将从2025年的39.2%提升至2028年的46.0%，归母净利润率将从2025年的17.0%提升至2028年的25.4% [11][12] - **估值指标**：基于2026年3月30日股价306.38元，对应2026-2028年预测市盈率（P/E）分别为54倍、38倍、28倍，预测市净率（P/B）分别为7.4倍、6.2倍、5.2倍 [4][12] 市场表现与公司数据 - **当前市值**：总股本6.26亿股，总市值约1918.40亿元 [5] - **股价表现**：近一年绝对收益为72.09%，相对沪深300指数收益为56.53% [8]