步进式光刻机

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面板级封装的兴起
半导体行业观察· 2025-07-26 09:17
核心观点 - 人工智能和高性能计算对逻辑到内存集成的需求推动超大格式封装发展,预计未来几年将接近最大光罩尺寸的10倍[2] - 扇出型面板级封装(FOPLP)因成本低、能容纳大尺寸芯片和高I/O数量成为最佳方案,但需改进设备以解决层间对准、翘曲等问题[2] - 面板级封装市场规模预计从2024年1.6亿美元增长至2030年6.5亿美元,面板数量从8万块增至22万块[4] 技术发展 封装技术 - 扇出型面板级封装已成功降低智能手表、电源管理IC等小型设备成本,如意法半导体用RDL取代QFN封装中的引线框架[2] - 芯片制造商围绕有机中介层整合,玻璃芯基板取得进展,成为有机中介层的延伸[3] - 面板级封装载体利用率高于晶圆级,中介层尺寸增大时优势更明显:3.5倍光罩尺寸下面板浪费减少56%,5.5倍时达78%[3] 材料与工艺 - 面板尺寸多样化,从310x310mm到700x700mm不等,取决于供应商背景(显示器制造商、IC载板商或代工厂)[6] - 翘曲问题因材料热膨胀系数差异产生,新型聚酰亚胺材料可将硅基板翘曲降低79%,陶瓷基板降低95%[18] - 光刻技术中步进式光刻机更适合补偿芯片偏移,LDI系统成本效益低且吞吐量不足[10][11] 应用与案例 - 台积电计划使用面板载板支持9.5倍光罩尺寸的NVIDIA Rubin Ultra封装,考虑515x510mm更大面板[3] - 日月光测试310x310mm面板工艺,包含10个芯片和10个桥接器,证实面板在大于3.5倍光罩尺寸时质量优于晶圆[6] - SpaceX计划推出700x700mm面板,Amkor开发650x650mm面板,每块可容纳4块300x300mm面板[6] 工艺流程 - Chip-first方法成熟但良率低,Chip-last方法支持更细间距RDL但成本高且工艺复杂[14] - Mold-first工艺易于集成不同元件,RDL-first类似先进柔性倒装芯片工艺[14] - 热压键合对翘曲容忍度高,大规模回流焊因生产率更受青睐[20]
预算1.14亿元!武汉纺织大学近期大批仪器采购意向
仪器信息网· 2025-05-12 16:59
武汉纺织大学仪器设备采购计划 - 武汉纺织大学发布24项仪器设备采购意向,预算总额达1.14亿元,涉及超短脉冲激光器、矢量网络分析仪、电感耦合刻蚀系统等高端设备,预计采购时间为2025年4~6月 [1][2] - 采购项目覆盖纺织专业设备、生物医用材料测试设备、电子设备、材料分析测试设备等多个领域,单笔预算从35万元至2650万元不等 [4][5][6] 重点采购项目详情 纺织专业设备 - 纺织专业设备采购预算360万元,主要采购无纺布一体机等教学仪器 [4] - 纺织机械设备采购预算615万元,主要采购五轴复合加工中心设备 [4] - 纺织设备采购预算125万元,主要采购高剪切多功能高效熔融纺丝机 [5] 生物医用材料测试设备 - 小动物活体成像系统采购预算150万元 [4] - 超速冷冻离心机采购预算51万元 [4] 电子设备 - 快速热退火处理系统采购预算98万元 [4] - 步进式光刻机采购预算550万元 [4] 材料分析测试设备 - 脂质组学精细结构液相色谱-质谱分析系统采购预算260万元 [4] - 晶体及薄膜折射率综合测试平台等设备采购预算561万元 [4][5] - 深紫外光谱仪、椭偏仪等多功能系统采购预算880万元 [5] - 秒稳态瞬态荧光光谱仪等设备采购预算1355万元 [6] 智能穿戴与大健康测试设备 - 超短脉冲激光器、微电子材料激光加工系统等进口设备采购预算2650万元 [6] 学校科研实力与平台建设 - 学校拥有省部共建纺织新材料与先进加工技术国家重点实验室等27个省部级以上科研平台 [8] - 材料科学、化学、工程学3个学科进入ESI全球排名前1% [7] - 承担国家基金项目、"973""863"项目等国家和省部级重大科研课题近300项 [8] - 荣获国家科学技术进步一等奖1项、二等奖3项,国家技术发明二等奖2项等多项科研成果 [8] 重点研究领域与代表性项目 材料领域 - 省部共建纺织新材料与先进加工技术国家重点实验室开展新型纤维材料合成、功能性纺织材料开发等研究 [13] - 承担国家重点研发计划中关于高性能纤维及其复合材料的研发项目 [14] 化学领域 - 生物质纤维与生态染整湖北省重点实验室研究生物质纤维的开发利用及生态染整技术 [12] - 开展生物质纤维化学改性及其功能化研究项目 [14] 环境领域 - 纺织印染清洁生产教育部工程研究中心研究纺织印染清洁生产技术与装备 [10] - 湖北省水污染控制技术研究中心专注于水污染控制工程技术研究 [11]