电子混配气
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昊华科技:公司正在研发的电子混配气主要应用于离子注入、光刻等环节
证券日报· 2026-02-27 21:35
公司业务与研发进展 - 公司正在研发电子混配气 [2] - 该产品主要应用于离子注入和光刻环节 [2]
昊华科技:公司所属昊华气体是国内特种气体行业领先企业
证券日报· 2026-02-09 22:10
公司业务与技术 - 公司所属昊华气体是国内特种气体行业领先企业 [2] - 公司自主研发的三氟化氮、六氟化钨等核心特气产品实现国产化替代 [2] - 公司研发的电子混配气主要应用于离子注入、光刻等环节 [2] 行业地位与国产化 - 公司是国内特种气体行业领先企业 [2] - 公司核心特气产品实现国产化替代 [2]