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非接触式白光干涉仪
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2.55亿元!空天信息大学采购大批仪器设备
仪器信息网· 2025-05-19 16:32
空天信息大学仪器设备采购 - 空天信息大学发布5项仪器设备采购意向,预算总额达2.55亿元,涉及应力测试仪、非接触式白光干涉仪、圆片测厚仪、椭偏仪、场发射扫描电镜、台阶仪、显微镜等设备 [1][2] - 采购预计时间为2025年5~6月 [2] 卫星导航仿真与增强实验室建设 - 卫星导航仿真与增强实验室仪器终端采购项目预算4300万元,拟采购信号发生器、高精度原子钟、脉冲分配器、信号采集与回放设备、高精度组合导航参考系统、安全认证源等设备,支撑卫星导航信号仿真、测试、时间基准等实验教学与科研需求 [4] - 卫星导航教学及智控相关系统采购项目预算4350万元,拟研制新体制多模导航合路信号源、空天导航全链路综合仿真系统、星间激光传递系统、安全认证控制系统等,建设统一的卫星导航仿真综合实验与教学平台 [4] 重点强化实验室建设 - 重点强化实验室建设项目预算1700万元,拟采购砂轮划片机、键合机、管壳打标机、网络分析仪、频谱分析仪、倒置荧光显微镜、原子力显微镜、方阻测试仪等设备,满足电子与集成电路学院的专业基础教学和科学研究需求 [4][5] 先进微纳加工平台建设 - 材料生长设备采购项目预算8600万元,拟采购铜填充电镀系统、ALD镀铜机、金属磁控溅射台、氧化物磁控溅射台、热蒸发台、多片式电子束蒸发台等设备,实现高质量薄膜材料生长工艺 [5] - 高精度图形转移设备采购项目预算6500万元,拟采购步进式光刻机、光刻机配套匀胶喷胶及显影系统、光刻机配套等离子去胶机等设备,实现高精度图形转移和去胶工艺 [5]