科研人员研发"闪速退火"工艺 一秒"炼"就晶圆级高性能储能薄膜 近日，中国科学院金属研究所沈阳材料科学国家研究中心胡卫进研究员团队携手合作者，开发出一种热处理升降温速率可达每秒1000摄氏度的"闪速退 火"工艺，成功制备出晶圆级高性能储能薄膜。相关成果于11月15日凌晨发表在《科学进展》期刊上，为下一代高性能储能电容器件的制造开辟了一条新 路径。 科研人员介绍，在脉冲激光器、新能源汽车等应用的功率电子器件中，有一类名为"电介质储能电容器"的元件至关重要，它们以极高的功率快速充放电， 并且极其耐用。然而，科学家们一直面临一个难题：如何让这些电容器在保持强大储能能力的同时，还能经受住从极寒到酷热的极端温度考验，并且易于 大规模生产。 此次研究中，利用"闪速退火"工艺，研究人员可仅用1秒钟，就能在硅晶圆上制备出一种名为锆酸铅的弛豫反铁电薄膜。据介绍，这项工艺技术可以将材 料在高温下的特殊结构"冻结"在室温，形成了尺寸不到3纳米的纳米微畴。这些微小的结构如同一个精密的迷宫，是诱导弛豫反铁电行为，实现高效率储 能的关键。同时，"闪速退火"还让薄膜的"肌理"更加致密均匀，并有效锁住了容易挥发的铅元素，从根源上减少了材料缺 ...

中国通号中标铁路无人机反制项目 - 中国通号成功中标青藏铁路无人机反制示范项目，采用其低空公司自主研发的铁路专用无人机智能防护系统[2] - 该系统构建覆盖远、中、近全距离的立体防护网，融合无线电侦测、AI光电跟踪、多点协同反制三大核心技术架构[2] 谷歌在美国得州投资数据中心 - 谷歌计划在美国得州投资400亿美元新建三座数据中心，该项投资将持续到2027年[2] - 此项投资预计将创造数千个就业岗位，并为大学生和电工学徒提供技能培训，同时推进得州能源可负担性计划[2] 杭州湾跨海铁路桥建设进展 - 杭州湾跨海铁路桥北航道桥钢梁开始架设，标志着桥梁正式进入上部结构施工阶段，此次架设的钢梁重达626吨[2] - 该桥是通甬高铁控制性工程，全长29.2公里，由三座航道桥及引桥组成，设计时速为350公里，属超长大高速铁路桥梁集群工程[2] 新型“闪速退火”工艺研发突破 - 科研团队开发出热处理升降温速率达每秒1000摄氏度的“闪速退火”工艺，成功制备出晶圆级高性能储能薄膜[2] - 该成果为下一代高性能储能电容器件的制造开辟了新路径，相关研究发表于《科学进展》期刊[2]

技术突破核心 - 科研团队开发出热处理升降温速率达每秒1000摄氏度的“闪速退火”新工艺 [1] - 该工艺成功制备出晶圆级高性能储能薄膜 为下一代高性能储能电容器件制造开辟新路径 [1] 工艺优势与特性 - “闪速退火”工艺仅用1秒钟即可在硅晶圆上制备出锆酸铅弛豫反铁电薄膜 [2] - 工艺可将材料高温结构“冻结”在室温 形成尺寸不到3纳米的纳米微畴 这是实现高效率储能的关键 [2] - 工艺使薄膜“肌理”更致密均匀 有效锁住易挥发铅元素 从根源减少材料缺陷并显著降低漏电流 [2] 产品性能表现 - 制造出的薄膜电容器在零下196摄氏度至400摄氏度的极端温度循环后 储能密度和效率衰减低于3% [2] - 产品具备卓越环境适应性 能在冰冷外太空或火热地下油气勘探井等极端环境中稳定可靠工作 [2] 产业化潜力 - 研究人员已初步能在2英寸硅晶圆上成功制备均匀高性能薄膜 [2] - 该技术为芯片级集成储能提供了具备工业化潜力的解决方案 [2]

科研人员介绍，在脉冲激光器、新能源汽车等应用的功率电子器件中，有一类名为"电介质储能电容 器"的元件至关重要，它们以极高的功率快速充放电，并且极其耐用。然而，科学家们一直面临一个难 题：如何让这些电容器在保持强大储能能力的同时，还能经受住从极寒到酷热的极端温度考验，并且易 于大规模生产。 此次研究中，利用"闪速退火"工艺，研究人员可仅用1秒钟，就能在硅晶圆上制备出一种名为锆酸铅的 弛豫反铁电薄膜。据介绍，这项工艺技术可以将材料在高温下的特殊结构"冻结"在室温，形成了尺寸不 到3纳米的纳米微畴。这些微小的结构如同一个精密的迷宫，是诱导弛豫反铁电行为，实现高效率储能 的关键。同时，"闪速退火"还让薄膜的"肌理"更加致密均匀，并有效锁住了容易挥发的铅元素，从根源 上减少了材料缺陷，显著降低了漏电流。 新华社沈阳11月15日电（记者王莹）近日，中国科学院金属研究所沈阳材料科学国家研究中心胡卫进研 究员团队携手合作者，开发出一种热处理升降温速率可达每秒1000摄氏度的"闪速退火"工艺，成功制备 出晶圆级高性能储能薄膜。相关成果于11月15日凌晨发表在《科学进展》期刊上，为下一代高性能储能 电容器件的制造开辟了一条新路径 ...