湿法刻蚀工具
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知情人士称英特尔曾测试过源自芯片制造工具
新浪财经· 2025-12-12 17:02
两名直接知情人士透露,芯片制造商英特尔今年曾测试过一家深耕中国市场、且有两家海外子公司遭美 国制裁的工具厂商所生产的芯片制造工具。 今年 8 月,英特尔首席执行官曾因被指与中国存在关联而面临特朗普总统要求其辞职的压力,而此次英 特尔所用的工具来自美国加利福尼亚州弗里蒙特市的芯片制造设备生产商盛美半导体(ACM Research)。盛美半导体位于上海和韩国的两家子公司,去年因被指协助中国政府将商用技术用于军事 用途、并参与先进芯片或芯片制造工具的研发,被列入美国技术出口限止步清单,无法获取美国技术。 对此,盛美半导体予以否认。 此次测试的是两台湿法刻蚀工具,这类工具用于去除硅晶圆上的材料,进而将硅晶圆加工为半导体芯 片。它们被用于英特尔最先进的 14A 芯片制造工艺的可行性测试,该工艺计划于 2027 年初步投产。 目前美国部分对华强硬派人士指出,英特尔作为一家有美国政府参股的企业,却考虑将受制裁企业的工 具纳入其最先进的生产线,这引发了重大国家安全担忧。他们担心英特尔的敏感技术知识可能流向中 国、西方可靠工具供应商会被涉华企业取代,甚至存在被中方蓄意破坏的潜在风险。 据 TechInsights 公司副主席丹 ...